सेमीकोरेक्स एसआयसी आर्म हा एक उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड घटक आहे जो सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये अचूक वेफर हाताळणी आणि स्थितीसाठी डिझाइन केलेला आहे. सेमीकोरेक्स निवडणे अतुलनीय सामग्रीची विश्वसनीयता, रासायनिक प्रतिकार आणि सुस्पष्टता अभियांत्रिकी सुनिश्चित करते जे सर्वात मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर प्रक्रियेस समर्थन देते.*
सेमीकोरेक्स एसआयसी एआरएम हे एक विशेष डिव्हाइस आहे जे जास्तीत जास्त विश्वसनीयता आणि सुस्पष्टतेसह वेफर्स हाताळण्यासाठी विकसित केले गेले आहे. वेफर ट्रान्सफर शस्त्रे, एसआयसी आर्म प्रमाणे प्रगत सेमीकंडक्टर-मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांसारख्या एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्या, आयन रोपण प्रणाली, थर्मल प्रोसेसिंग इ. वेफर ट्रान्सफर शस्त्रे जटिल वेफर हाताळणीच्या वातावरणामध्ये वेफर्सच्या अचूक हालचालीसाठी अविभाज्य आहेत. उच्च-शुद्धता वापरुन तयार केलेलेसिलिकॉन कार्बाईडच्या कच्च्या सामग्रीच्या गुणधर्मांसह एकत्रित
अपवादात्मक थर्मल आणि रासायनिक स्थिरता आणि उत्कृष्ट मशीनिंग कंट्रोल, एसआयसी आर्मला भविष्यातील सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी एक विश्वासार्ह समाधान बनते.
एसआयसी आर्मची अत्यंत थर्मल वातावरणात अपवादात्मक कामगिरी आहे. एपिटॅक्सियल ग्रोथ तसेच इतर उच्च-तापमान प्रक्रियेत, वेफर हँडलिंग घटकांना सतत उष्णता दिली जाऊ शकते जी पारंपारिक सामग्रीची वैशिष्ट्ये सहजपणे बिघडू शकते. सिलिकॉन कार्बाईड उच्च तापमानात सामर्थ्य आणि मितीय अचूकता (मर्यादित आयामी सहिष्णुता) दोन्ही राखून ठेवते, जे वेफर्स हस्तांतरण किंवा प्रक्रियेदरम्यान तंतोतंत बसलेले राहू शकतात आणि वेफर चुकीच्या चुकीच्या चुकीच्या चुकीच्या पद्धतीने दूर ठेवू शकतात. एसआयसी उत्पादनाच्या अपवादात्मक कामगिरीसह सिरेमिक; जसे की एसआयसी आर्म ऑक्सिडाइझ करत नाही, धातूप्रमाणे विकृत करते, किंवा सिरेमिक सारख्या अपयशी कामगिरीची वैशिष्ट्ये नसतात, जे तणाव क्रॅक असतात.
रासायनिक प्रतिकार ही एसआयसी आर्मची आणखी एक परिभाषित मालमत्ता आहे. सेमीकंडक्टर वातावरणात, संक्षारक वायू, प्रतिक्रियाशील रसायने आणि प्लाझ्मा एक्सपोजर सामान्य आहेत. अशा परिस्थितीत बिघडणारी हाताळणी हात केवळ यांत्रिक अपयशाच नाही तर वेफर्सच्या दूषिततेचा धोका देखील देते.सिलिकॉन कार्बाईडया आक्रमक परिस्थितींचा प्रतिकार करणारी एक रासायनिक जड पृष्ठभाग प्रदान करते. याचा परिणाम एक अत्यंत विश्वासार्ह घटक आहे जो पृष्ठभागाची अखंडता आणि स्वच्छता राखतो, डिव्हाइसच्या कामगिरीशी तडजोड करू शकणार्या अशुद्धतेपासून वेफर्सचे रक्षण करते. ही टिकाऊपणा उपकरणे डाउनटाइममध्ये लक्षणीय कमी करते, बदलण्याची वारंवारता कमी करते आणि प्रक्रियेची सुसंगतता वाढवते.
त्याच्या भौतिक लवचिकतेच्या पलीकडे, एसआयसी आर्म देखील मशीनिंग अचूकतेची उच्च पदवी पूर्ण करते. वेफर हँडलिंगला मायक्रोमीटरला अचूकता आवश्यक आहे; तपशीलांच्या अगदी थोडीशी नसलेल्या सहिष्णुतेमुळे भूमिती किंवा पृष्ठभागाच्या समाप्तीमध्ये बदल होऊ शकतात ज्यामुळे वेफर ब्रेक किंवा वेफर मिसिलिगमेंटमध्ये उच्च जोखीम उद्भवू शकते. आधुनिक उत्पादन तंत्रज्ञानाचा वापर करून, एसआयसी हात योग्य सहिष्णुता, सपाटपणा आणि गुळगुळीत पृष्ठभागासह तयार केले जातात. हजारो हाताळणीच्या चक्रांच्या दरम्यान वेफर्सची सुसंगत स्थिती आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य कामगिरीची हमी देण्यासाठी उच्च-अचूक अनुप्रयोग असणे आदर्श आहे, जे उच्च व्हॉल्यूम सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी आदर्श आहे ज्यात मागणीची मागणी आहे.
अष्टपैलुत्व म्हणजे एसआयसी शस्त्राचा आणखी एक फायदा. वेगवेगळ्या सेमीकंडक्टर साधने आणि प्रक्रियेसाठी वेगवेगळ्या भूमिती, आकार आणि डिझाइनचे शस्त्रे आवश्यक आहेत. या विशिष्ट डिझाइन वैशिष्ट्यांचा समावेश करण्यासाठी एसआयसी शस्त्रे सुधारित केली जाऊ शकतात कारण ते सहजपणे विस्तृत प्रणालींमध्ये बसू शकतात, मग ते एपिटॅक्सी टूल असो, आयन रोपण उपकरणांचा तुकडा किंवा थर्मल प्रोसेसिंग अणुभट्टी. विशिष्ट अनुप्रयोगासंदर्भात उत्कृष्ट कामगिरी प्रदान करण्यासाठी पृष्ठभाग समाप्त, स्ट्रक्चरल डिझाईन्स आणि फिनिश देखील सुधारित आणि इंजिनियर केले जाऊ शकतात.
एसआयसी आर्म्समध्ये ऑपरेशनल कार्यक्षमता देखील आहे. एसआयसीची उच्च टिकाऊपणा आणि विश्वासार्हता म्हणजे बदली क्वचितच आणि डाउनटाइम कमी केली जाते; दोन्ही अर्थ कमी दीर्घकालीन देखभाल खर्च. उत्पादन सेमीकंडक्टर फॅब्ससाठी याचा अर्थ म्हणजे चांगले थ्रूपूट, उत्पादनात अधिक स्थिरतेची संभाव्यता आणि उच्च डिव्हाइस उत्पन्न.
सेमीकंडक्टर समुदायामध्ये विशेषत: वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये त्यांचा परिचय असल्याने एसआयसी शस्त्राने व्यापकपणे वापर केला आहे जेथे त्यांना यांत्रिक ताण आणि अतिशय कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीचा सामना करावा लागतो. आयन इम्प्लांटेशन दरम्यान त्या जागेवर धरून किंवा गॅस किंवा थर्मल प्रोसेसिंग वातावरणाद्वारे त्यांना हस्तांतरित केल्यास, एसआयसी आर्म सुरक्षित, अचूक आणि दूषित-मुक्त वेफर हाताळणी प्रदान करते. आधुनिक सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या पोर्टफोलिओमध्ये एसआयसी शस्त्रांच्या परिचयातून विश्वसनीयता दिसून येते.
सेमीकोरेक्स एसआयसी आर्म प्रगतच्या इष्ट गुणधर्मांचे यशस्वी संयोजन आहेसिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल, अचूक अभियांत्रिकी आणि उच्च-तापमान स्थिरता. रासायनिक स्थिरतेचे संयोजन, मशीनिंग करण्याची क्षमता आणि सुस्पष्टता बनविणे हे सर्वात कठीण अर्ध-कंडक्टर प्रक्रियेत विश्वसनीय वेफर हाताळण्यासाठी एसआयसी आर्म योग्य बनवते. कार्यक्षमता, उत्पन्न आणि प्रक्रियेच्या स्थिरतेच्या संदर्भात दीर्घकालीन ऑपरेटिंग कामगिरीमध्ये सहाय्य करण्यास मदत करण्यासाठी आणि अंतिम-वापरकर्ता उपभोग्य फायद्यांसाठी एसआयसी आर्म सानुकूल आणि टिकाऊ आहे. आधुनिक आणि अत्याधुनिक वेफर हँडलिंग सिस्टम किंवा अगदी बॉक्स वेफर हँडलिंग सोल्यूशन्स शोधत असलेले उत्पादक सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या प्रगत मागण्यांसाठी सिद्ध, उच्च कामगिरी आणि सक्षम वेफर ट्रान्सफर आणि हाताळणी प्रणाली म्हणून एसआयसी आर्मवर पाहतात आणि अवलंबून असतात.