एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स

सेमीकोरेक्स एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स ही सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन उपकरणांमध्ये माउंटिंग वर्क चक्ससाठी टिकाऊ आणि स्थिर तळ म्हणून डिझाइन केलेले उच्च-शुद्धता सिरेमिक उत्पादने आहेत. या प्लेट्स लिथोग्राफी, एचिंग, जमा आणि तपासणी यासारख्या वेफर प्रोसेसिंग ऑपरेशन्ससाठी गंभीर यांत्रिक समर्थन आणि संरेखन प्रदान करतात. आवश्यक निष्ठा सह वेफर प्रक्रिया होऊ शकते हे सुनिश्चित करण्यासाठी इतर सिस्टम घटकांसह चकचे कार्य अचूकपणे संरेखित करणे आवश्यक आहे. प्रक्रिया आणि क्लीनरूम या दोन्ही वातावरणात आधुनिक सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी आवश्यक सपाटपणा, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि दीर्घकालीन विश्वसनीयता साध्य करण्यासाठी सिरेमिकस विशिष्ट प्रक्रियेच्या तंत्राद्वारे प्लेट्स तयार केल्या जातात.

सेमीकोरेक्स एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स उच्च-शुद्धतेपासून बनविल्या जातातएल्युमिनाशुद्धता पातळी ≧ 99.5% (टिपिकल) आहे. उच्च-शुद्धता एल्युमिनामध्ये चांगली यांत्रिक आणि औष्णिक गुणधर्म तसेच कठोरता असते. उच्च-शुद्धता एल्युमिनामध्ये उत्कृष्ट अंतर्निहित इलेक्ट्रिकल इन्सुलेट गुणधर्म आहेत जे या प्लेट्स व्हॅक्यूम आणि उच्च व्होल्टेज अनुप्रयोगांमध्ये वापरू शकतात जेथे विद्युत हस्तक्षेप एक समस्या असू शकते. एल्युमिना थर्मल सायकलिंगला प्रतिरोधक असेल, ज्यामुळे प्लेट्स बहुतेक सामग्रीपेक्षा चांगल्या आयामी अचूकतेची देखभाल करण्यास अनुमती देतात आणि थर्मल विस्तारामुळे संरेखन किंवा स्ट्रक्चरल स्थिरता राखण्यासाठी फायदेशीर आहे. विस्तारित उत्पादन चक्रांवर कार्य करताना चकची पुनरावृत्ती आणि अंतर्भूत प्रक्रिया सहिष्णुता सुनिश्चित करण्यासाठी हा घटक महत्त्वपूर्ण आहे.

सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग सिस्टममध्ये, माउंटिंग बेस प्लेट केवळ यांत्रिक फास्टनिंगसाठी एक डिव्हाइस नसते. हे चक आणि उर्वरित उपकरणे दरम्यान थर्मल संपर्काचे माध्यम आहे आणि थर्मल अपव्यय, स्ट्रक्चरल अखंडता आणि कंपन अलगावसाठी गंभीर आहे. सीव्हीडी, पीव्हीडी किंवा आयन इम्प्लांटेशन यासारख्या प्रक्रिया क्रिया, जेथे उच्च तापमान आणि व्हॅक्यूम प्रेशर सामान्य आहेत, थर्मली प्रतिरोधक, रासायनिक जड आणि प्रतिरोधक, यांत्रिकदृष्ट्या आवाज आणि थर्मल शॉकला प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे. रासायनिक जडत्व आवश्यक आहे कारण माउंट रिअॅक्टिव्ह वायूंशी सुसंगत असणे आवश्यक आहे, तसेच केमिस्ट्रीज साफ करणे, माउंटचे उपयुक्त जीवन वाढविणे आणि दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करणे.

अर्धसंवाहक OEMS आणि उपकरणे समाकलित करणार्‍यांनी मागणी केलेल्या सहनशीलतेसाठी सेमीकोरेक्सने बनविलेले प्रत्येक एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट तयार केले जाते. जास्तीत जास्त स्थिरता आणि पुनरावृत्तीता सुनिश्चित करण्यासाठी प्लेट्स जाडी, उंची भिन्नता आणि सपाटपणासाठी घट्ट सहिष्णुतेसाठी तयार केल्या जातात. या माउंटिंग प्लेट्स वर्क चक्स, मेकॅनिकल स्टेज किंवा इतर उपकरणे अधिक चांगल्या प्रकारे सामावून घेण्यासाठी ग्राहकांच्या वैशिष्ट्यांनुसार माउंटिंग होल, स्लॉट किंवा काउंटरन्ससह बनवल्या जाऊ शकतात. कालांतराने वापरण्यासाठी सुसंगत थर्मल संपर्क आणि संरेखन सुनिश्चित करण्यासाठी एकसमान मायक्रोस्ट्रक्चर आणि पृष्ठभागाची गुणवत्ता अनुकूलित करण्यासाठी अल्युमिना सिरेमिकवर आधुनिक सिन्टरिंग आणि अचूक ग्राइंडिंग तंत्राचा वापर केला जातो.

सेमीकोरेक्स एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स वेफर हँडलर, रोबोटिक ट्रान्सफर सिस्टम, व्हॅक्यूम चक असेंब्ली आणि मेट्रोलॉजी स्टेजसह विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरल्या जातात. विविध मागणी प्रक्रियेच्या परिस्थितीत ही विश्वसनीयता आणि टिकाऊपणा, त्यांना टूल उत्पादकांनी मजबूत, दीर्घकाळ टिकणारे, कमी देखभाल सिरेमिक घटक शोधत असलेल्या निवडीचे उत्पादन बनवते. सेमीकंडक्टरमध्ये उत्पादनाची कार्यक्षमता जास्तीत जास्त करण्यासाठी प्रत्येक प्लेटसाठी निर्दिष्ट केलेल्या अद्वितीय निराकरण प्रदान करण्यासाठी आमचे अभियांत्रिकी गट ग्राहकांसह भागीदार आहे.

एल्युमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स केवळ यांत्रिक समर्थनापेक्षा अधिक असतात; सेमीकंडक्टर उद्योगातील अचूक अभियांत्रिकीमधील हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता, शुद्धता आणि कॉन्फिगरिबिलिटीसह, ते अचूक संरेखन, दीर्घ आयुष्य आणि प्रक्रियेच्या साधनांच्या विस्तृत श्रेणीमध्ये विश्वासार्ह ऑपरेशन सुनिश्चित करतात. उच्च कामगिरी माउंटिंग बेस प्लेट्ससाठी, आजच्या सेमीकंडक्टर उत्पादकांच्या उच्च अपेक्षांची पूर्तता, ट्रस्ट सेमीकोरेक्स.