सेमीकोरेक्स TaC कोटिंग प्लेट एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रिया आणि पुढील सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणाची मागणी करण्यासाठी उच्च-कार्यक्षमता घटक म्हणून उभी आहे. त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांच्या मालिकेसह, ते शेवटी प्रगत सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेची उत्पादकता आणि खर्च-प्रभावशीलता वाढवू शकते.**
सेमीकोरेक्स टॅसी कोटिंग प्लेटची अति-उच्च शुद्धता हे एक उत्कृष्ट वैशिष्ट्य आहे जे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेदरम्यान दूषितता आणि अशुद्धता परिचय रोखण्यासाठी त्याचे महत्त्व दर्शवते. त्याच्या TaC कोटिंगची उच्च पातळीची शुद्धता अशा वातावरणात आवश्यक आहे जिथे ट्रेस दूषित घटक देखील प्रक्रिया केलेल्या सामग्रीच्या गुणवत्तेवर आणि कार्यक्षमतेवर तीव्रपणे परिणाम करू शकतात. स्वच्छ इंटरफेस राखून, TaC कोटिंग प्लेट हे सुनिश्चित करते की सेमीकंडक्टर उपकरण कठोर कार्यप्रदर्शन मानकांची पूर्तता करतात.
2500°C पर्यंत तापमान सहन करण्याच्या क्षमतेसह, TaC कोटिंग प्लेट उल्लेखनीय थर्मल स्थिरता वैशिष्ट्यीकृत करते, ज्यामध्ये तीव्र उष्णता समाविष्ट असलेल्या प्रक्रियांसाठी सातत्याने लागू केले जाते. हे उच्च-तापमान प्रतिरोध सुनिश्चित करते की कोटिंग अखंड आणि पूर्णपणे कार्यरत राहते, थर्मल डिग्रेडेशनपासून खालच्या थराचे संरक्षण करते. परिणामी, TaC कोटिंग प्लेट उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये कोटिंग अयशस्वी होण्याच्या जोखमीशिवाय विश्वसनीयपणे वापरली जाऊ शकते, एकूण प्रक्रियेची कार्यक्षमता वाढवते.
TaC कोटिंग प्लेट हायड्रोजन (H2), अमोनिया (NH3), सिलेन (SiH4) आणि सिलिकॉन (Si) यासह रासायनिकदृष्ट्या आक्रमक पदार्थांच्या विस्तृत श्रेणीसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार दर्शवते. हे रासायनिक प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की प्लेट्स प्रतिकूल वातावरणात गंज किंवा रासायनिक पोशाखांना बळी न पडता प्रभावीपणे कार्य करू शकतात. ही क्षमता सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये विशेषतः फायदेशीर आहे, जिथे प्रतिक्रियाशील रसायनांचा संपर्क हा नित्यक्रम आहे आणि उपकरणांच्या दीर्घायुष्यावर आणि कार्यक्षमतेवर लक्षणीय परिणाम करू शकतो.
TaC कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यातील मजबूत आसंजन सतत उच्च-तापमान आणि रासायनिकदृष्ट्या आक्रमक परिस्थितीतही, सोलणे किंवा डिलेमिनेशन न करता दीर्घकालीन वापर सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. या टिकाऊपणामुळे देखभाल आणि बदलण्याची वारंवारता कमी होते, ज्यामुळे अखंड ऑपरेशन्स होतात आणि एकूण ऑपरेशनल खर्च कमी होतो. TaC कोटिंग प्लेटचे विस्तारित सेवा आयुष्य हे सुनिश्चित करते की ते सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये एक विश्वासार्ह घटक राहतील.
TaC कोटिंग प्लेट त्यांच्या उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोधनामुळे, क्रॅक किंवा स्ट्रक्चरल बिघाड न करता जलद तापमान बदल हाताळण्यासाठी इंजिनीयर केलेली आहे. ही गुणधर्म त्यांना प्रक्रिया चक्रादरम्यान तापमानातील फरकांशी झटपट जुळवून घेण्यास अनुमती देते, उत्पादन गती आणि कार्यक्षमता वाढवते. नुकसान न करता थर्मल शॉक सहन करण्याची क्षमता अधिक सुव्यवस्थित आणि कार्यक्षम उत्पादन प्रक्रियेस हातभार लावते, कारण उपकरणे वेगवेगळ्या तापमान स्थितींमध्ये त्वरीत संक्रमण करू शकतात.
TaC कोटिंगचा वापर कठोर मितीय सहिष्णुतेची पूर्तता करण्यासाठी काळजीपूर्वक नियंत्रित केला जातो, TaC कोटिंग प्लेट सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांसाठी आवश्यक असलेल्या वैशिष्ट्यांसाठी पूर्णपणे अनुकूल असल्याची खात्री करून. जटिल प्रणालींसह सुसंगतता राखण्यासाठी आणि इष्टतम कार्यप्रदर्शन साध्य करण्यासाठी ही अचूकता आवश्यक आहे. कोटिंगचा सातत्यपूर्ण वापर हमी देतो की सर्व पृष्ठभाग समान रीतीने संरक्षित आहेत, उच्च-सुस्पष्टता प्रक्रियेत प्लेट्सची विश्वासार्हता वाढवते.