एल्युमिना सिरेमिक आर्म

सेमीकोरेक्स एल्युमिना सिरेमिक आर्म एक अभियंता घटक आहे जो सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी सर्वोच्च वैशिष्ट्यांनुसार विकसित केला जातो. उच्च-शुद्धता एल्युमिना (अल्युओ) पासून बनविलेले, हे एक रोबोटिक आर्म आहे ज्यात यांत्रिक सामर्थ्य, औष्णिक स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार यांचे एक अद्वितीय संयोजन आहे. एकट्या वेफर हाताळण्यासाठी हात वापरण्यासाठीच डिझाइन केलेले नाही तर प्रगत फॅब्रिकेशन साइट्समध्ये प्रक्रिया समर्थन प्रदान करणे देखील आवश्यक आहे. हे देखील सुनिश्चित करणे आवश्यक आहे की वेफर्स दूषित होण्याशिवाय किंवा नुकसानीशिवाय हस्तांतरित, स्थितीत आणि प्रक्रिया केली जात आहेत; प्रक्रियेची उत्पन्न आणि विश्वासार्हता सुधारणे.

एल्युमिनातांत्रिक सिरेमिक क्षेत्रात सर्वात विस्तृत वापर आढळणार्‍या तांत्रिक सिरेमिक्सपैकी एक आहे. एल्युमिना कठोरपणा, परिधान प्रतिकार आणि आक्रमक वातावरणात स्थिरतेसाठी ओळखली जाते. सिरेमिक आर्मच्या उद्दीष्टांसाठी वेफर हाताळणीचे व्यवस्थापन न करता, ते एल्युमिनाच्या गुणधर्मांचे शोषण करू शकते आणि उच्च शुद्धता आणि कण आकाराच्या परिणामी घर्षण करण्यासाठी जास्त प्रमाणात प्रतिकार करू शकते; म्हणूनच, हे त्याच्या वारंवार हालचाली दरम्यान जास्त कण तयार करणार नाही, एकतर वेफर्ससह किंवा इतर कोणत्याही प्रकारच्या सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट्ससह.  घनता आणि कमी पोर्सोसिटी जो आयोजित करतो की कण मुक्त होण्याच्या संभाव्यतेस आणखी मर्यादित करते आणि सबमिक्रॉन डिव्हाइस हाताळणीसाठी आवश्यक असलेल्या स्वच्छतेपासून दूर न ठेवता सेमीकंडक्टर डेव्हलपमेंट एफएबीएसच्या अल्ट्रा-क्लीन आवश्यकता पूर्ण करते हे सुनिश्चित करते.

एल्युमिनात्याच्या यांत्रिक सामर्थ्याव्यतिरिक्त अपवादात्मक थर्मल स्थिरता आहे. एल्युमिना सिरेमिक आर्म वॉर्पिंग, क्रॅकिंग किंवा सामर्थ्य गमावल्याशिवाय अत्यंत प्रक्रियेचे तापमान सहन करू शकते. ही मालमत्ता कोणत्याही प्रक्रियेच्या चरणात समाविष्ट करण्यासाठी आदर्श बनवते ज्यात प्रसार, ऑक्सिडेशन किंवा ne नील चरणांसारख्या उन्नत तापमानाच्या प्रदर्शनाचा समावेश आहे. थर्मल सायकलिंग अंतर्गत यांत्रिक अखंडता टिकवून ठेवल्यामुळे वेफर्सने आव्हानात्मक प्रक्रियेच्या वातावरणात हस्तांतरणासाठी विश्वासार्हता सुधारली असेल.

रासायनिक प्रतिकार हा एल्युमिना सिरेमिक आर्मचा आणखी एक मूलभूत सकारात्मक आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, बर्‍याचदा वेफर्सवर उपचार केले जातात ज्यात मजबूत ids सिडस्, अल्कलिस आणि इतर आक्रमक रसायने असतात. धातूचे घटक अशुद्धी तयार करू शकतात किंवा अशुद्धी लीच करू शकतात, परंतु एल्युमिना रासायनिकदृष्ट्या जड आहे, जी हाताने आणि त्या हाताळलेल्या वेफर्स या दोहोंच्या अखंडतेचे रक्षण करते. म्हणून ओले साफसफाई किंवा रासायनिक वाष्प जमा यासारख्या गंभीर प्रक्रियेच्या चरणांमध्ये दूषित होण्याची शक्यता कमी करताना जडत्व घटकाचे आयुष्य वाढवते.

एल्युमिना सिरेमिक आर्म सुसंगतता आणि सुस्पष्टतेवर लक्ष केंद्रित करून डिझाइन केलेले आहे. प्रत्येक हात घट्ट मितीय सहनशीलतेसाठी बनविला जातो, अचूक वेफर संरेखन आणि हालचाल आणि स्वयंचलित वेफर हँडलिंग उपकरणे आणि रोबोटिक सिस्टमसह सुसंगतता सुनिश्चित करते. गुळगुळीत, पॉलिश केलेल्या पृष्ठभागाच्या समाप्तमध्ये वेफरसह कमी घर्षण इंटरफेस आहे ज्यामुळे वेफर स्क्रॅच करण्याची शक्यता कमी होते, जे वेफर अखंडता/पर्यावरणीय स्वच्छता आणि दोष दर कमी करण्यासाठी आवश्यक आहे. हे इंजिनियर्ड सहिष्णुता हे सुनिश्चित करते की एआरएम वेगवान वेगवान उच्च थ्रूपूट वातावरणात मुक्तपणे कार्य करते आणि हातासाठी मानवी आणि पूर्णपणे स्वयंचलित सेमीकंडक्टर वर्कफ्लो दोन्हीसाठी परवानगी देते.

एल्युमिना सिरेमिक आर्म फक्त रासायनिक आणि यांत्रिक कामगिरीच्या पलीकडे पोहोचते आणि ऑपरेटिंग कार्यक्षमता आणि एकाधिक स्तरावरील खर्च बचतीवर परिणाम करते. सिरेमिकचे सिद्ध टिकाऊ स्वरूप हाताला प्लास्टिक किंवा अ‍ॅल्युमिनियम सारख्या संमिश्र सामग्रीला पुनरावृत्ती करण्याच्या मेकॅनिकल लोडिंग अंतर्गत डिझाइन दीर्घायुष्याच्या दृष्टीने मागे टाकण्याची परवानगी देते आणि म्हणूनच ऑपरेशनल डाउनटाइम आणि/किंवा बदलण्याची किंमत कमी करते. कठोर वातावरणाचा प्रतिकार करण्याच्या क्षमतेमध्ये पर्यावरणीय स्वच्छतेचा समावेश आहे, तर कमी उत्पादन व्यत्यय निर्माण होतात ज्यामुळे सुधारित सुसंगत वेफर उत्पादन, म्हणजेच उत्पन्न आणि शेवटी अर्धसंवाहक उत्पादकांसाठी उच्च आरओआय (गुंतवणूकीवर परतावा) कमी होते.

वापरण्यासाठी पर्यायएल्युमिना सिरेमिकसेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी एआरएम अक्षरशः अंतहीन आहे - ओले बेंच, डिफ्यूजन फर्नेसेस आणि सब्सट्रेट्सचा वापर करून मेट्रोलॉजी साधनांपर्यंत ओले बेंच, डिफ्यूजन फर्नेसेस आणि डिपॉझिशन चेंबर दरम्यान फिरणार्‍या वेफर्सपासून ते. या उत्पादनाची अष्टपैलुत्व केवळ वेफर हँडलिंग अनुप्रयोगांसाठी वापरण्याची परवानगी देत ​​नाही, परंतु पुढील स्वयंचलित परिस्थिती जिथे अचूकता, स्वच्छता आणि विश्वासार्हता आवश्यक आहे ते देखील व्यवहार्य आहे. सेमीकंडक्टर उद्योग लहान नोड्सकडे अनियंत्रितपणे फिरत आहे आणि डिव्हाइस फॅब्रिकेशनमध्ये वाढत आहे आणि उद्योग विश्वासार्ह आणि नॉन-दूषित असलेल्या चांगल्या हाताळणीच्या समाधानाची मागणी करत असताना, सिरेमिक रोबोटिक आर्म पुढे एक स्पष्ट मार्ग तयार करते.