TaC लेपित प्लॅनेटरी प्लेट

सेमिकोरेक्स TaC कोटेड प्लॅनेटरी प्लेट MOCVD अणुभट्ट्यांमध्ये एक प्रमुख घटक म्हणून काम करते, त्याच्या पृष्ठभागावर व्यवस्था केलेल्या असंख्य वेफर पॉकेट्सद्वारे वैशिष्ट्यीकृत ग्रहांची रचना प्रदर्शित करते. कोणत्याही एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीच्या टप्प्यात, सब्सट्रेट वेफर्स स्थिर करण्यासाठी आणि भारदस्त प्रक्रियेच्या तापमानात सब्सट्रेटची हालचाल कमी करण्यासाठी हे पॉकेट्स विशेषतः विश्वसनीयपणे सामावून घेण्यासाठी तयार केले जातात. अचूक पॉकेट भूमिती सातत्यपूर्ण वेफर प्लेसमेंट प्रदान करते जी एपिटॅक्सियल लेयर्सची एकसमान जाडी आणि समान प्रक्रियेदरम्यान उगवलेल्या सर्व वेफर्ससाठी सब्सट्रेट दोषांच्या एकसमान पातळीसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

प्लॅनेटरी प्लेटचा एक महत्त्वाचा डिझाईन पैलू, पुन्हा एकदा, प्लेटच्या पृष्ठभागावर बारीक वायू प्रवाह छिद्रांचे इंजिनीयर केलेले फैलाव. अणुभट्टीतील पूर्ववर्ती वायूंचा प्रवाह मोजण्यासाठी हे छिद्र काळजीपूर्वक डिझाइन केलेले आणि धोरणात्मकरित्या ठेवलेले आहेत, त्यामुळे प्रत्येक वेफरमध्ये एकसमान वायू पसरणे आणि अगदी निक्षेपण देखील साध्य केले जाते. कोणत्याही MOCVD प्रक्रियेत, चित्रपटाचे गुण, जाडीची एकसमानता आणि एकूण उपकरणाची कार्यक्षमता ठरवण्यासाठी गॅस डायनॅमिक्सचे पैलू महत्त्वपूर्ण असतात. वर ऑप्टिमाइझ केलेले छिद्र डिझाइनTaC लेपितप्लॅनेटरी प्लेट हे सुनिश्चित करते की सर्व वेफर्स समान प्रक्रिया परिस्थिती अनुभवतात, जे उत्पन्न आणि पुनरुत्पादकता सुधारण्यासाठी एक इष्टतम मार्ग प्रदान करते.

दTaC (टँटलम कार्बाइड) कोटिंगप्लॅनेटरी प्लेटची कार्यक्षमता आणि आयुष्य आणखी वाढवते. टँटलम कार्बाइड अत्यंत कठोर, रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय आणि थर्मलली प्रवाहकीय आहे, ज्यामुळे ते अत्यंत MOCVD वातावरणासाठी उत्कृष्ट कोटिंग बनते. एपिटॅक्सी दरम्यान, अणुभट्टीतील घटकांना उच्च तापमान, प्रतिक्रियाशील पूर्ववर्ती वायू आणि प्लाझ्मा एक्सपोजरचा सामना करावा लागतो. टॅसी कोटिंग गंज, ऑक्सिडेशन आणि कण निर्मितीसाठी एक मजबूत अडथळा म्हणून काम करते ज्यामुळे ग्रहांच्या प्लेटचे आयुष्य एक अनकोटेड किंवा पारंपारिकरित्या लेपित प्लेटपेक्षा लक्षणीय विस्तारते.

TaC कोटेड प्लॅनेटरी प्लेटची दीर्घायुष्य आणि टिकाऊपणा याला MOCVD प्रणालींसाठी एक किफायतशीर पर्याय बनवते. टिकाऊ TaC थर वारंवार थर्मल सायकलिंग आणि अतिप्रक्रिया वायूंच्या संपर्कात येऊ शकते आणि विस्तारित कालमर्यादेत कार्यरत असताना संरचनात्मक अखंडता आणि कामगिरीची स्थिरता राखते.