SiC कोटिंगसह Semicorex Graphite Susceptor हा अप्लाइड मटेरिअल्स आणि LPE (लिक्विड फेज एपिटॅक्सी) युनिट्समधील सिलिकॉन एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला एक आवश्यक घटक आहे. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सह लेपित उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट सामग्रीपासून तयार केलेले, हे ससेप्टर सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात उत्कृष्ट कामगिरी आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
SiC कोटिंगसह ग्रेफाइट ससेप्टरवरील SiC कोटिंग अनेक उद्देशांसाठी काम करते. प्रथम, ते वर्धित थर्मल स्थिरता प्रदान करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेदरम्यान तापमान ग्रेडियंटवर अचूक नियंत्रण ठेवता येते. सेमीकंडक्टर वेफर्समध्ये एकसमान आणि उच्च-गुणवत्तेचे सिलिकॉन स्तर मिळविण्यासाठी ही स्थिरता महत्त्वपूर्ण आहे. SiC कोटिंगसह ग्रेफाइट ससेप्टरवरील SiC कोटिंग रासायनिक गंज आणि थर्मल शॉकसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार देते, मागणी प्रक्रियेच्या परिस्थितीतही ससेप्टरच्या अखंडतेचे रक्षण करते. ही टिकाऊपणा विस्तारित ऑपरेशनल आयुर्मान आणि कमी डाउनटाइममध्ये अनुवादित करते, शेवटी सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन सुविधांसाठी उच्च उत्पादकता आणि किफायतशीरतेमध्ये योगदान देते.
SiC कोटिंगसह ग्रेफाइट ससेप्टरचे बॅरल डिझाइन वेफर्सचे कार्यक्षम लोडिंग आणि अनलोडिंग सुलभ करते, एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये थ्रूपुट अनुकूल करते. याव्यतिरिक्त, SiC कोटिंगसह ग्रेफाइट ससेप्टर हे एक सानुकूलित उत्पादन आहे, आणि ते सेमीकंडक्टर उत्पादकांच्या विशिष्ट आवश्यकता आणि प्राधान्ये पूर्ण करण्यासाठी, भिन्न उपकरणे कॉन्फिगरेशन आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्ससह सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी तयार केले जाऊ शकते.