1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स

सेमीकंडक्टर वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये, सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या नंतरच्या फॅब्रिकेशनसाठी एपिटॅक्सियल लेयर वेफर सब्सट्रेटवर वाढवणे आवश्यक आहे. एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रिया तापमान चढउतार आणि दूषिततेसाठी अत्यंत संवेदनशील असल्याने, विश्वसनीय निवडवेफर ससेप्टर्सगंभीरपणे महत्वाचे आहेत. वेफर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील अपरिहार्य सहाय्यक भाग म्हणून, मशीनिंग अचूकता, थर्मल व्यवस्थापन क्षमता आणि प्रदूषण प्रतिरोधक कामगिरी हे उच्च-गुणवत्तेचे वेफर एपिटॅक्सियल वाढ साध्य करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण घटक आहेत.

सेमिकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्सची कार्ये

अल्ट्रा-फाईन ग्रेनपासून बनवलेले, उच्च-शुद्धतेचे ग्रेफाइट विशेष प्रक्रियांद्वारे दाट सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगसह मॅट्रिक्स म्हणून, सेमिकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स खालील कार्ये देतात:

1.सुरक्षित आणि शिळे होल्डिंग

सेमीकोरेक्स 1x2"ग्रेफाइटवेफर ससेप्टर्समध्ये अचूक मशीनिंग आणि ट्रीटमेंट असते, ज्यामुळे पृष्ठभागाची सपाटता आणि मितीय अचूकता येते. हे सुनिश्चित करते की ते योग्य स्थितीत दृढपणे सुरक्षित आहेत आणि वेफर एपिटॅक्सियल वाढीसाठी एक स्थिर, सपाट समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करते.

2.प्रिसिजन एकसमान उष्णता वितरण

ग्रेफाइट आणि SiC सामग्रीच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकतेसह, Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स अर्धसंवाहक पदार्थामध्ये जलद आणि एकसमान उष्णता वितरण प्रदान करतात. तापमान ग्रेडियंट्स कमी करून, Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स असमान epcentita सारख्या समस्या आणि गुणवत्तेचा ताण यांसारख्या समस्या प्रभावीपणे टाळू शकतात.

सेमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे फायदे

1.सुपीरियर गंज प्रतिकार

दाट सिलिकॉन कार्बाइड लेपने झाकलेले, सेमीकोरेक्स 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स बहुसंख्य रसायनांना प्रभावीपणे प्रतिरोधक असतात, ते अत्यंत संक्षारक ऑपरेटिंग परिस्थितीत वापरण्यासाठी योग्य बनवतात जेथे सामग्री वारंवार संक्षारक वायू आणि रासायनिक बाष्पांच्या संपर्कात असते.

2.कण कमी होणे

सेमीकोरेक्ससिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगग्रेफाइट मॅट्रिक्ससह उच्च बाँडिंग सामर्थ्य आहे, जे गंज आणि उच्च-गंज वातावरणामुळे कणांच्या घसरणीमुळे कोटिंग डिटेचमेंटमुळे सब्सट्रेट दूषित होण्याचा धोका लक्षणीयरीत्या टाळू शकते.

3. विश्वसनीय सेवा जीवन

जरी ग्रेफाइट मॅट्रिक्स उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्य दर्शवितात, तरीही एपिटॅक्सियल प्रक्रियेच्या ऑपरेटिंग परिस्थितीत ते गंज आणि पल्व्हरायझेशनसाठी प्रवण असते, अनकोटेड ग्रेफाइट मॅट्रिक्सचे आयुष्य मोठ्या प्रमाणात कमी करते. दाट SiC कोटिंग्जसह ग्रेफाइट मॅट्रिक्स पूर्णपणे एन्कॅप्स्युलेट करून, आमचे 1×2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स उत्कृष्ट आणि विश्वासार्ह टिकाऊपणा प्राप्त करतात.

सेमिकोरेक्स SiC कोटिंगचा मटेरियल डेटा