SiC Coat सह CVD शॉवर हेड

SiC Coat सह Semicorex CVD शॉवर हेड औद्योगिक ऍप्लिकेशन्समध्ये अचूकतेसाठी इंजिनिअर केलेल्या प्रगत घटकाचे प्रतिनिधित्व करते, विशेषत: रासायनिक वाष्प संचय (CVD) आणि प्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD) च्या क्षेत्रात. पूर्ववर्ती वायू किंवा प्रतिक्रियाशील प्रजातींच्या वितरणासाठी एक महत्त्वपूर्ण नळ म्हणून काम करताना, SiC कोटसह हे विशेष CVD शॉवर हेड या अत्याधुनिक उत्पादन प्रक्रियेचा अविभाज्य घटक असलेल्या सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर सामग्रीचे अचूक संचयन सुलभ करते.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून बनवलेले आणि CVD पद्धतीद्वारे पातळ SiC लेयरमध्ये आच्छादित केलेले, SiC कोट असलेले CVD शॉवर हेड ग्रेफाइट आणि SiC या दोन्हीच्या फायदेशीर गुणधर्मांशी लग्न करते. या समन्वयाचा परिणाम अशा घटकामध्ये होतो जो केवळ वायूंचे सुसंगत आणि अचूक वितरण सुनिश्चित करण्यात उत्कृष्ट ठरतो असे नाही तर ते थर्मल आणि रासायनिक कठोरतेच्या विरूद्ध लक्षणीय लवचिकता देखील प्रदान करते.

SiC Coat सह CVD शॉवर हेडच्या कार्यक्षमतेची गुरुकिल्ली म्हणजे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती वायूंचे एकसमान विखुरणे, सब्सट्रेटच्या वरच्या स्ट्रॅटेजिक प्लेसमेंटद्वारे आणि त्याच्या पृष्ठभागावर विराम देणारी लहान छिद्रे किंवा नोझल्सची बारकाईने रचना करून साध्य केलेले कार्य. सातत्यपूर्ण डिपॉझिशन परिणाम साध्य करण्यासाठी हे एकसमान वितरण महत्त्वपूर्ण आहे.

SiC कोटसह CVD शॉवर हेडसाठी कोटिंग सामग्री म्हणून SiC ची निवड अनियंत्रित नाही परंतु त्याच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि रासायनिक स्थिरतेद्वारे सूचित केले जाते. उपरोधिक वायू आणि CVD प्रक्रिया दर्शविणाऱ्या कठोर परिस्थितींपासून एक मजबूत संरक्षण प्रदान करण्याव्यतिरिक्त, डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान उष्णता जमा होण्याचे प्रमाण कमी करण्यासाठी आणि सब्सट्रेटमध्ये समान तापमान राखण्यासाठी हे गुणधर्म आवश्यक आहेत.

वेगवेगळ्या CVD प्रणालींच्या विशिष्ट मागण्या आणि प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी तयार केलेल्या, SiC कोटसह CVD शॉवर हेडच्या डिझाइनमध्ये एक प्लेट किंवा डिस्क आकाराचा समावेश आहे ज्यामध्ये छिद्र किंवा स्लॉट्सच्या काळजीपूर्वक गणना केलेल्या ॲरेचा समावेश आहे. SiC Coat च्या डिझाईनसह CVD शॉवर हेड केवळ एकसमान गॅस वितरणच नाही तर डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी आवश्यक इष्टतम प्रवाह दर देखील सुनिश्चित करते, सामग्री जमा करण्याच्या प्रक्रियेत सुस्पष्टता आणि एकसमानतेच्या शोधात घटकाची भूमिका अधोरेखित करते.