TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंग

चे कार्यTaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंग:

अचूक वायू प्रवाह नियंत्रण:TaC कोटिंग गाईड रिंग रणनीतिकदृष्ट्या MOCVD अणुभट्टीच्या गॅस इंजेक्शन प्रणालीमध्ये स्थित आहे. त्याचे प्राथमिक कार्य म्हणजे पूर्ववर्ती वायूंचा प्रवाह निर्देशित करणे आणि सर्व थर वेफर पृष्ठभागावर त्यांचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करणे. गॅस फ्लो डायनॅमिक्सवर हे अचूक नियंत्रण एकसमान एपिटॅक्सियल लेयर वाढ आणि इच्छित सामग्री गुणधर्म साध्य करण्यासाठी आवश्यक आहे.

थर्मल व्यवस्थापन:तापलेल्या ससेप्टर आणि सब्सट्रेटच्या जवळ असल्यामुळे TaC कोटिंग गाईड रिंग अनेकदा भारदस्त तापमानात चालते. TaC ची उत्कृष्ट थर्मल चालकता उष्णता प्रभावीपणे नष्ट करण्यात मदत करते, स्थानिकीकृत अतिउष्णता टाळते आणि प्रतिक्रिया झोनमध्ये स्थिर तापमान प्रोफाइल राखते.

MOCVD मध्ये TaC चे फायदे:

कमाल तापमान प्रतिकार:3800°C पेक्षा जास्त असलेल्या सर्व पदार्थांमध्ये TaC हा सर्वोच्च वितळणारा बिंदू आहे. 

उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व:TaC MOCVD मध्ये वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिक्रियाशील पूर्ववर्ती वायूंपासून गंज आणि रासायनिक आक्रमणास अपवादात्मक प्रतिकार प्रदर्शित करते, जसे की अमोनिया, सिलेन आणि विविध धातू-सेंद्रिय संयुगे.

TaC आणि SiC ची गंज प्रतिकार तुलना

कमी थर्मल विस्तार:MOCVD प्रक्रियेदरम्यान तापमानातील चढउतारांमुळे औष्णिक विस्ताराचे TaC चे कमी गुणांक मितीय बदल कमी करते. 

उच्च पोशाख प्रतिकार:TaC ची कडकपणा आणि टिकाऊपणा MOCVD प्रणालीमधील वायूंच्या सतत प्रवाहामुळे आणि संभाव्य कणांच्या झीज होण्यास उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. 

MOCVD कामगिरीसाठी फायदे:

MOCVD उपकरणांमध्ये Semicorex TaC कोटिंग गाईड रिंगचा वापर यामध्ये महत्त्वपूर्ण योगदान देतो:

सुधारित एपिटॅक्सियल लेयर एकरूपता:TaC कोटिंग गाईड रिंगद्वारे सुलभ गॅस प्रवाह नियंत्रण एकसमान पूर्ववर्ती वितरण सुनिश्चित करते, परिणामी उच्च एकसमान एपिटॅक्सियल लेयरची वाढ सुसंगत जाडी आणि रचनासह होते.

वर्धित प्रक्रिया स्थिरता:TaC ची थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व MOCVD चेंबरमध्ये अधिक स्थिर आणि नियंत्रित प्रतिक्रिया वातावरणात योगदान देते, प्रक्रिया भिन्नता कमी करते आणि पुनरुत्पादनक्षमता सुधारते.

वाढलेली उपकरणे अपटाइम:TaC कोटिंग गाईड रिंगची टिकाऊपणा आणि विस्तारित आयुर्मान वारंवार बदलण्याची गरज कमी करते, देखभाल डाउनटाइम कमी करते आणि MOCVD प्रणालीची कार्यक्षमता वाढवते.