6 "वेफर धारक

सेमीकोरेक्स 6 "वेफर धारकांना एसआयसी (सिलिकॉन कार्बाईड) एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेच्या मागणीची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी विशेषत: अभियंता आहेत. उच्च-तापमान, रासायनिक प्रतिक्रियाशील वातावरणात वापरण्यासाठी डिझाइन केलेले, हे धारक उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता, थर्मल एकसमानता आणि प्रक्रिया विश्वासार्हता प्रदान करतात, त्यांना सल्लागार एसआयसीआयसीसाठी आवश्यक घटक बनतात.

वेफर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेदरम्यान, काही वेफर सब्सट्रेट्सना डिव्हाइसची निर्मिती सुलभ करण्यासाठी एपिटॅक्सियल थर तयार करणे आवश्यक आहे. ठराविक उदाहरणांमध्ये एलईडी लाइट-उत्सर्जक उपकरणे समाविष्ट आहेत, ज्यास सिलिकॉन सब्सट्रेट्सवर जीएएएस एपिटॅक्सियल थर तयार करणे आवश्यक आहे; उच्च व्होल्टेज, उच्च चालू आणि इतर उर्जा अनुप्रयोगांसाठी एसबीडी आणि एमओएसएफईटीएस सारख्या उपकरणे तयार करण्यासाठी सिक एपिटॅक्सियल थर वाहक एसआयसी सब्सट्रेट्सवर घेतले जातात; संप्रेषण आणि इतर रेडिओ वारंवारता अनुप्रयोगांसाठी एचईएमटी आणि इतर डिव्हाइस तयार करण्यासाठी सेमी-इन्सुलेट एसआयसी सब्सट्रेट्सवर जीएएन एपिटॅक्सियल थर तयार केले जातात. ही प्रक्रिया सीव्हीडी उपकरणांमधून अविभाज्य आहे.

सीव्हीडी उपकरणांमध्ये, सब्सट्रेट थेट धातुवर किंवा फक्त एपिटेक्सियल जमा करण्यासाठी बेसवर ठेवता येत नाही, कारण त्यात गॅस फ्लो डायरेक्शन (क्षैतिज, अनुलंब), तापमान, दबाव, निर्धारण आणि घसरण दूषित पदार्थ यासारख्या विविध घटकांचा समावेश आहे. म्हणून, बेस आवश्यक आहे, आणि नंतर सब्सट्रेट ट्रे वर ठेवला जातो आणि नंतर सीव्हीडी तंत्रज्ञानाचा वापर करून सब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल डिपॉझिट केले जाते. हा बेस एक आहेSic-coatedग्रेफाइट बेस (6 "वेफर धारक).

6 "वेफर धारक उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापनासाठी अनुकूलित आहेत, वेफर पृष्ठभागावर एकस उष्णता वितरण सुनिश्चित करतात. याचा परिणाम सुधारित थर एकरूपता, कमी दोष घनता आणि एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान वाढीव एकूण उत्पन्न. डिझाइनमध्ये अचूक वेफर क्लॅम्पिंग आणि संरेखन, कण निर्मिती आणि मेकॅनिकल ताण कमी करणे आवश्यक आहे जे अंतिम उपकरणांवर परिणाम करू शकते.

आपण एसआयसी-आधारित पॉवर डिव्हाइसचे संशोधन आणि विकास किंवा पूर्ण-प्रमाणात उत्पादन करीत असलात तरी, आमचे 6 "वेफर धारक आपल्या प्रक्रियेची कार्यक्षमता जास्तीत जास्त करण्यासाठी आवश्यक असलेली मजबूत कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. आम्ही आपल्या अद्वितीय सिस्टम पॅरामीटर्समध्ये धारक डिझाइनला अनुकूल करण्यासाठी सानुकूलन सेवा देखील ऑफर करतो, जे आपल्याला एपिटॅक्सियल वेफर उत्पादनातील सर्वोच्च मानक साध्य करण्यात मदत करते.