TaC लेपित वेफर रिसेप्टर

सेमीकोरेक्स TaC कोटेड वेफर ससेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहे जो सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल (एपीआय) प्रक्रियेसाठी मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल वाष्प डिपॉझिशन (MOCVD) फर्नेसमध्ये वापरला जातो. हे विशेष गोल ससेप्टर उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट सामग्रीपासून तयार केले गेले आहे आणि त्यात एक अद्वितीय टॅंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग आहे.

TaC कोटिंगचा प्राथमिक उद्देश सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेच्या मागणीच्या परिस्थितीत TaC कोटेड वेफर ससेप्टरची कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा वाढवणे हा आहे. टॅंटलम कार्बाइड त्याच्या अपवादात्मक कडकपणा, उच्च वितळण्याचे बिंदू आणि परिधान आणि गंज यांच्या प्रतिकारासाठी ओळखले जाते. हे गुणधर्म TaC कोटेड वेफर ससेप्टरला MOCVD फर्नेसमध्ये होणाऱ्या रासायनिक प्रतिक्रिया आणि शारीरिक ताणांपासून अंतर्निहित ग्रेफाइट ससेप्टरचे संरक्षण करण्यासाठी एक आदर्श पर्याय बनवतात.

TaC कोटेड वेफर ससेप्टर वेफर्सवर पातळ फिल्म्स ठेवण्याची सुविधा देऊन अर्धसंवाहक पदार्थांच्या एपिटॅक्सियल वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक वातावरणाचा सामना करण्याची त्याची क्षमता अचूक आणि विश्वासार्ह सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

TaC कोटेड वेफर ससेप्टर, त्याच्या ग्रेफाइट कोर आणि टॅंटलम कार्बाइड कोटिंगसह, सातत्यपूर्ण आणि एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते, MOCVD प्रक्रियेदरम्यान वाढलेल्या सेमीकंडक्टर स्तरांच्या पुनरुत्पादन आणि गुणवत्तेत योगदान देते. हे प्रगत साहित्य संयोजन सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी एक विश्वासार्ह आणि टिकाऊ उपाय बनवते, आधुनिक इलेक्ट्रॉनिक उपकरण उत्पादनाच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करते.