15" क्वार्ट्ज बेल जार

सेमीकोरेक्स 15" क्वार्ट्ज बेल जार या आव्हानांना तोंड देण्यासाठी तयार केले गेले आहे, जे मध्यम ते मोठ्या प्रमाणात बॅच प्रक्रियेसाठी उच्च-कार्यक्षमतेचे समाधान प्रदान करते जेथे जास्तीत जास्त उत्पादनासाठी थर्मल एकरूपता आणि सामग्रीची शुद्धता आवश्यक आहे. सेमीकंडक्टर आणि पातळ-फिल्म उद्योगांमध्ये, अखंडता ही प्रक्रियेची अखंडता आणि आकार वाढवते. संकुचित, स्वच्छ, स्थिर आणि रासायनिक अक्रिय वातावरणाची आवश्यकता नॉन-सोशिएबल बनते.

1. भौतिक विज्ञान: फ्यूज्ड सिलिकाची शुद्धता

आमच्या बेल जारचा पाया उच्च-शुद्धता आहेफ्यूज्ड सिलिका (क्वार्ट्ज). मानक काचेच्या विपरीत, क्वार्ट्ज जवळजवळ संपूर्णपणे SiO2 चे बनलेले आहे, जे सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनसाठी महत्त्वपूर्ण असलेले अद्वितीय गुणधर्म प्रदान करते:

अल्ट्रा-लो दूषितता: आमच्या क्वार्ट्जवर धातूचे ट्रेस घटक (जसे की Al, Fe, Na, आणि K) भाग-प्रति-बिलियन (ppb) पातळीवर कमी करण्यासाठी प्रक्रिया केली जाते. हे उच्च-तापमान चक्रादरम्यान वेफरमध्ये अशुद्धतेच्या प्रसारास प्रतिबंध करते, ज्यामुळे उपकरणांची विद्युत अखंडता सुनिश्चित होते.

सुपीरियर थर्मल शॉक रेझिस्टन्स: क्वार्ट्जमध्ये थर्मल एक्सपेन्शन (CTE) चे जवळपास-शून्य गुणांक आहे. हे 15" क्वार्ट्ज बेल जारला फ्रॅक्चर किंवा स्ट्रक्चरल थकवा येण्याच्या जोखमीशिवाय वेगवान तापमान रॅम्पिंग आणि शमन सहन करण्यास अनुमती देते - उच्च-थ्रूपुट अणुभट्ट्यांसाठी एक गंभीर आवश्यकता.

उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व: क्वार्ट्ज बहुतेक ऍसिडस् (हायड्रोफ्लोरिक ऍसिडचा अपवाद वगळता) आणि संक्षारक प्रक्रिया वायूंना अत्यंत प्रतिरोधक आहे, हे सुनिश्चित करते की आक्रमक कोरीव काम किंवा डिपॉझिशन सायकल दरम्यान चेंबर खराब होणार नाही किंवा बाहेर पडणार नाही.

2. अचूक अभियांत्रिकी आणि ऑप्टिकल स्पष्टता

15" क्वार्ट्ज बेल जार बॅच वेफर प्रक्रियेच्या उद्देशाने जास्तीत जास्त व्हॉल्यूम आणि इष्टतम गॅस प्रवाह गतिशीलता प्रदान करते. किलकिलेमध्ये उभ्या चिमणी (ज्याला मान म्हणून देखील ओळखले जाते) आहे जी गॅससाठी इनलेट प्रदान करण्यासाठी किंवा वरच्या प्रतिमेमध्ये दर्शविलेल्या जारमधून व्हॅक्यूममधून गॅस काढण्यासाठी उत्कृष्टपणे डिझाइन केलेली आहे.

ऑप्टिकल पारदर्शकता - च्या प्रसाराची उच्च पातळीक्वार्ट्ज साहित्यस्पेक्ट्रमच्या अल्ट्राव्हायोलेट, दृश्यमान आणि अवरक्त प्रदेशांमध्ये तरंगलांबी उत्सर्जित करण्यासाठी रिअल टाइम प्रक्रिया तसेच जलद थर्मल प्रक्रियेसाठी (RTP) बाह्य दिवा हीटर्स वापरण्याची परवानगी देते.

प्रबलित सीलिंग पृष्ठभाग - जारच्या मानेमध्ये एक विशेष विकसित अपारदर्शक पांढरा सील असतो (ज्याला ग्राउंड जॉइंट देखील म्हटले जाते) जे अणुभट्टी बेसप्लेट आणि जार यांच्यामध्ये हर्मेटिक (एअर-सील केलेले) आणि व्हॅक्यूम-टाइट इंटरफेस प्रदान करते.

तणावमुक्तीसाठी ॲनिलिंग - सर्व 15" क्वार्ट्ज बेल किलकिले फुंकण्याच्या किंवा आकार देण्याच्या यांत्रिक प्रक्रियेद्वारे किलकिलेवर ठेवलेल्या अंतर्गत यांत्रिक ताणापासून मुक्त होण्यासाठी कठोर थर्मल ॲनिलिंग प्रक्रियेतून जातात, त्यामुळे जार खाली लोड केल्यावर उत्स्फूर्तपणे निकामी होण्याची शक्यता लक्षणीयरीत्या कमी करते.

3. सेमीकंडक्टर फॅबमधील गंभीर अनुप्रयोग

आमचे 15" क्वार्ट्ज बेल जार विशेषतः खालील उच्च-मूल्य प्रक्रियांमध्ये एकत्रीकरणासाठी डिझाइन केले आहे:

सिलिकॉन एपिटॅक्सी: उच्च-गुणवत्तेचे सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन स्तर वाढविण्यासाठी एक पारदर्शक, गैर-प्रतिक्रियाशील जहाज प्रदान करणे.

प्लाझ्मा एन्हांस्ड सीव्हीडी (पीईसीव्हीडी): उच्च डाईलेक्ट्रिक सामर्थ्य राखून उपरोधिक प्लाझ्मा वातावरणाचा सामना करणे.

प्रसार आणि ऑक्सिडेशन: गेट ऑक्साइड आणि डोपंट ड्राईव्ह-इनच्या निर्मितीसाठी स्वच्छ, उच्च-उष्णता कक्ष म्हणून काम करते.

ऑप्टिकल फायबर प्रीफॉर्म उत्पादन: विशेष काचेच्या निर्मितीमध्ये सिलिका थरांच्या उच्च-शुद्धतेसाठी आदर्श.

सेमीकोरेक्समध्ये, आम्ही प्रत्येक बेल जार अचूक प्रयोगशाळेच्या उपकरणाचा तुकडा म्हणून हाताळतो. आमच्या प्रक्रियेमध्ये हे समाविष्ट आहे: सत्यापित इलेक्ट्रॉनिक-श्रेणीसह कठोर सामग्री सोर्सिंगक्वार्ट्जingots; सीएनसी-नियंत्रित ग्राइंडिंग आणि पॉलिशिंगसह पारंपारिक काच उडवण्याचे कौशल्य विलीन करणारे प्रगत फॅब्रिकेशन; आणि अवशिष्ट ताण शोधण्यासाठी ध्रुवीकृत प्रकाश वापरून पूर्ण तपासणी आणि अचूक मितीय तपासणीसाठी लेसर इंटरफेरोमेट्री.