अल्युमिना सिरेमिक मॅनिपुलेटर

अल्युमिना सिरेमिक मॅनिपुलेटरयाला ॲल्युमिना सिरॅमिक फोर्क आणि वेफर हँडलिंग एंड इफेक्टर असेही म्हणतात. हे वेफर हँडलिंग रोबोटवर स्थापित केले आहे आणि रोबोटच्या हाताच्या बरोबरीचे आहे. हे अर्धसंवाहक वेफर्स वाहून नेण्यासाठी, वाहतूक करण्यासाठी आणि स्थान देण्यासाठी वापरले जाते.सिलिकॉन वेफर्सइतर कणांपासून दूषित होण्यास अत्यंत संवेदनाक्षम असतात, त्यामुळे स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी ते सामान्यत: व्हॅक्यूम वातावरणात हाताळले जातात. अल्युमिना सिरॅमिक मॅनिपुलेटर वेफर्स काढण्यासाठी नकारात्मक दाब सक्शन वापरतात आणि हाताच्या टेलीस्कोपिंग, फिरवत आणि उचलण्याच्या हालचालींद्वारे अर्धसंवाहक वेफर्सची वाहतूक करतात. ॲल्युमिना सिरॅमिक मॅनिपुलेटरच्या आत एअर होल आणि वेंटिलेशन ग्रूव्ह आहेत, जे हवा पंप करताना व्हॅक्यूम तयार करू शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर्सला पिंचिंग किंवा नुकसान न करता प्रकाश संपर्काद्वारे शोषले जाऊ शकते.

हे सर्वज्ञात आहे की रचना जितकी शुद्ध असेलअल्युमिना सिरेमिकआहे, त्याची ताकद जितकी जास्त असेल. सेमिकोरेक्स ॲल्युमिना सिरेमिक मॅनिपुलेटर उच्च-शुद्धता ॲल्युमिना सिरेमिकपासून बनविलेले असतात. यामुळे अपवादात्मक यांत्रिक सामर्थ्य आणि कडकपणा येतो. त्यांचा पोशाख प्रतिरोध स्टील आणि क्रोम स्टीलपेक्षा कितीतरी जास्त आहे, ज्यामुळे त्यांना उच्च-घर्षण वातावरणात वेळोवेळी पृष्ठभागाची अचूकता राखता येते, वेफर स्क्रॅचचा धोका कमी होतो आणि उच्च-सुस्पष्टता हाताळण्यासाठी त्यांना आदर्श बनवते. या ॲल्युमिना सिरेमिक मॅनिपुलेटरमध्ये उच्च प्रतिरोधकता आहे. त्याचे उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुणधर्म प्रभावीपणे इलेक्ट्रोस्टॅटिक हस्तक्षेप रोखू शकतात आणि स्वच्छ वेफर पृष्ठभाग राखण्यासाठी कण शोषणाचा धोका कमी करू शकतात. शिवाय, सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेमध्ये उपकरणांमध्ये जटिल सर्किट आणि उच्च व्होल्टेज वातावरणाचा समावेश असतो. उच्च-प्रतिरोधक ॲल्युमिना सिरॅमिक मॅनिपुलेटर सेमीकंडक्टर वेफर हाताळताना विद्युत सुरक्षितता सुनिश्चित करून, विद्युत प्रवाह प्रभावीपणे अवरोधित करते. ॲल्युमिना सिरॅमिकच्या उच्च तापमान प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरतेबद्दल धन्यवाद, सेमीकंडक्टर उष्णता उपचार प्रक्रियेदरम्यान मॅनिपुलेटर फारच कमी विकृत होतो, वेफर्स अचूकपणे ठेवू शकतो आणि थर्मल विकृतीमुळे होणारे अचूक विचलन टाळू शकतो. शिवाय, या सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आहे आणि आम्ल, क्षार, वितळलेल्या धातू इत्यादींद्वारे गंजण्यास अत्यंत प्रतिरोधक आहे. प्रदूषक कण सोडण्यासाठी इतर पदार्थांवर प्रतिक्रिया देणे सोपे नाही आणि रासायनिक दूषित होण्यापासून सेमीकंडक्टर भागांचे प्रभावीपणे संरक्षण करू शकते.