एपिटॅक्सियल रिएक्टर चेंबरसाठी SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरल

एपिटॅक्सियल रिॲक्टर चेंबरसाठी सेमीकोरेक्सचे SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरल हे एक प्रीमियम दर्जाचे उत्पादन आहे, जे अचूकता आणि टिकाऊपणाच्या सर्वोच्च मानकांनुसार उत्पादित केले जाते. हे उत्कृष्ट थर्मल चालकता, गंज प्रतिरोधकता देते आणि अर्धसंवाहक उत्पादनातील बहुतेक एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी अत्यंत अनुकूल आहे.
एपिटॅक्सियल रिॲक्टर चेंबरसाठी आमची SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरल, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून, सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
एपिटॅक्सियल रिएक्टर चेंबरसाठी आमच्या SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरलबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

एपिटॅक्सियल रिएक्टर चेंबरसाठी SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरलचे पॅरामीटर्स

एपिटॅक्सियल रिएक्टर चेंबरसाठी SiC-कोटेड ससेप्टर बॅरलची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.

- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.