वेफर स्वीकारणारा

सेमीकोरेक्स वेफर ससेप्टर ग्रेफाइटपासून कुशलतेने तयार केले गेले आहे आणि आधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या मागणीच्या परिस्थितीची पूर्तता करण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सह लेपित आहे.

एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये, स्थिर आणि नियंत्रित वातावरण राखणे अत्यंत आवश्यक आहे. वेफर ससेप्टर हे पायाभूत प्लॅटफॉर्म म्हणून काम करते ज्यावर वेफर्स डिपॉझिशन दरम्यान ठेवल्या जातात, तापमान एकसमानता, रासायनिक जडत्व आणि उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल लेयर प्राप्त करण्यासाठी यांत्रिक सामर्थ्याच्या अचूक आवश्यकता पूर्ण करतात.

वेफर ससेप्टरसाठी आधारभूत सामग्री म्हणून ग्रेफाइटची निवड त्याच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि यांत्रिक गुणधर्मांद्वारे चालविली जाते. एपिटॅक्सी रिॲक्टर्सच्या उच्च-तापमान वातावरणात संरचनात्मक अखंडता राखताना उच्च तापमानाला तोंड देण्याची ग्रेफाइटची क्षमता महत्त्वपूर्ण आहे. याव्यतिरिक्त, ग्रेफाइटची थर्मल चालकता संपूर्ण वेफरमध्ये कार्यक्षम उष्णतेचे वितरण सुनिश्चित करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरमध्ये दोष निर्माण होऊ शकणाऱ्या तापमान ग्रेडियंटचा धोका कमी होतो.

वेफर ससेप्टरची कार्यक्षमता वाढवण्यासाठी, ग्रेफाइट बेसवर सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग कुशलतेने लावले जाते. SiC ही उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता असलेली एक अत्यंत टिकाऊ सामग्री आहे, ज्यामुळे ते अर्धसंवाहक वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श बनते जेथे प्रतिक्रियाशील वायू सहसा उपस्थित असतात. SiC कोटिंग एक संरक्षणात्मक अडथळा प्रदान करते जे संभाव्य रासायनिक अभिक्रियांपासून ग्रेफाइटचे संरक्षण करते, वेफर ससेप्टरचे दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते आणि अणुभट्टीमध्ये स्वच्छ वातावरण राखते.

SiC-कोटेड ग्रेफाइटचे बनलेले सेमीकोरेक्स वेफर ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेत एक अपरिहार्य घटक आहे. सिलिकॉन कार्बाइडच्या रासायनिक आणि थर्मल स्थिरतेसह ग्रेफाइटच्या थर्मल आणि यांत्रिक गुणधर्मांचे संयोजन आधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या कठोर मागणीसाठी आदर्शपणे अनुकूल करते. सिंगल-वेफर डिझाइन उच्च-गुणवत्तेच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये योगदान देऊन एपिटॅक्सी प्रक्रियेवर अचूक नियंत्रण प्रदान करते. हे ससेप्टर हे सुनिश्चित करते की वेफर्स अत्यंत काळजीपूर्वक आणि अचूकपणे हाताळले जातात, परिणामी उत्कृष्ट एपिटॅक्सियल लेयर्स आणि चांगली कामगिरी करणारी सेमीकंडक्टर उत्पादने.