PECVD सोलर ग्रेफाइट बोट

सेमीकोरेक्सPECVD सौर ग्रेफाइट नौकाउच्च-शुद्धतेपासून अचूकतेने बनवलेले आहेतआयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट. सेमिकोरेक्सच्या प्रत्येक PECVD सोलर ग्रेफाइट बोटमध्ये उच्च-तापमानाच्या प्लाझ्मा वातावरणात स्थिर कामगिरी सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक मशीनिंग, मितीय तपासणी आणि विद्युत कार्यक्षमतेची चाचणी केली जाते.

PECVD प्रक्रियेदरम्यान, PECVD सोलर ग्रेफाइट बोट PECVD प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये सिलिकॉन वेफर्स घेऊन जाते आणि RF वीज पुरवठ्याशी जोडलेले इलेक्ट्रोड म्हणून काम करते. जेव्हा समीप बोट प्लेट्समध्ये पर्यायी व्होल्टेज लागू केला जातो तेव्हा विद्युत क्षेत्र स्थापित केले जाते. विद्युत क्षेत्राच्या प्रभावाखाली, प्रतिक्रियाशील वायू (जसे की सिलेन SiH₄ आणि अमोनिया NH₃) ग्लो डिस्चार्जमधून जातात आणि प्लाझ्मा तयार करतात. प्लाझ्मामधील आयन आणि मुक्त रॅडिकल्स पूर्ववर्ती वायूंचे विघटन करतात, ज्यामुळे सिलिकॉन (Si) आणि नायट्रोजन (N) आयन तयार होतात. हे आयन सिलिकॉन नायट्राइड (Si₃N₄) रेणू तयार करण्यासाठी एकत्र होतात, जे नंतर पातळ चित्रपट तयार करण्यासाठी सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर जमा केले जातात.

1. अपवादात्मक थर्मल स्थिरता

सिलिकॉन वेफर्सच्या जवळ असलेल्या थर्मल विस्तार गुणांकासह, सेमिकॉर्क्सPECVD सोलर ग्रेफाइट बोटगरम केल्यावर नगण्य आयामी बदल अनुभवतो, जे वेफर्सचे थर्मल ताण-प्रेरित नुकसान विश्वसनीयरित्या टाळते.

2. उत्कृष्ट विद्युत आणि थर्मल चालकता

सेमीकोरेक्स PECVD सोलर ग्रेफाइट बोटींमध्ये उत्कृष्ट विद्युत चालकता असते, ज्यामुळे RF विद्युत् प्रवाहाचे जलद वहन आणि एकसमान विद्युत क्षेत्र वितरण सुनिश्चित होते, जे स्थिर प्लाझ्मा निर्मिती आणि एकसमान सिलिकॉन वेफर डिपॉझिशनसाठी फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची उत्कृष्ट थर्मल चालकता जलद कूलिंग आणि गरम करणे सुलभ करते, उत्पादन कार्यक्षमता सुधारते आणि स्थानिकीकृत ओव्हरहाटिंगला डिपॉझिशन गुणवत्तेवर परिणाम होण्यापासून प्रतिबंधित करते.

3. मजबूत रासायनिक स्थिरता

प्रीमियम-ग्रेड सामग्रीचा वापर केल्याबद्दल धन्यवाद, सेमीकोरेक्स PECVD सोलर ग्रेफाइट बोट रिऍक्टिव वायू आणि प्लाझ्मासह प्रतिक्रिया कमी प्रवण आहे. हे वैशिष्ट्य ग्रेफाइट बोटीमध्ये गंज, विकृती किंवा अशुद्धता जमा झाल्यामुळे असमान विद्युत क्षेत्र वितरणास लक्षणीयरीत्या प्रतिबंधित करते, अशा प्रकारे डिपॉझिशन प्रक्रियेची स्थिरता आणि सिलिकॉन वेफर्सच्या पृष्ठभागाची गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

4. उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य

त्याच्या उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्याने, Semicorex PECVD सोलर ग्रेफाइट बोट उच्च-वॉल्यूम वेफर लोडचे वजन सहजतेने हाताळू शकते. ते लोडिंग आणि वाहतुकीदरम्यान निर्माण होणारा यांत्रिक ताण सहजपणे विकृत किंवा तुटल्याशिवाय दीर्घकाळ टिकू शकतात.

5. उत्कृष्ट मितीय सुसंगतता

सेमिकोरेक्स पीईसीव्हीडी सोलर ग्रेफाइट बोट अचूक मशीनिंगद्वारे सर्व घटकांमध्ये अपवादात्मक आयामी अचूकता प्राप्त करते. हे डिपॉझिशन दरम्यान सिलिकॉन वेफरला स्थिर स्थितीत ठेवते, जे एकसमान डिपॉझिशन आणि स्वयंचलित उत्पादनासह सुसंगतता सुनिश्चित करते.