वेट प्रोसेसिंगसाठी सेमीकोरेक्स क्वार्ट्ज टँक, ज्याला क्वार्ट्ज बाथ देखील म्हणतात, वेफर फॅब्रिकेशनसाठी वापरल्या जाणाऱ्या ओल्या प्रक्रियेमध्ये विशेषतः गंभीर आहे.**
सेमीकंडक्टर ग्रेड क्वार्ट्जपासून तयार केलेली वेट प्रोसेसिंगसाठी क्वार्ट्ज टँक, सल्फ्यूरिक ऍसिड (H2SO4), हायड्रोजन पेरॉक्साइड (H2O2), आणि मानक स्वच्छ सोल्यूशन्स (SC1) यासह विविध रसायनांना अपवादात्मक टिकाऊपणा आणि गैर-प्रतिक्रिया देते.
वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये ओल्या प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज टँकच्या प्राथमिक अनुप्रयोगांपैकी एक म्हणजे वेफर्सची साफसफाई. विविध फॅब्रिकेशन पायऱ्यांदरम्यान, विशिष्ट भाग कोरण्यासाठी किंवा नियुक्त केलेल्या भागात प्रसार मर्यादित करण्यासाठी वेफर्स मुखवटा घातले जाऊ शकतात. एक विशिष्ट प्रक्रिया पूर्ण झाल्यानंतर, पुढील चरणासाठी वेफर तयार करण्यासाठी मास्किंग सामग्री पूर्णपणे स्वच्छ करणे आवश्यक आहे. ओल्या प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज टाकी या साफसफाईच्या प्रक्रियेत महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते, हे सुनिश्चित करते की वेफर्स कोणतेही अवशेष किंवा कण न सोडता प्रभावीपणे स्वच्छ केले जातात जे त्यानंतरच्या प्रक्रियेच्या चरणांना दूषित करू शकतात.
आक्रमक रसायनांचा प्रतिकार करण्यासाठी ओल्या प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज टँकची क्षमता ओल्या प्रक्रिया अनुप्रयोगांमध्ये सर्वोपरि आहे. या टाक्या खोदकाम आणि साफसफाईच्या प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या कठोर रसायनांवर प्रतिक्रिया न देता त्यांचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत. ही गैर-प्रतिक्रियाशीलता रसायने प्रभावी राहतील आणि वेफर्सच्या अखंडतेशी तडजोड करू शकतील अशा कोणत्याही अवांछित रासायनिक अभिक्रिया होत नाहीत याची खात्री करते.
वेफर साफ करण्याच्या प्रक्रियेत, कणांसह वेफर्सचे दूषितीकरण कमी करणे आवश्यक आहे. ओल्या प्रक्रियेसाठी सेमीकोरेक्स क्वार्ट्ज टँक दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यासाठी, वेफर्स पूर्णपणे आणि कार्यक्षमतेने साफ केले जातील याची खात्री करण्यासाठी इंजिनिअर केले आहे. आमच्या क्वार्ट्ज टाक्या गरम आणि री-सर्क्यूलेटिंग मॉडेल्समध्ये पुरवल्या जाऊ शकतात, जे अचूक तापमान नियंत्रण आणि साफसफाईच्या उपायांचे सतत अभिसरण करण्यास परवानगी देतात.
ओल्या प्रक्रियेसाठी सेमिकोरेक्स क्वार्ट्ज टँकचे आणखी एक महत्त्वाचे वैशिष्ट्य म्हणजे उच्च थर्मल प्रतिरोधक क्षमता. या टाक्या 190°C पर्यंतच्या तापमानात काम करू शकतात, ज्या प्रक्रियेसाठी साफसफाईची किंवा नक्षीकामाची द्रावणे गरम करतात. उच्च थर्मल प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की टाक्या भारदस्त तापमानातही त्यांची संरचनात्मक अखंडता आणि कार्यप्रदर्शन टिकवून ठेवतात. हे विशेषतः अशा प्रक्रियांमध्ये महत्वाचे आहे जेथे इच्छित परिणाम साध्य करण्यासाठी तापमान नियंत्रण महत्त्वपूर्ण आहे.
ओल्या प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज टाकी कमी थर्मल विस्तार आणि थर्मल शॉकसाठी उच्च प्रतिकार देखील प्रदर्शित करते. कमी थर्मल विस्तार तपमानातील चढउतारांमुळे क्रॅक किंवा विकृत होण्याचा धोका कमी करतो, टाक्यांची दीर्घायुष्य आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करतो. थर्मल शॉकसाठी उच्च प्रतिकार क्वार्ट्ज टाक्यांना त्यांच्या संरचनात्मक अखंडतेशी तडजोड न करता जलद तापमान बदलांना तोंड देण्यास अनुमती देते. हे थर्मल गुणधर्म वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये ओल्या प्रक्रियेच्या चरणांची अचूकता आणि विश्वासार्हता राखण्यासाठी आवश्यक आहेत.
उच्च पारदर्शकता हा ओल्या प्रक्रियेसाठी सेमिकोरेक्स क्वार्ट्ज टाकीचा आणखी एक फायदा आहे. क्वार्ट्ज सामग्रीची पारदर्शकता प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सची व्हिज्युअल तपासणी आणि साफसफाई किंवा कोरीव समाधानाची परवानगी देते. ही दृश्यमानता प्रक्रिया नियंत्रण आणि देखरेख वाढवते, कोणत्याही समस्या शोधल्या जाऊ शकतात आणि त्वरित सोडवल्या जाऊ शकतात याची खात्री करते. वेफर क्लीनिंग आणि एचिंग पायऱ्यांची गुणवत्ता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी प्रक्रियेचे दृश्यमानपणे निरीक्षण करण्याची क्षमता विशेषतः महत्त्वपूर्ण आहे.
Semicorex येथे, आम्ही ओल्या प्रक्रियेसाठी उच्च-गुणवत्तेची क्वार्ट्ज टाकी तयार करण्यासाठी प्रगत मशीनिंग तंत्रज्ञान वापरतो. आमच्या उत्पादन क्षमतांमध्ये डायमंड ब्लेड आणि आकारानुसार लेसर कटिंग, अचूक परिमाणे आणि उच्च-गुणवत्तेची पूर्णता सुनिश्चित करणे समाविष्ट आहे. कण निर्मिती आणि दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यासाठी आम्ही उच्च पॉलिश केलेल्या पृष्ठभागांचा देखील वापर करतो. आमचे अनुभवी क्वार्ट्ज वेल्डर आणि मशीनिस्ट उच्च-शक्तीच्या वेल्डेड इनलेट आणि प्रोब होल्डर्ससह उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्ज टाक्या तयार करतात, जे आमच्या ग्राहकांच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित केले जातात.
ओल्या प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज टाकीची कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा वाढविण्यासाठी, थर्मल तणाव कमी करण्यासाठी आम्ही त्यांना एनील करतो. एनीलिंग ही उष्णता उपचार प्रक्रिया आहे जी क्वार्ट्ज सामग्रीमधील अंतर्गत ताण कमी करते, थर्मल शॉकचा प्रतिकार सुधारते आणि एकूण टिकाऊपणा वाढवते.
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेच्या विविध आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी सानुकूल आकार आणि कॉन्फिगरेशन आवश्यक आहेत. सेमीकोरेक्समध्ये, आम्ही आमच्या क्वार्ट्ज टाक्यांसाठी सानुकूल आकार आणि कॉन्फिगरेशनची विस्तृत श्रेणी ऑफर करतो, ज्यामुळे आम्हाला आमच्या ग्राहकांच्या विशिष्ट गरजांनुसार समाधाने प्रदान करता येतात. उच्च-शक्तीचे वेल्डेड क्वार्ट्ज इनलेट, प्रोब होल्डर किंवा इतर सानुकूल वैशिष्ट्ये जोडत असली तरीही, आम्ही आमच्या क्लायंटसह त्यांच्या अचूक वैशिष्ट्यांची पूर्तता करणाऱ्या क्वार्ट्ज टाक्या वितरीत करण्यासाठी जवळून काम करतो.