CVD SiC लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड

वेफर्सवरील सामग्रीचे नक्षीकाम आणि रासायनिक वाफ जमा करण्यासाठी (CVD) प्लाझ्मा उपकरणामध्ये, प्रक्रिया वायूंचा पुरवठा प्रक्रिया कक्षेत CVD SiC लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेडद्वारे केला जातो. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

Semicorex CVD SiC (केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन सिलिकॉन कार्बाइड) लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड हा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) आणि प्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD) यांसारख्या विविध औद्योगिक प्रक्रियांमध्ये वापरला जाणारा एक विशेष घटक आहे. या साचण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती वायू किंवा प्रतिक्रियाशील प्रजाती वितरीत करण्यात ते महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शॉवर हेड उच्च शुद्धतेच्या ग्रेफाइटचे बनलेले आहे आणि CVD पद्धतीने SiC पातळ थराने लेपित केले आहे. CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शॉवर हेड ग्रेफाइट आणि SiC चे फायदेशीर गुणधर्म एकत्र करते, उच्च तापमान आणि रासायनिक वातावरणास प्रतिरोधकता सोबतच अचूक आणि एकसमान गॅस वितरण आवश्यक असलेल्या विविध डिपॉझिशन प्रक्रियांमध्ये ते एक आवश्यक घटक बनवते.

वैशिष्ट्ये:

रासायनिक प्रतिकार

थर्मल स्थिरता

गुळगुळीत आणि एकसमान पृष्ठभाग

प्रदूषण कमी केले