पीबीएन कंपोझिट हीटर

सेमीकोरेक्स पीबीएन कंपोझिट हीटर पायरोलाइटिक बोरॉन नायट्राइडच्या रासायनिक जडत्व आणि इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशनसह पायरोलाइटिक ग्रेफाइटची उत्कृष्ट थर्मल चालकता विलीन करतात. हे हीटर अत्यंत उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आणि पीबीएनपासून तयार केले गेले आहेत जे उच्च शुद्धता जमा परिस्थितीत उच्च गुणवत्तेच्या सीव्हीडी (रासायनिक वाष्प जमा) प्रक्रियेचा वापर करून लागू केले जातात. अल्ट्रा-उच्च शुद्धता आणि सुसंगत थर्मल गुणधर्म सुनिश्चित करण्यासाठी प्रत्येक वैयक्तिक कर्तृत्वाचा थर अत्यंत अत्यंत नियंत्रिततेसह जमा केला गेला आहे. ग्रेफाइट कोर, जो संपूर्ण द्रुत आणि एकसमान हीटिंग प्रदान करतो, पीबीएन कॅप्सूलद्वारे ऑक्सिडेशन आणि दूषिततेपासून संरक्षित आहे; हे व्हॅक्यूम गॅस वातावरण आणि जड गॅस वातावरणासाठी हीटर आदर्श बनवते. हे पीबीएन हीटर हेतुपुरस्सर एमबीई (आण्विक बीम एपिटॅक्सी) अणुभट्ट्या, सीव्हीडी अणुभट्ट्या आणि इतर क्रिस्टल ग्रोथ सिस्टममध्ये वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.

पायरोलाइटिक बोरॉन नायट्राइड-पायरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीबीएन-पीजी) कंपोझिट हीटर एक हीटर आहे जो उच्च-इन्सुलेशन पीबीएन सब्सट्रेट म्हणून वापरतो आणि कमी दाबाने (10 टॉरच्या खाली) आणि उच्च तापमानात कमी-दाब थर्मल विघटन केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) वापरतो. या संमिश्र हीटरचे मुख्य घटक पायरोलाइटिक बोरॉन नायट्राइड (पीबीएन) आणि पायरोलाइटिक ग्रेफाइट (पीजी) आहेत. त्याच्या उत्कृष्ट गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान प्रतिकारांमुळे, हे मुख्यतः सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट हीटिंगसाठी (एमबीई, एमओसीव्हीडी, स्पटरिंग कोटिंग इ. मध्ये वापरले जाते) वापरले जाते; सुपरकंडक्टर सब्सट्रेट हीटिंग; नमुना विश्लेषण दरम्यान नमुना हीटिंग; इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोप नमुना हीटिंग; मेटल हीटिंग; मेटल बाष्पीभवन हीटिंग स्रोत, इ.

पीबीएन हीटर व्हॅक्यूममध्ये 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंतच्या ऑपरेटिंग तापमानाचा प्रतिकार करू शकतात आणि आपण अवलंबून असलेल्या कोणत्याही धातू आधारित पर्यायांवर थर्मल शॉकचा सामना करण्याची सुधारित क्षमता आहे. हीटरची पृष्ठभाग अत्यंत गुळगुळीत आणि दाट आहे आणि ऑपरेशन दरम्यान लक्षणीय कमी कण तयार करते जे अनुप्रयोगांसाठी गंभीर आहे जेथे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग सारख्या दूषिततेला सहन केले जाऊ शकत नाही.

संयुक्त रचना हीटर पृष्ठभागावर उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता प्रदान करते आणि उष्मा वितरणास अनुमती देण्यासाठी त्याचे प्रतिरोधक मार्ग सानुकूलित केले जाऊ शकतात. हे डिझाइन वापरलेल्या सामग्रीच्या समान थर्मल विस्तार गुणांकांमुळे क्रॅकिंग आणि डिलीमिनिंगशिवाय प्रक्रियेदरम्यान वेगवान रॅम्प-अप आणि कोल्डडाउन चक्र सक्षम करते. इलेक्ट्रोड सतत उच्च चालू ऑपरेशनचा प्रतिकार करण्यास सक्षम आहेत आणि व्हॅक्यूममध्ये देखील सुसंगत आहेत.

विशिष्ट अनुप्रयोग गरजा पूर्ण करण्यासाठी सेमीकोरेक्स अद्वितीय आकार, आकार आणि आवश्यकतेनुसार उर्जा आवश्यकतेसाठी अमर्यादित डिझाइनची लवचिकता प्रदान करते; ते प्रमाणित वेफर आकारांसाठी असो किंवा अधिक जटिल भूमिती असो, आम्ही उत्पादित केलेल्या प्रत्येक युनिटमध्ये मितीय अचूकता आणि थर्मल एकरूपतेची हमी देतो.

पीबीएन कंपोझिट हीटर अल्ट्रा-क्लीन अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, यासह:

• III-V आणि II-VI कंपाऊंड सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंगसाठी एमबीई सिस्टम
• ऑप्टिकल घटकांसाठी व्हॅक्यूम कोटिंग सिस्टम
• नीलम आणि एसआयसीसाठी क्रिस्टल ग्रोथ सिस्टम
• संशोधन आणि विकास प्रयोगशाळेच्या वातावरणासाठी उच्च-शुद्धता थर्मल प्रक्रिया.