सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्स

सेमिकोरेक्स सिरॅमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक हे उच्च-कार्यक्षमता ॲल्युमिना आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड सिरॅमिक्सपासून बनवलेले अचूक इलेक्ट्रोस्टॅटिक शोषण घटक आहेत, जे वेफर्स क्लॅम्प आणि निराकरण करण्यासाठी इलेक्ट्रोस्टॅटिक शोषणाच्या तत्त्वाचा वापर करतात. हे सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. Semicorex मध्ये प्रगत तंत्रज्ञान, उच्च दर्जाचे साहित्य आणि किफायतशीर उत्पादने आहेत. आम्ही चीनमध्ये तुमचा विश्वासार्ह पुरवठा भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकतंतोतंत घटक आहेत जे इलेक्ट्रोड आणि वेफर्स दरम्यान तयार केलेल्या इलेक्ट्रोस्टॅटिक फील्डचा वेफर्स क्लॅम्प आणि निराकरण करण्यासाठी वापरतात. ते सेमीकंडक्टर्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले आणि ऑप्टिक्स सारख्या क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जातात आणि PVD उपकरणे, एचिंग मशीन आणि आयन इम्प्लांटर्स सारख्या उच्च श्रेणीच्या उपकरणांचे मुख्य घटक आहेत.

पारंपारिक मेकॅनिकल चक आणि व्हॅक्यूम चकच्या तुलनेत, सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकचे बरेच फायदे आहेत. हे सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक त्याच्या पृष्ठभागावर वेफर्स सपाट करण्यासाठी आणि समान रीतीने ठेवण्यासाठी स्थिर वीज वापरते. ही एकसमान शोषण शक्ती टाळून शोषलेल्या वस्तूला तुलनेने सपाट ठेवू शकतेवेफरपारंपारिक यांत्रिक चक किंवा विकृत रूप किंवा विकृतीव्हॅक्यूम चक्स, आणि वेफर उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी योग्य प्रक्रिया अचूकता राखते याची खात्री करणे.

काही सिरॅमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकमध्ये गरम फंक्शन्स एकात्मिक असतात, जे बॅक-ब्लोइंग गॅस किंवा अंतर्गत हीटिंग इलेक्ट्रोडद्वारे वेफरचे तापमान अचूकपणे नियंत्रित करू शकतात, वेगवेगळ्या प्रक्रियांच्या कठोर तापमान आवश्यकतांशी जुळवून घेतात आणि प्रक्रिया स्थिरता सुधारतात.

यांत्रिक चक्सच्या विपरीत, सिरॅमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक यांत्रिक हलणारे भाग कमी करतात, वेफरच्या गुणवत्तेवर कण दूषित घटकांचा प्रभाव कमी करतात, वेफर पृष्ठभागाच्या स्वच्छतेचे प्रभावीपणे संरक्षण करतात आणि उत्पादनात सुधारणा करतात.

सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक व्यापक सुसंगतता देतात. ते सिलिकॉन, गॅलियम आर्सेनाइड आणि सिलिकॉन कार्बाइडसह वेगवेगळ्या आकाराचे आणि सामग्रीचे वेफर्स सामावून घेऊ शकतात, विविध सेमीकंडक्टर उत्पादन गरजा पूर्ण करतात.

तंतोतंत घटक आहेत जे इलेक्ट्रोड आणि वेफर्स दरम्यान तयार केलेल्या इलेक्ट्रोस्टॅटिक फील्डचा वेफर्स क्लॅम्प आणि निराकरण करण्यासाठी वापरतात. ते सेमीकंडक्टर्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले आणि ऑप्टिक्स सारख्या क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जातात आणि PVD उपकरणे, एचिंग मशीन आणि आयन इम्प्लांटर्स सारख्या उच्च श्रेणीच्या उपकरणांचे मुख्य घटक आहेत.