TaC लेपित ट्यूब

सेमीकोरेक्स टीएसी कोटेड ट्यूबची शक्ती बेस मटेरियल आणि विशेष कोटिंगच्या समन्वयात्मक संयोजनात आहे:

उच्च-शुद्धता समस्थानिक ग्रेफाइट फाउंडेशन:TaC कोटेड ट्यूबचा गाभा अति-उच्च शुद्धता असलेल्या आयसोट्रॉपिक ग्रेफाइटपासून बनलेला आहे, जो उत्कृष्ट थर्मल चालकता, कमी थर्मल विस्तार आणि थर्मल शॉकसाठी अंतर्निहित प्रतिकार यासाठी प्रसिद्ध आहे. हा फाउंडेशन एक मजबूत आणि स्थिर प्लॅटफॉर्म प्रदान करतो जो जलद तापमान चढउतार आणि सेमीकंडक्टर प्रक्रियेचे वैशिष्ट्यपूर्ण उच्च थर्मल भार सहन करण्यास सक्षम आहे.

टँटलम कार्बाइड---टिकाऊपणा आणि जडत्वाची ढाल:CVD-लागू TaC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे रूपांतर करते, अपवादात्मक कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध आणि रासायनिक जडत्व देते. सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन दरम्यान उद्भवलेल्या आक्रमक वायू, प्लाझमा आणि प्रतिक्रियाशील प्रजातींविरूद्ध हा संरक्षणात्मक स्तर अडथळा म्हणून कार्य करतो, ज्यामुळे ट्यूबची संरचनात्मक अखंडता आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित होते.

हे अद्वितीय साहित्य संयोजन प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी महत्त्वपूर्ण असलेल्या फायद्यांच्या श्रेणीमध्ये अनुवादित करते:

अतुलनीय तापमान प्रतिकार:सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ला मागे टाकून, TaC सर्व ज्ञात सामग्रीच्या सर्वोच्च वितळण्याच्या बिंदूंपैकी एक आहे. हे अत्यंत तापमान प्रतिरोध TaC कोटेड ट्यूबला 2500°C पेक्षा जास्त तापमान आवश्यक असलेल्या प्रक्रियांमध्ये विश्वसनीयपणे कार्य करण्यास अनुमती देते, ज्यामुळे थर्मल बजेटची मागणी असलेल्या पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर उपकरणांचे उत्पादन सक्षम होते.

गंभीर प्रक्रिया नियंत्रणासाठी अति-उच्च शुद्धता:सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये मूळ प्रक्रिया वातावरण राखणे हे सर्वोपरि आहे. उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटचा वापर आणि सूक्ष्म CVD कोटिंग प्रक्रियेमुळे TaC कोटेड ट्यूबमधून कमीतकमी आउटगॅसिंग किंवा कण निर्मिती सुनिश्चित होते, ज्यामुळे संवेदनशील वेफर पृष्ठभाग आणि उपकरणाच्या कार्यक्षमतेशी तडजोड होऊ शकणारे दूषित होण्यास प्रतिबंध होतो.

अतुलनीय रासायनिक प्रतिकार:टीएसी कोटेड ट्यूबची रासायनिक जडत्व हे संक्षारक वायू, प्रतिक्रियाशील आयन आणि सामान्यतः सेमीकंडक्टर प्रक्रिया जसे की एचिंग, डिपॉझिशन आणि ॲनिलिंगमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या प्लाझ्मा वातावरणास अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करते. ही मजबूत रासायनिक स्थिरता विस्तारित ट्यूब आयुर्मान, कमी देखभाल आवश्यकता आणि मालकीच्या कमी एकूण खर्चामध्ये अनुवादित करते.

विस्तारित सेवा जीवनासाठी वर्धित यांत्रिक टिकाऊपणा:TaC कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यातील मजबूत बाँडिंग फोर्स, TaC कोटेड ट्यूबच्या अंतर्निहित कडकपणासह, परिधान, इरोशन आणि यांत्रिक तणावासाठी अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करते. ही वर्धित टिकाऊपणा दीर्घ सेवा आयुष्यासाठी अनुवादित करते आणि बदली, प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि थ्रूपुट सुधारण्यासाठी डाउनटाइम कमी करते.