टेफ्लॉन कॅसेट

सेमीकोरेक्स टेफ्लॉन कॅसेट उच्च कार्यक्षमता वेफर कॅरियर आहेत ज्यात शुद्धता, रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता आवश्यक असलेल्या रासायनिक वातावरणाच्या मागणीसाठी वापरण्यासाठी विशेषतः अभियंता आहेत. उच्च-शुद्धता पॉलीटेट्राफ्लोरोएथिलीन (पीटीएफई) पासून बनविलेले, या कॅसेटचा मोठ्या प्रमाणात सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग, ओले एचिंग, केमिकल क्लीनिंग आणि इतर अनुप्रयोगांमध्ये वापर केला जातो जेथे अत्यंत आक्रमक रसायनांचा संपर्क नियमित असतो. त्यांचा नॉन-रि tive क्टिव स्वभाव त्यांना सिलिकॉन वेफर्स, काचेच्या पॅनल्स आणि इतर सुस्पष्ट घटकांसारख्या नाजूक थर हाताळण्यासाठी आदर्श बनवितो.

लिथोग्राफी, एचिंग आणि आयन रोपण यासारख्या सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या विविध प्रक्रियांमध्ये, कॅसेट वेगवेगळ्या उपकरणांमधील वेफर्सची वाहतूक आणि हस्तांतरित करण्यात भूमिका निभावतात. वेफर कॅरियर अचूकपणे प्राप्त आणि ठेवता येतील याची खात्री करण्यासाठी कॅसेटसाठी भिन्न प्रक्रिया उपकरणांमध्ये भिन्न इंटरफेस आवश्यकता असू शकतात.

सामग्री आणि डिझाइनच्या दृष्टीकोनातून, उष्णता-प्रतिरोधक असलेल्या सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म आहेत, मितीय स्थिरता आणि टिकाऊ, अँटी-स्टॅटिक, कमी आउटगॅसिंग, कमी पर्जन्यवृष्टी आणि पुनर्वापरयोग्य सामान्यत: वापरले जातात. भिन्न वेफर आकार, प्रक्रिया नोड्स आणि प्रक्रिया भिन्न सामग्री वापरतात. सामान्य सामग्री म्हणजे पीएफए, पीटीएफई, पीपी, पीक, पीईएस, पीसी, पीबीटी, पीईआय, सीओपी, इ.

टेफ्लॉन कॅसेट हायड्रोफ्लूरिक acid सिड, नायट्रिक acid सिड, सल्फ्यूरिक acid सिड आणि इतर मजबूत कॉरोसिव्ह्ज वापरुन वातावरणात उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार ऑफर करतात. पॉलीप्रॉपिलिन किंवा स्टेनलेस स्टील सारख्या पारंपारिक सामग्रीच्या विपरीत, पीटीएफई खराब होत नाही; फुगत नाही; कठोर रासायनिक बाथमध्ये कोणतेही पदार्थ नाहीत. म्हणून कार्यक्षमतेची हमी दीर्घ कालावधीसाठी केली जाते आणि म्हणूनच उच्च-थ्रूपुट उत्पादन रेषा आणि अल्ट्रा-क्लीन वातावरणासाठी कॅसेटची विश्वसनीयता. त्याची मजबुती म्हणजे देखभाल कमी करणे आणि बदलण्याची वारंवारता, ज्यामुळे दीर्घकालीन ऑपरेटिंग खर्च कमी होतो.

टेफ्लॉन कॅसेट खूप उच्च थर्मल स्थिरता दर्शवितात. ते क्रायोजेनिक तसेच उच्च -तापमान प्रक्रियेसाठी लागू असलेल्या -200 डिग्री सेल्सियस ते +260 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमान सहजपणे प्रतिकार करू शकतात. अगदी गरम कोरडे कक्ष किंवा कोल्ड केमिकल बाथमध्ये ठेवलेले, कॅसेटची स्ट्रक्चरल सामर्थ्य गमावत नाही; प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स सुरक्षितपणे राहील याची खात्री करुन ते तडफड किंवा क्रॅक करत नाहीत. हे तापमान लवचिकता नियंत्रण आणि एकरूपतेवर प्रक्रिया करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण योगदान देते, जे सेमीकंडक्टर आणि एमईएमएस फॅब्रिकेशनसाठी गंभीर आहेत.

टेफ्लॉन कॅसेटचे तितकेच महत्त्वाचे वैशिष्ट्य म्हणजे त्याची जड, नॉन-स्टिक पृष्ठभाग. पीटीएफई अंतर्निहितपणे कण आणि रासायनिक अवशेषांच्या शोषणास अनुमती देत नाही, म्हणून क्लीनरूमच्या वातावरणात दूषित होण्याचे जोखीम कमी करते. हे एक गुळगुळीत पृष्ठभाग फिनिशसह जोडले जाणे आवश्यक आहे जे द्रुतगतीने स्वच्छ धुण्यास परवानगी देते आणि द्रुतगतीने कोरडे करते, अशा प्रकारे स्वच्छ परिणाम आणि वेगवान सायकल वेळा परिणाम. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये, जेथे अगदी सूक्ष्म दूषित पदार्थांमुळे दोष देखील उद्भवू शकतात, ही स्वच्छता आणि रासायनिक जडत्व पातळी अनिवार्य आहे.

प्रत्येक कॅसेट घट्ट आकाराच्या सहनशीलतेसाठी अचूकपणे बनविली जाते, हलविली जाते आणि द्रव मध्ये ठेवताना स्थिर वेफर संरेखन आणि अंतर ठेवते. त्यांचे सहजपणे डिझाइन केलेले फॉर्म द्रुत रासायनिक प्रवाह आणि ड्रेनेजला मदत करते, जे रासायनिक विनिमय दरास गती देते आणि वेफर पृष्ठभागावर साफसफाई किंवा एकसारखेपणा सुधारते.  कॅसेट 4 इंच, 6 इंच आणि 8 इंचाच्या वेफर्ससाठी मानक आकारात उपलब्ध आहेत, विशिष्ट सब्सट्रेट परिमाण, स्लॉट गणना आणि हाताळणीच्या आवश्यकतेनुसार सानुकूलित पर्याय उपलब्ध आहेत.

स्वयंचलित ओले बेंच आणि रोबोटिक वेफर हँडलिंग सिस्टमसह सुसंगततेसाठी डिझाइन केलेले, टेफ्लॉन कॅसेट बहुतेक सेमीकंडक्टर उत्पादन सेटअपमध्ये सहजपणे समाकलित होते. त्यांचे मजबूत बांधकाम आणि क्लीनरूम-ग्रेड फिनिश आयएसओ-प्रमाणित वातावरणाच्या कठोर मागणी पूर्ण करतात. प्रगत मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादनासाठी आवश्यक असलेल्या स्वच्छतेच्या मानदंडांची पूर्तता करण्यासाठी सर्व कॅसेटची संपूर्ण तपासणी केली जाते आणि अल्ट्रा-शुद्ध पाण्यात पूर्व-साफ केले जाते. गुणवत्ता आश्वासन प्रोटोकॉलचे अनुपालन सुनिश्चित करण्यासाठी अनुरुप आणि संपूर्ण सामग्री ट्रेसिबिलिटीचे प्रमाणपत्रे प्रदान केली जाऊ शकतात.