त्याच्या अपवादात्मक थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण गुणधर्मांसह, सेमीकोरेक्स बॅरल स्ट्रक्चर फॉर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल रिएक्टर ही एलपीई प्रक्रिया आणि इतर सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य पर्याय आहे. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते.
सेमीकोरेक्स बॅरल स्ट्रक्चर फॉर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल रिॲक्टर ही उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या ग्रेफाइट ससेप्टर ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य पर्याय आहे ज्यांना अपवादात्मक उष्णता आणि गंज प्रतिकार आवश्यक आहे. त्याची उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग आणि उच्च घनता आणि थर्मल चालकता उत्कृष्ट संरक्षण आणि उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, अगदी सर्वात आव्हानात्मक वातावरणात देखील विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी आमची बॅरल स्ट्रक्चर ही थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी आमच्या बॅरल स्ट्रक्चरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल रिएक्टरसाठी बॅरल स्ट्रक्चरचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल रिएक्टरसाठी बॅरल स्ट्रक्चरची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.