सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्स किती महत्त्वाच्या आहेत?

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, मुख्य प्रक्रिया उपकरणे जसे की फोटोलिथोग्राफी आणि एचिंग व्यतिरिक्त, आणखी एक प्रकारचे मूलभूत घटक प्रक्रियेच्या स्थिरतेमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात:वेफर बोट.

विशेषत: अलिकडच्या वर्षांत, उच्च-तापमान प्रक्रिया आणि तृतीय-पिढीतील अर्धसंवाहकांच्या विकासासह, सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनवलेल्या सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्स शांतपणे उद्योग मानक बनत आहेत.

तर, अर्धसंवाहक उत्पादनात हा क्षुल्लक वाटणारा घटक कोणती भूमिका बजावतो?

01 वेफर बोटची मूलभूत कार्ये

वेफर बोट ही एक प्रक्रिया वाहक आहे जी वेफर्स ठेवण्यासाठी वापरली जाते, प्रामुख्याने उच्च-तापमान प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरली जाते.

सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, वेफर्समध्ये प्रसार, ऑक्सिडेशन, ॲनिलिंग आणि रासायनिक वाष्प जमा (CVD) यासारख्या अनेक थर्मल प्रक्रिया चरणांमधून जातात. या प्रक्रियेदरम्यान, वेफर्स सामान्यत: फर्नेस ट्यूब उपकरणांमध्ये बॅच-प्रक्रिया केल्या जातात आणि वेफर बोट खालील कार्ये करते:

- एकाधिक वेफर्सना समर्थन देणे आणि स्थिर अंतर राखणे

- उच्च-तापमान वातावरणात वेफर्सची स्थिर स्थिरता सुनिश्चित करणे

- उपकरणांच्या संयोगाने एकसमान वायू प्रवाह सुनिश्चित करणे

वेफर बोटची रचना आणि भौतिक गुणधर्म थेट थर्मल फील्ड वितरण आणि प्रक्रियेच्या सुसंगततेवर परिणाम करतात.

02 सिलिकॉन कार्बाइड बोटींची संरचनात्मक वैशिष्ट्ये

सिलिकॉन कार्बाइड बोटीसामान्यत: उच्च संरचनात्मक स्थिरता ऑफर करून फ्रेम डिझाइनचा वापर करा. वैशिष्ट्यपूर्ण वैशिष्ट्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

- अचूक वेफर पोझिशनिंगसाठी मल्टी-लेयर स्लॉट संरचना

- वेफर्स दरम्यान सहज वायू प्रवाहासाठी ओपन डिझाइन

- उच्च तापमानात विकृतीचा धोका कमी करण्यासाठी उच्च-कडकपणा फ्रेम

उपकरणाच्या प्रकारानुसार, बोटी उभ्या किंवा क्षैतिज रचना म्हणून डिझाइन केल्या जाऊ शकतात आणि वेगवेगळ्या वेफर आकारांना समर्थन देतात (उदा. 6-इंच, 8-इंच, 12-इंच).

03 साहित्य निवड: कासिलिकॉन कार्बाइड?

सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उच्च तापमान आणि उच्च स्वच्छतेच्या दिशेने विकसित होत असल्याने, क्वार्ट्ज आणि ॲल्युमिना सारख्या पारंपारिक साहित्य वाढत्या प्रमाणात अपुरे आहेत. याउलट, सिलिकॉन कार्बाइड अनेक कार्यप्रदर्शन आयामांमध्ये फायदे देते.

1. उच्च-तापमान प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइड अंदाजे 1200℃ ते 1400℃ तापमान श्रेणीमध्ये चांगली संरचनात्मक स्थिरता प्रदर्शित करते. विशिष्ट उच्च-शुद्धता किंवा विशेष प्रक्रिया परिस्थितीत, ते अगदी उच्च तापमान वातावरणात वापरले जाऊ शकते. हे उच्च तापमानात धातूच्या पदार्थांसारखे वितळणे किंवा लक्षणीय मऊपणाची घटना प्रदर्शित करत नाही.

2. उच्च थर्मल चालकता: सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, ज्यामुळे वेफर्समधील तापमानातील फरक कमी होण्यास मदत होते, ज्यामुळे प्रक्रियेची सुसंगतता सुधारते.

3. थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक: सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक असतो, ज्यामुळे गरम आणि थंड प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सवरील थर्मल तणावाचा प्रभाव कमी होतो.

4. रासायनिक स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड विविध वातावरणात चांगली रासायनिक स्थिरता प्रदर्शित करते, ज्यामध्ये ऑक्सिडायझिंग आणि वातावरण कमी होते. तथापि, उच्च-तापमान ऑक्सिजन वातावरणात ते अजूनही मंद ऑक्सिडेशन प्रतिक्रिया देईल, सिलिकॉन डायऑक्साइड संरक्षणात्मक स्तर तयार करेल.

5. सामग्रीची शुद्धता आणि दूषितता नियंत्रण: सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये वेफरच्या पृष्ठभागावरील दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यासाठी विशेषत: कठोरपणे अशुद्धता नियंत्रित केली जाते. वेगवेगळ्या प्रक्रिया ग्रेडमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या सामग्रीमध्ये लक्षणीय फरक आहेत.

04 अर्ज क्षेत्र

सिलिकॉन कार्बाइड बोटी सध्या अनेक क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात, यासह:

- इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये थर्मल प्रोसेसिंग

- पॉवर सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मिती (उदा. SiC उपकरणे)

- फोटोव्होल्टेइक सिलिकॉन वेफर्सची उच्च-तापमान प्रक्रिया

- सेमीकंडक्टर सामग्री आणि प्रक्रिया संशोधन आणि विकास

उच्च तापमान, मजबूत गंज किंवा उच्च स्वच्छता आवश्यक असलेल्या परिस्थितींमध्ये त्याचे फायदे अधिक स्पष्ट आहेत.

Semicorex ऑफरSiC वेफर बोटी, भट्टीच्या नळ्या, cantilever paddles, इ उच्च-तापमान भट्टी मध्ये. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com