सेमीकोरेक्स एल्युमिना सिरेमिक एंड इंफेक्टर हा एक अचूक-इंजिनियर्ड घटक आहे जो सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग आणि संबंधित अनुप्रयोगांमध्ये विश्वसनीय आणि दूषित-मुक्त वेफर हाताळणीसाठी विशेषतः डिझाइन केलेला आहे.*
सेमीकोरेक्स एल्युमिना सिरेमिक एंड इंफेक्टर स्वयंचलित वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये एक आवश्यक साधन आहे, जे अतुलनीय यांत्रिक सामर्थ्य, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार देते. उच्च-शुद्धता वापरुन उत्पादितएल्युमिना (अलओओ) सिरेमिक, हा शेवटचा इंफेक्टर वेफर प्रोसेसिंग वातावरणाच्या कठोर मागणी पूर्ण करण्यासाठी इंजिनियर केला जातो, जेथे सुस्पष्टता, स्वच्छता आणि टिकाऊपणा सर्वोपरि आहे.
सेमीकंडक्टर रोबोट शस्त्रे हा सेमीकंडक्टर उपकरणांचा एक महत्त्वाचा भाग आहे. ते सहसा नियंत्रक, ड्रायव्हर्स, शस्त्रे आणि अंतिम प्रभावांनी बनलेले असतात. ते उच्च स्वच्छता, उच्च स्थिरता, उच्च सुस्पष्टता, उच्च कार्यक्षमता आणि उच्च विश्वसनीयता द्वारे दर्शविले जातात. सेमीकंडक्टर रोबोट्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या फ्रंट-एंड प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जातात, वाहतूक आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सची स्थिती.
सामान्यत: 99.5% पेक्षा जास्त एल्युमिना सामग्री असलेली सिरेमिक स्ट्रक्चर उत्कृष्ट कठोरता प्रदान करेल आणि उच्च-परिशुद्धता वातावरणात वारंवार हालचालींसाठी प्रतिकार घालेल आणि कालांतराने अधोगती न करता. उच्च थर्मल चालकता आणि एल्युमिनाचा कमी थर्मल विस्तार उन्नत तापमान असलेल्या वातावरणात मितीय स्थिरतेस अनुमती देतो, सेमीकंडक्टरमधील बहुतेक क्लीनरूम ऑपरेशन्सची आवश्यकता, जसे की इचर, डिपॉझिटर, तपासणी किंवा साफसफाईच्या साधनात.
दएल्युमिना सिरेमिकएंड इंफेक्टरमध्ये एक उल्लेखनीय वैशिष्ट्यपूर्ण पृष्ठभाग फिनिश आहे जे गुळगुळीत आहे आणि कमी पोर्सिटी आहे, ज्यामुळे ते शून्य कण तयार होते आणि वेफर हँडलिंग दरम्यान दूषित पदार्थांवर कमीतकमी किंवा शून्य प्रभाव आहे. याव्यतिरिक्त, एल्युमिना रासायनिकदृष्ट्या जड आहे. याचा अर्थ असा की ते कोणत्याही प्रक्रिया वायू आणि वेफरच्या संपर्कात असलेल्या कोणत्याही प्रक्रिया द्रव्यांसह प्रतिक्रिया देणार नाही. हे वेफर आणि कोणत्याही दूषिततेचे स्वतःस आणि उपकरणांचे संरक्षण करते ज्यामुळे गंज निर्माण होऊ शकते.
ते सामान्यत: एंड इफेक्टर्स किंवा क्लॅम्पिंग यंत्रणा म्हणून वापरले जातात, रोबोटिक शस्त्रे किंवा वेफर फॅब्रिकेशन उपकरणे आणि उपकरणे यासारख्या उपकरणांमध्ये हस्तांतरण मॉड्यूल्स, तपासणी किंवा अचूक स्लॉट्स, ग्रूव्हज किंवा व्हॅक्यूम चॅनेलसह वास्तविक वेफर आकाराचे 100 मिमी, 200 मिमी किंवा हस्तांतरण व्हेफ्स असो. अंतिम प्रभाव सामान्यत: 25 सेमी/सेकंदावर वेफर हस्तांतरण गती हाताळेल.
विशिष्ट उपकरणे इंटरफेस किंवा वेफर आकारांसाठी डिझाइन केलेल्या धर्तीवर सानुकूलन पर्याय अस्तित्वात आहेत. एल्युमिनाची स्ट्रक्चरल कडकपणा पातळ आणि हलके प्रोफाइल करण्यास अनुमती देते जे हाताळणी प्रणालीची एकूण वस्तुमान कमी करते आणि वेगवान प्रतिसादाच्या वेळेस कारणीभूत ठरते. काही कॉन्फिगरेशन संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक सब्सट्रेट्सला अतिरिक्त संरक्षण प्रदान करण्यासाठी अँटी-स्टॅटिक किंवा इन्सुलेट घटक देखील जोडू शकतात.
एकंदरीत, एल्युमिना सिरेमिक एंड इंफेक्टर एक प्रभावी समाधान प्रदान करते जे सुधारित उत्पन्न आणि कमी दूषिततेस प्रोत्साहित करते, जेथे ऑपरेशनल विश्वसनीयता वेफर प्रोसेसिंग लाइनसाठी मुख्य घटक आहे. त्याच्या टिकाऊपणा आणि शारीरिक कामगिरीच्या वैशिष्ट्यांसह, प्रभावी आणि खर्च प्रभावी एल्युमिना सिरेमिक एंड इंफेक्टर स्वत: ला अर्धसंवाहक उपकरणे उत्पादक आणि फॅबमध्ये एक लोकप्रिय निवड म्हणून ओळखते ज्यास अल्ट्रा-क्लीन वातावरणात कठोर उत्पादन मानकांची आवश्यकता असते.