क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

सेमिकोरेक्स क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, वेफर बोट्स, सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी क्वार्ट्ज क्रूसिबल्स हे सर्व उच्च-शुद्धतेचे बनलेले आहेतक्वार्ट्ज साहित्यl क्वार्ट्जचा वापर अर्धसंवाहक उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर केला जातो, उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज हे वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये महत्त्वाचे उपभोग्य आहे. सेमीकंडक्टर क्षेत्रातील क्वार्ट्ज भागांचे मुख्य लक्ष्य वेफर फॅब्रिकेशनमधील प्रसार आणि कोरीव प्रक्रिया आहे, दोन मुख्य श्रेणींमध्ये विभागले जाऊ शकते: उच्च-तापमान भाग आणि कमी-तापमान भाग.

1.उच्च-तापमानाचे भाग म्हणजे क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, वेफर बोट, बोट होल्डर आणि इ. उच्च-तापमान वातावरणात त्यांना प्रत्यक्ष किंवा अप्रत्यक्षपणे सिलिकॉन वेफरशी संपर्क साधणे आवश्यक आहे, ते प्रामुख्याने फ्यूज्ड क्वार्ट्ज ग्लास सामग्रीचे बनलेले असतात, थर्मल प्रक्रियेद्वारे तयार केले जातात.

2.कमी-तापमानाचे भाग हे एचिंग प्रक्रियेत क्वार्ट्ज रिंग आहेत आणि कॅसेटसह, साफसफाईच्या प्रक्रियेत टाक्या साफ करतात. ते प्रामुख्याने कमी-तापमानाच्या वातावरणात वापरले जातात, जे मुख्यतः फ्यूज्ड क्वार्ट्ज ग्लासचे बनलेले असतात, शीत प्रक्रियेद्वारे तयार केले जातात.

उच्च-तापमान झोनमधील घटक अधिक जलद वापरतात, परंतु ते सामान्यत: मल्टी-वेफर सिस्टममध्ये वापरले जातात (एका वाहक ज्यामध्ये एकापेक्षा जास्त सिलिकॉन वेफर्स असतात), तर कमी-तापमान झोनमधील घटक अधिक हळूहळू वापरले जातात, परंतु ते सिंगल-वेफर सिस्टममध्ये वापरले जातात (एक वाहक एक सिलिकॉन वेफर धारण करतो); म्हणून, दोन्हीसाठी एकूण बाजार आकार तुलनेने समान आहे.

भट्टी हे क्षेत्र आहे ज्यामध्ये वेफर्स उच्च-तापमान तापविण्याच्या प्रक्रियेतून जातात, ज्यामध्ये क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, अणुभट्टी आणि अनेक हीटर्स असतात, ते सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये प्रसार, ऑक्सिडेशन, आरटीपी प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. भट्टी प्रामुख्याने क्षैतिज आणि उभ्या प्रकारांमध्ये विभागली जाते:. क्षैतिज भट्टीत, वेफर्स क्वार्ट्ज बोटवर ठेवलेले असतात, जे यामधून SiC कॅरियरवर ठेवले जातात. समोर आणि मागे अनुकूली बाफल्स देखील आहेत. वाहक क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमध्ये ढकलले जाते आणि वेफर्स स्थिर तापमान झोनमध्ये प्रतिक्रिया घेतात. उभ्या भट्टीत, वेफर्स क्वार्ट्ज टॉवरवर ठेवल्या जातात आणि नंतर प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमध्ये हळूहळू वाढवल्या जातात.

वरील प्रक्रियांमध्ये उच्च तापमानाचा समावेश असल्यामुळे, क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबचे वारंवार आणि दीर्घकाळ वापर केल्यानंतर गंभीर विकृती आणि कोसळणे टाळण्यासाठी, क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब जी विकृती आणि कोसळण्यास प्रतिरोधक आहे आणि दीर्घ सेवा आयुष्य आहे ती उत्पादनादरम्यान वापरली जावी.

चे फायदे येथे आहेतक्वार्ट्जभट्टी ट्यूब:

1. उच्च तापमान प्रतिकार. क्वार्ट्ज ग्लासमध्ये अंदाजे 1730 ℃ मऊ बिंदू असतो आणि 1150 ℃ वर विस्तारित कालावधीसाठी वापरला जाऊ शकतो, अल्पकालीन कमाल तापमान 1450 ℃ पर्यंत पोहोचते.

2. गंज प्रतिकार. हायड्रोफ्लोरिक ऍसिड वगळता, उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज इतर अम्लीय पदार्थांसह रासायनिक प्रतिक्रिया देत नाही. उच्च तापमानात, ते सल्फ्यूरिक ऍसिड, नायट्रिक ऍसिड, हायड्रोक्लोरिक ऍसिड, एक्वा रेजीया, तटस्थ क्षार, कार्बन आणि सल्फरपासून गंज सहन करू शकते. त्याची आम्ल प्रतिरोधक क्षमता सिरॅमिक्सच्या 30 पट आणि स्टेनलेस स्टीलच्या 150 पट आहे.  त्याची रासायनिक स्थिरता, विशेषत: उच्च तापमानात, इतर कोणत्याही अभियांत्रिकी सामग्रीपेक्षा अतुलनीय आहे.

3. चांगली थर्मल स्थिरता. उच्च-शुद्धता क्वार्ट्जमध्ये थर्मल विस्ताराचा अत्यंत कमी गुणांक असतो आणि ते तीव्र तापमान बदलांना तोंड देऊ शकतात.  उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सुमारे 1100℃ पर्यंत गरम केल्याने आणि नंतर खोलीच्या तपमानाच्या पाण्यात बुडवल्यास ते खराब होणार नाही.

4. चांगले प्रकाश प्रसारण कार्यप्रदर्शन. उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्जमध्ये अल्ट्राव्हायोलेटपासून इन्फ्रारेडपर्यंत संपूर्ण स्पेक्ट्रममध्ये चांगले प्रकाश प्रसारण कार्यप्रदर्शन असते. दृश्यमान प्रकाश संप्रेषण 93% पेक्षा जास्त आहे आणि अल्ट्राव्हायोलेट स्पेक्ट्रममध्ये, जास्तीत जास्त संप्रेषण 80% पेक्षा जास्त असू शकते.

5. चांगले इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन कार्यप्रदर्शन. उच्च-शुद्धता क्वार्ट्जची प्रतिरोधकता सामान्य क्वार्ट्ज ग्लासपेक्षा दहा हजार पट आहे, ज्यामुळे ते एक उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन सामग्री बनते, उच्च तापमानातही चांगले विद्युत गुणधर्म असतात.