चीन विशेष ग्रेफाइट उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

स्पेशलिटी ग्रेफाइट हा एक प्रकारचा कृत्रिम ग्रेफाइट आहे ज्यावर प्रक्रिया केली जाते. क्रिस्टल ग्रोथ, आयन इम्प्लांटेशन, एपिटॅक्सी इ. यासह सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेच्या सर्व बाबींमध्ये अपरिहार्य आहे ही एक महत्त्वाची सामग्री आहे.

1. सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) क्रिस्टल ग्रोथ

सिलिकॉन कार्बाईड, तिसर्‍या पिढीतील सेमीकंडक्टर मटेरियल म्हणून, नवीन ऊर्जा वाहने, 5 जी संप्रेषण आणि इतर क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते. 6 इंच आणि 8 इंचाच्या एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये, आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट प्रामुख्याने खालील मुख्य घटक तयार करण्यासाठी वापरले जाते:

ग्रेफाइट क्रूसिबलः याचा उपयोग एसआयसी पावडर फीडस्टॉकचे संश्लेषण करण्यासाठी आणि उच्च तापमानात क्रिस्टल वाढीस मदत करण्यासाठी देखील केला जाऊ शकतो. त्याची उच्च शुद्धता, उच्च-तापमान प्रतिकार आणि थर्मल शॉक प्रतिरोध स्थिर क्रिस्टल वाढीचे वातावरण सुनिश्चित करते.

ग्रेफाइट हीटर: हे उच्च-गुणवत्तेचे एसआयसी क्रिस्टल वाढ सुनिश्चित करून एकस उष्णता वितरण प्रदान करते.

इन्सुलेशन ट्यूब: हे क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये तापमान एकसारखेपणा राखते आणि उष्णतेचे नुकसान कमी करते.

2. आयन रोपण

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये आयन इम्प्लांटेशन ही एक महत्त्वाची प्रक्रिया आहे. आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट प्रामुख्याने आयन इम्प्लॅन्टर्समध्ये खालील घटक तयार करण्यासाठी वापरले जाते:

ग्रेफाइट गेटर: हे आयन बीममध्ये अशुद्धता आयन शोषून घेते, आयन शुद्धता सुनिश्चित करते.

ग्रेफाइट फोकसिंग रिंग: हे आयन बीमवर लक्ष केंद्रित करते, आयन इम्प्लांट अचूकता आणि कार्यक्षमता सुधारते. ग्रेफाइट सब्सट्रेट ट्रे: सिलिकॉन वेफर्सना समर्थन देण्यासाठी आणि आयन रोपण दरम्यान स्थिरता आणि सुसंगतता राखण्यासाठी वापरले जाते.

3. एपिटॅक्सी प्रक्रिया

एपिटॅक्सी प्रक्रिया सेमीकंडक्टर डिव्हाइस मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एक महत्त्वपूर्ण पायरी आहे. आयसोस्टेटिकली दाबलेल्या ग्रेफाइटचा वापर प्रामुख्याने एपिटॅक्सी फर्नेसेसमध्ये खालील घटक तयार करण्यासाठी केला जातो:

ग्रेफाइट ट्रे आणि संवेदनशील: सिलिकॉन वेफर्सना समर्थन देण्यासाठी वापरले जाते, एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान स्थिर समर्थन आणि एकसमान उष्णता वाहक प्रदान करते.

4. इतर सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग applications प्लिकेशन्स

आयसोस्टेटिकली दाबलेले ग्रेफाइट खालील सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग applications प्लिकेशन्समध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते:

एचिंग प्रक्रिया: एचर्ससाठी ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड आणि संरक्षणात्मक घटक तयार करण्यासाठी वापरले जाते. त्याचे गंज प्रतिकार आणि उच्च शुद्धता एचिंग प्रक्रियेमध्ये स्थिरता आणि सुस्पष्टता सुनिश्चित करते.

केमिकल वाफ जमा (सीव्हीडी): सीव्हीडी फर्नेसेसमध्ये ग्रेफाइट ट्रे आणि हीटर तयार करण्यासाठी वापरले जाते. त्याची उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च-तापमान प्रतिकार एकसमान पातळ फिल्म जमा सुनिश्चित करते.

पॅकेजिंग चाचणी: चाचणी फिक्स्चर आणि कॅरियर ट्रे तयार करण्यासाठी वापरले जाते. त्याची उच्च सुस्पष्टता आणि कमी दूषितता अचूक चाचणी परिणाम सुनिश्चित करते.

ग्रेफाइट भागांचे फायदे

उच्च शुद्धता:

अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्रीसह उच्च-शुद्धता आयसोस्टेटिकली दाबलेली ग्रेफाइट सामग्री वापरुन, ती अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या कठोर सामग्री शुद्धतेची आवश्यकता पूर्ण करते. कंपनीची स्वतःची शुद्धीकरण फर्नेस ग्रेफाइटला 5 पीपीएमच्या खाली शुद्ध करू शकते.

उच्च सुस्पष्टता:

प्रगत प्रक्रिया उपकरणे आणि परिपक्व प्रक्रिया तंत्रज्ञानासह, हे सुनिश्चित करते की उत्पादनाची आयामी अचूकता आणि फॉर्म आणि स्थिती सहनशीलता मायक्रॉन पातळीवर पोहोचते.

उच्च कामगिरी:

उत्पादनामध्ये उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, रेडिएशन रेझिस्टन्स, उच्च औष्णिक चालकता आणि इतर गुणधर्म आहेत, अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या विविध कठोर कामकाजाच्या परिस्थितीची पूर्तता करतात.

सानुकूलित सेवा:

सानुकूलित उत्पादन डिझाइन आणि प्रक्रिया सेवा ग्राहकांना वेगवेगळ्या अनुप्रयोग परिस्थितींच्या गरजा भागविण्यासाठी आवश्यकतेनुसार प्रदान केल्या जाऊ शकतात.

ग्रेफाइट उत्पादनांचे प्रकार

(१) आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट
आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट उत्पादने कोल्ड आयसोस्टॅटिक प्रेसिंगद्वारे तयार केली जातात. इतर तयार करण्याच्या पद्धतींच्या तुलनेत, या प्रक्रियेद्वारे तयार केलेल्या क्रूसिबल्समध्ये उत्कृष्ट स्थिरता आहे. एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्ससाठी आवश्यक असलेल्या ग्रेफाइट उत्पादने सर्व आकारात मोठ्या आहेत, ज्यामुळे ग्रेफाइट उत्पादनांच्या पृष्ठभागावर आणि आत असमान शुद्धता होईल, जे वापराच्या आवश्यकता पूर्ण करू शकत नाहीत. एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्ससाठी आवश्यक असलेल्या मोठ्या आकाराच्या ग्रेफाइट उत्पादनांच्या सखोल शुध्दीकरण आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी, मोठ्या आकाराच्या किंवा विशेष-आकाराच्या ग्रेफाइट उत्पादनांचे खोल आणि एकसारखे शुद्धीकरण साध्य करण्यासाठी एक अद्वितीय उच्च-तापमान थर्मोकेमिकल पल्स शुध्दीकरण प्रक्रिया स्वीकारली पाहिजे, जेणेकरून उत्पादनाच्या पृष्ठभागाची शुद्धता आणि कोर वापर आवश्यकता पूर्ण करू शकेल.

(२) सच्छिद्र ग्रेफाइट
सच्छिद्र ग्रेफाइट हा उच्च पोर्सिटी आणि कमी घनतेसह ग्रेफाइटचा एक प्रकार आहे. एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये, सच्छिद्र ग्रेफाइट वस्तुमान हस्तांतरण एकरूपता सुधारण्यात, टप्प्यातील बदलाचा प्रसंग दर कमी करण्यासाठी आणि क्रिस्टल आकार सुधारण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.
सच्छिद्र ग्रेफाइटचा वापर कच्च्या मालाच्या क्षेत्राचे तापमान आणि तापमान एकसारखेपणा सुधारतो, क्रूसिबलमधील अक्षीय तापमानातील फरक वाढवते आणि कच्च्या सामग्रीच्या पृष्ठभागाचे पुनर्रचना कमकुवत करण्यासाठी देखील विशिष्ट प्रभाव पडतो; ग्रोथ चेंबरमध्ये, सच्छिद्र ग्रेफाइट संपूर्ण वाढीच्या प्रक्रियेमध्ये भौतिक प्रवाहाची स्थिरता सुधारते, वाढीच्या क्षेत्राचे सी/सी प्रमाण वाढवते, टप्प्यातील बदलाची संभाव्यता कमी करण्यास मदत करते आणि त्याच वेळी, सच्छिद्र ग्रेफाइट देखील क्रिस्टल इंटरफेस सुधारण्यात भूमिका बजावते.

()) वाटले
मऊ अनुभव आणि कठोर वाटले की एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ आणि एपिटॅक्सियल लिंक्समध्ये महत्त्वपूर्ण थर्मल इन्सुलेशन सामग्रीची भूमिका आहे.

()) ग्रेफाइट फॉइल
ग्रेफाइट पेपर ही एक कार्यात्मक सामग्री आहे जी उच्च-कार्बन फ्लेक ग्रेफाइटपासून रासायनिक उपचार आणि उच्च-तापमान रोलिंगद्वारे बनविली जाते. यात उच्च औष्णिक चालकता, विद्युत चालकता, लवचिकता आणि गंज प्रतिकार आहे.

()) संमिश्र साहित्य
कार्बन-कार्बन थर्मल फील्ड फोटोव्होल्टिक सिंगल क्रिस्टल फर्नेस उत्पादनातील एक मुख्य उपभोग्य वस्तू आहे.

सेमीकोरेक्स उत्पादन

अर्ध-बॅच, सानुकूलित उत्पादन पद्धतींसह सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट बनवतात. छोट्या-बॅचचे उत्पादन उत्पादने अधिक नियंत्रित करते. संपूर्ण प्रक्रिया प्रोग्राम करण्यायोग्य लॉजिक कंट्रोलर्स (पीएलसी) द्वारे नियंत्रित केली जाते, तपशीलवार प्रक्रिया डेटा रेकॉर्ड केला गेला, ज्यामुळे संपूर्ण लाइफसायकल ट्रेसिबिलिटी सक्षम होते.

संपूर्ण भाजण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान, वेगवेगळ्या ठिकाणी प्रतिरोधकतेमध्ये सुसंगतता आणि घट्ट तापमान नियंत्रण राखले जाते. हे ग्रेफाइट सामग्रीची एकरूपता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

सेमीकोरेक्स पूर्णपणे आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग तंत्रज्ञानाचा वापर करतात, जे इतर पुरवठादारांपेक्षा भिन्न आहेत; याचा अर्थ ग्रेफाइट स्वतःच अल्ट्रा एकसमान आहे आणि एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत विशेषतः महत्त्वपूर्ण आहे. घनता, प्रतिरोधकता, कडकपणा, वाकणे सामर्थ्य आणि वेगवेगळ्या नमुन्यांमधील सामर्थ्य यासह सर्वसमावेशक भौतिक एकरूपता चाचण्या घेण्यात आल्या.