सेमीकोरेक्स हे एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी MOCVD ससेप्टरचे प्रमुख पुरवठादार आणि निर्माता आहे. आमचे उत्पादन सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, विशेषतः वेफर चिपवरील एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी. आमचा ससेप्टर MOCVD मध्ये मध्यवर्ती प्लेट म्हणून वापरण्यासाठी डिझाइन केला आहे, गियर किंवा रिंग-आकाराच्या डिझाइनसह. उत्पादनामध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते अत्यंत वातावरणात स्थिर होते.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या MOCVD ससेप्टरचा एक फायदा म्हणजे सोलणे टाळून सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करण्याची क्षमता आहे. उत्पादनामध्ये उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आहे, जे 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिरता सुनिश्चित करते. आमच्या उत्पादनाची उच्च शुद्धता उच्च-तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून प्राप्त केली जाते. सूक्ष्म कणांसह दाट पृष्ठभाग हे सुनिश्चित करते की उत्पादन आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांपासून गंजण्यास अत्यंत प्रतिरोधक आहे.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमचा MOCVD ससेप्टर सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करते. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या MOCVD ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी MOCVD ससेप्टरचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी MOCVD ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- सोलणे टाळा आणि सर्व पृष्ठभागावर कोटिंग सुनिश्चित करा
उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च तापमानात स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीत CVD रासायनिक वाष्प जमा करून बनविलेले.
गंज प्रतिकार: उच्च कडकपणा, दाट पृष्ठभाग आणि सूक्ष्म कण.
गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
- सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार वायू प्रवाह नमुना प्राप्त करा
- थर्मल प्रोफाइलच्या समानतेची हमी
- कोणतीही दूषितता किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करा