बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट

सेमीकोरेक्स बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट हा विशेषत: वेफर्स वाहून नेण्यासाठी एपिटॅक्सी प्रक्रियेत वापरण्यासाठी डिझाइन केलेला एक विशेष घटक आहे. हे बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ग्रेफाइट सामग्रीपासून तयार केले गेले आहे, जे उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उच्च तापमानात स्थिरतेसाठी ओळखले जाते. त्याची कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा वाढविण्यासाठी, ग्रेफाइट पृष्ठभाग सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) च्या थराने लेपित आहे.

बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइटचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग या संदर्भात अनेक महत्त्वपूर्ण उद्दिष्टे पूर्ण करते. प्रथम, ते अंतर्निहित ग्रेफाइट सब्सट्रेटला संरक्षणाचा अतिरिक्त स्तर प्रदान करते, ते रासायनिक अभिक्रियांपासून संरक्षण करते आणि एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान उद्भवू शकते. दुसरे म्हणजे, SiC कोटिंग बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइटचे थर्मल गुणधर्म वाढवते, ज्यामुळे वेफर्सचे कार्यक्षम आणि एकसमान गरम करणे शक्य होते. सेमीकंडक्टर वेफर्सवर सातत्यपूर्ण आणि उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल स्तर मिळविण्यासाठी हे एकसमान गरम करणे आवश्यक आहे.

बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइटची रचना संपूर्ण एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान एकाधिक वेफर्स सुरक्षितपणे ठेवण्यासाठी आणि वाहतूक करण्यासाठी ऑप्टिमाइझ केली आहे. त्याची बॅरल सारखी रचना ऑपरेशन दरम्यान योग्य उष्णता वितरण आणि थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करताना वेफर्स सहजपणे लोड आणि अनलोड करण्यास परवानगी देते.

एकंदरीत, बॅरल ससेप्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रॅफाइट एपिटॅक्सी उपकरणांमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक दर्शवितो, प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक विश्वासार्हता, टिकाऊपणा आणि अचूक थर्मल कंट्रोल ऑफर करतो.