TaC-कोटेड सील रिंग

सेमीकोरेक्स टॅसी-कोटेड सील रिंग प्लाझ्मा इच रसायनशास्त्र (उदा. फ्लोरिन, क्लोरीन, ब्रोमिन), डोपेंट्स (उदा. बोरॉन, फॉस्फरस, ऑर्गेस), सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या संक्षारक वायू आणि रसायनांच्या विस्तृत श्रेणीसाठी उत्कृष्ट जडत्व दर्शवते. स्वच्छता एजंट. ही जडत्व सील खराब होणे आणि संवेदनशील प्रक्रिया कक्षांचे दूषित होण्यास प्रतिबंध करते.

आणि वितळण्याचा बिंदू 3800°C पेक्षा जास्त असताना, TaC-कोटेड सील रिंग त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि यांत्रिक सामर्थ्य वेफर प्रक्रियेदरम्यान आलेल्या भारदस्त तापमानात राखते. हे उच्च-तापमान ॲनिलिंग, डिपॉझिशन आणि एचिंग प्रक्रियेदरम्यान विश्वसनीय सीलिंग कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.

TaC-कोटेड सील रिंगची अत्यंत कडकपणा आणि कमी घर्षण गुणांक परिधान, स्क्रॅचिंग आणि ओरखडे यांना अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करतात. डायनॅमिक सीलिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये हे गंभीर आहे जेथे वेफर्स आणि इतर घटकांच्या वारंवार हालचाली किंवा संपर्कामुळे कण निर्मिती आणि सील अपयशी होऊ शकते.

TaC-कोटेड सील रिंग अतिशय कमी आउटगॅसिंग दर प्रदर्शित करते, अगदी भारदस्त तापमानातही, ते उच्च-व्हॅक्यूम अनुप्रयोगांसाठी आदर्श बनवते. हे प्रक्रियेची शुद्धता सुनिश्चित करते आणि संवेदनशील वेफर पृष्ठभागांवर अवांछित दूषित पदार्थ जमा होण्यापासून प्रतिबंधित करते.

सेमीकंडक्टर ऍप्लिकेशन्समधील विशिष्ट फायदे:

विस्तारित सील आजीवन:TaC-कोटेड सील रिंग रासायनिक आक्रमण, थर्मल डिग्रेडेशन आणि यांत्रिक पोशाखांना उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करून सीलचे आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवते. हे सील बदलण्याची वारंवारता कमी करते, डाउनटाइम आणि देखभाल खर्च कमी करते.

सुधारित प्रक्रिया उत्पन्न आणि वेफर गुणवत्ता:TaC-कोटेड सील रिंगचे जड स्वरूप कण निर्मिती आणि दूषितता कमी करते, ज्यामुळे उच्च प्रक्रिया उत्पन्न आणि सुधारित वेफर गुणवत्ता वाढते. कठोर दोष सहिष्णुतेसह उच्च-कार्यक्षमता सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या उत्पादनासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.

वर्धित उपकरणे अपटाइम आणि उत्पादकता:सीलचे दीर्घ आयुष्य आणि कमी देखभाल आवश्यकता उपकरणे अपटाइम आणि एकूण उत्पादनक्षमतेमध्ये योगदान देतात. आउटपुट वाढवण्यासाठी आणि उच्च-वॉल्यूम सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या मागण्या पूर्ण करण्यासाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.