सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, ऑक्सिडेशनमध्ये वेफरला उच्च-तापमानाच्या वातावरणात ठेवणे समाविष्ट असते जेथे ऑक्सिजन ऑक्साईड थर तयार करण्यासाठी वेफरच्या पृष्ठभागावर वाहते. हे रासायनिक अशुद्धतेपासून वेफरचे संरक्षण करते, गळती करंट सर्किटरीमध्ये जाण्यापासून प्रतिबंधित करते, आयन इम्प्लांटेशन दरम्यान प्रसार प्रतिबंधित करते आणि वेफरच्या पृष्ठभागावर एक संरक्षणात्मक फिल्म तयार करून, कोरीव काम करताना वेफर स्लिपेज प्रतिबंधित करते. या चरणात वापरलेली उपकरणे ऑक्सिडेशन भट्टी आहेत. रिॲक्शन चेंबरमधील मुख्य घटकांमध्ये वेफर बोट, बेस, फर्नेस लाइनर ट्यूब, आतील फर्नेस ट्यूब आणि उष्मा इन्सुलेशन बॅफल्स यांचा समावेश होतो. उच्च ऑपरेटिंग तापमानामुळे, प्रतिक्रिया चेंबरमधील घटकांसाठी कार्यप्रदर्शन आवश्यकता देखील जास्त आहेत.

दवेफर बोटवेफर वाहतूक आणि प्रक्रियेसाठी वाहक म्हणून वापरले जाते. यात उच्च एकात्मता, उच्च विश्वासार्हता, अँटी-स्टॅटिक गुणधर्म, उच्च तापमान प्रतिरोध, पोशाख प्रतिरोध, विकृतीला प्रतिकार, चांगली स्थिरता आणि दीर्घ सेवा आयुष्य असे फायदे असले पाहिजेत. वेफर ऑक्सिडेशन तापमान अंदाजे 800 ℃ आणि 1300 ℃ दरम्यान असल्याने आणि वातावरणातील धातूच्या अशुद्धतेच्या सामग्रीची आवश्यकता अत्यंत कठोर असल्याने, वेफर बोट सारख्या प्रमुख घटकांमध्ये केवळ उत्कृष्ट थर्मल, यांत्रिक आणि रासायनिक गुणधर्म नसावेत, परंतु अत्यंत कमी धातूची अशुद्धता सामग्री देखील असणे आवश्यक आहे. सब्सट्रेटच्या आधारे, ते क्वार्ट्ज वेफर बोट्स, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक वेफर बोट्स इत्यादींमध्ये विभागले जाऊ शकतात. तथापि, 7nm पेक्षा कमी प्रक्रिया नोड्सची प्रगती आणि उच्च-तापमान प्रक्रिया विंडोच्या विस्तारामुळे, पारंपारिक क्वार्ट्ज बोटी हळूहळू अपुरी होत आहेत, स्थिरता आणि जीवनमान नियंत्रण, अंशकालीन व्यवस्थापन या बाबतीत. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) बोटी हळूहळू पारंपारिक क्वार्ट्ज सोल्यूशन्स बदलत आहेत.

1. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग

चिप उत्पादनाच्या उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये, जसे की ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD), आणि आयन इम्प्लांटेशन, SiC बोट्सचा वापर सिलिकॉन वेफर्सना समर्थन करण्यासाठी केला जातो, उच्च तापमानात वेफर्स सपाट राहतील याची खात्री करून आणि जाळीचे चुकीचे संरेखन किंवा विकृतपणा, पूर्व-तणावांमुळे होणारी कार्यप्रदर्शन हमी.

2. फोटोव्होल्टेइक उद्योग

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्समध्ये उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य, थर्मल स्थिरता, उच्च-तापमान प्रतिरोध, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि रासायनिक गंज प्रतिरोधक क्षमता असते आणि त्यांचा वापर मोठ्या प्रमाणावर धातूशास्त्र, यंत्रसामग्री, नवीन ऊर्जा आणि बांधकाम साहित्य रसायने यासारख्या लोकप्रिय क्षेत्रात केला जातो. फोटोव्होल्टेइक उत्पादनातील थर्मल प्रक्रियांसाठी देखील त्याची कार्यक्षमता पुरेशी आहे, जसे की प्रसार, LPCVD (कमी-दाब रासायनिक वाष्प जमा करणे), आणि TOPcon पेशींसाठी PECVD (प्लाझ्मा रासायनिक वाष्प निक्षेपण). पारंपारिक क्वार्ट्ज मटेरियलच्या तुलनेत, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक मटेरिअल, बोट सपोर्ट, छोट्या बोटी आणि ट्युब्युलर प्रोडक्ट्स बनवण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या उच्च तापमानात जास्त ताकद, चांगली थर्मल स्टेबिलिटी आणि विकृतपणा मिळत नाही. त्यांचे आयुर्मान देखील क्वार्ट्जपेक्षा पाचपट जास्त आहे, देखभाल डाउनटाइममुळे ऑपरेटिंग खर्च आणि ऊर्जा नुकसान लक्षणीयरीत्या कमी करते. याचा परिणाम किमतीचा स्पष्ट फायदा होतो आणि कच्चा माल मोठ्या प्रमाणात उपलब्ध होतो.

3. थर्ड-जनरेशन सेमीकंडक्टर उद्योग

मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाफ डिपॉझिशन (MOCVD) रिॲक्शन चेंबर्समध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड बोट्सचा वापर नीलम सब्सट्रेट्सला आधार देण्यासाठी केला जातो, अमोनिया (NH3) सारख्या संक्षारक वायू वातावरणाचा सामना करण्यासाठी, गॅलियम एनफिसिएन्सी आणि लुक्युअस नाइट्राइड आणि परफॉर्मन्स सारख्या थर्ड-जनरेशन सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल वाढीस समर्थन देतात. एलईडी चिप्स. सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल ग्रोथमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड बोट्स सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये सीड क्रिस्टल सपोर्ट म्हणून काम करतात, वितळलेल्या सिलिकॉनच्या उच्च-तापमान संक्षारक वातावरणाचा सामना करतात, सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल्सच्या वाढीसाठी स्थिर समर्थन प्रदान करतात आणि सिलिकॉन कार्बाईड सिंगल-क्वालिटी सिंगल क्रिस्टल्स तयार करण्यास प्रोत्साहन देतात.

Semicorex उच्च दर्जाचे SiC सिरेमिक पुरवतेवेफर बोटी. आमची उत्पादने उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, विस्तारित सेवा आयुष्य आणि अपवादात्मक प्रक्रिया सुसंगतता प्रदान करण्यासाठी इंजिनिअर केलेली आहेत. सानुकूलित उपाय किंवा अतिरिक्त तांत्रिक माहितीसाठी, कृपया आमच्या अभियांत्रिकी कार्यसंघाशी संपर्क साधा.

फोन: +८६-१३५६७८९१९०७

ईमेल: sales@semicorex.com