अर्ध चंद्र घटक

सेमीकोरेक्स हाफ मून घटक अर्ध-दंडगोलाकार किंवा खंडित अंतर्गत अणुभट्ट्या असतात ज्या सामान्यतः एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्समध्ये स्थापित केल्या जातात. त्यांची अनोखी भूमिती एपिटॅक्सियल वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान गॅस वितरण, थर्मल व्यवस्थापन, वेफर पोझिशनिंग आणि चेंबर संरक्षण इष्टतम करण्यात मदत करते.

दर्शविलेल्या उत्पादनामध्ये एकात्मिक अंतर्गत समर्थन भूमितीसह अचूक-मशीन दंडगोलाकार रचना आहे, विशेषत: एलपीई-शैलीच्या चेंबर कॉन्फिगरेशनमध्ये बसण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. हे घटक सामान्यत: उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून तयार केले जातात आणि टिकाऊपणा, शुद्धता आणि रासायनिक प्रतिकार सुधारण्यासाठी प्रगत CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगसह संरक्षित केले जाऊ शकतात.

एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्समध्ये, घटक स्थिरता आणि स्वच्छता थेट फिल्म एकसमानता, क्रिस्टल गुणवत्ता आणि वेफर उत्पन्नावर परिणाम करतात. म्हणून, अणुभट्टीच्या अंतर्गत भागांना आक्रमक रासायनिक वातावरण, जलद थर्मल सायकलिंग आणि विकृत किंवा दूषित न होता दीर्घकाळापर्यंत उच्च-तापमान ऑपरेशनचा सामना करणे आवश्यक आहे.

एलपीई-शैली चेंबर्सशी सुसंगत अणुभट्टीचे भाग

सेमीकोरेक्स एलपीई एपिटॅक्सियल सिस्टीमशी सुसंगत अनेक अणुभट्टी भाग तयार करते, यासह:

* अर्धचंद्राचे भाग

* संरक्षण कव्हर

* प्रवाह मार्गदर्शक भाग

* वेफर सपोर्ट भाग

* शिल्डिंग रिंग

* सानुकूल ग्रेफाइट असेंब्ली

सर्व घटक अणुभट्टीची परिमाणे, प्रक्रिया परिस्थिती आणि ग्राहक-विशिष्ट डिझाइन आवश्यकतांनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात.

अर्ध चंद्र घटकांची मुख्य वैशिष्ट्ये

उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट बेस मटेरियल

अणुभट्टीचे घटक उच्च-घनता, उच्च-शुद्धता वापरून तयार केले जातातआयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट साहित्यसेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी विशेषतः निवडले. कमी अशुद्धता सामग्री एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेदरम्यान दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यास मदत करते.

राखण्यासाठी उच्च-शुद्धता सामग्री आवश्यक आहे:

* स्थिर क्रिस्टल वाढ

* एकसमान एपिटेक्सियल स्तर

* कमी दोष घनता

* सेमीकंडक्टर-ग्रेड स्वच्छता

प्रगत SiC कोटिंग संरक्षण

प्रक्रिया वातावरणाची मागणी करण्यासाठी, ग्रेफाइट सब्सट्रेट दाट सह लेपित केले जाऊ शकतेCVD सिलिकॉन कार्बाइड. SiC कोटिंग उत्कृष्ट आसंजन आणि रासायनिक स्थिरतेसह अत्यंत संरक्षणात्मक पृष्ठभागाचा थर बनवते.

SiC कोटिंग प्रदान करते:

* उत्कृष्ट गंज प्रतिकार

* कण निर्मिती कमी

* सुधारित पोशाख प्रतिकार

* वर्धित ऑक्सिडेशन प्रतिकार

* दीर्घ सेवा जीवन

कोटिंग प्रक्रिया वायू आणि आक्रमक स्वच्छता रसायनांपासून ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे संरक्षण करते.

उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता

हाफ मून घटक उच्च-तापमान एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये कार्य करतात जेथे थर्मल सुसंगतता महत्त्वपूर्ण असते. ग्रेफाइट आणि SiC मटेरिअल उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि थर्मल शॉक रेझिस्टन्स देतात, जलद गरम आणि कूलिंग सायकल दरम्यान चेंबरची स्थिर स्थिती राखण्यात मदत करतात.

उत्कृष्ट थर्मल कामगिरी यामध्ये योगदान देते:

* एकसमान तापमान वितरण

* थर्मल ताण कमी

* स्थिर प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता

* सुधारित एपिटॅक्सियल लेयर सुसंगतता

अचूक मशीनिंग क्षमता

सेमीकोरेक्स प्रगत सीएनसी मशीनिंग आणि अचूक उत्पादन तंत्रज्ञानाचा वापर घट्ट मितीय सहिष्णुता आणि जटिल अंतर्गत संरचना प्राप्त करण्यासाठी करते.

अचूक मशीनिंग सुनिश्चित करते:

* योग्य रिॲक्टर फिटमेंट

* स्थिर वायू प्रवाह नियंत्रण

* विश्वसनीय वेफर पोझिशनिंग

* सातत्यपूर्ण चेंबर कामगिरी

विशिष्ट अणुभट्टीच्या डिझाइननुसार जटिल सानुकूलित भूमिती देखील तयार केल्या जाऊ शकतात.

मजबूत रासायनिक प्रतिकार

एपिटॅक्सियल प्रक्रियांमध्ये सहसा संक्षारक वायू आणि कठोर ऑपरेटिंग परिस्थिती समाविष्ट असते. SiC-लेपित अणुभट्टीचे घटक उत्कृष्ट प्रतिकार दर्शवतात:

* हायड्रोजन

* क्लोरीनयुक्त वायू

* आम्ल साफ करणारे रसायने

* उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन

ही रासायनिक टिकाऊपणा घटकांचे आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवते आणि देखभाल वारंवारता कमी करते.

एपिटॅक्सियल ग्रोथ सिस्टम्समधील अनुप्रयोग

अर्धसंवाहक उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी प्रगत एपिटॅक्सियल प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये अर्ध चंद्र घटक मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, यासह:

* सिलिकॉन एपिटॅक्सी

* SiC एपिटॅक्सियल वाढ

* GaN एपिटॅक्सी

* पॉवर सेमीकंडक्टर उत्पादन

* एलईडी उत्पादन

* प्रगत वेफर प्रक्रिया

* उच्च-तापमान CVD प्रणाली

रिॲक्टर चेंबरच्या आत, हे घटक गॅस फ्लो डायनॅमिक्स ऑप्टिमाइझ करण्यात मदत करतात, प्रक्रियेत एकसमानता राखतात आणि थर्मल आणि रासायनिक नुकसानापासून गंभीर चेंबर क्षेत्रांचे संरक्षण करतात.

Semicorex का निवडावे?

सेमिकोरेक्स सेमीकंडक्टर आणि उच्च-तापमान औद्योगिक अनुप्रयोगांसाठी प्रगत ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड सोल्यूशन्सवर लक्ष केंद्रित करते. एपिटॅक्सियल अणुभट्टी घटकांच्या विस्तृत अनुभवासह, आम्ही दीर्घकालीन विश्वासार्हता आणि सेमीकंडक्टर-ग्रेड कामगिरीसाठी डिझाइन केलेली अचूक-इंजिनियर उत्पादने प्रदान करतो.

आमच्या फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

* उच्च शुद्धता कच्चा माल

* प्रगत SiC कोटिंग तंत्रज्ञान

* अचूक मशीनिंग क्षमता

* सानुकूल अभियांत्रिकी समर्थन

* कडक गुणवत्ता नियंत्रण

* जागतिक पुरवठा क्षमता

कस्टमाइज्ड मॅन्युफॅक्चरिंग सोल्यूशन्ससह प्रगत सामग्री कौशल्याची जोड देऊन, Semicorex पुढील पिढीच्या सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानासाठी स्थिर आणि कार्यक्षम एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रिया साध्य करण्यासाठी जगभरातील ग्राहकांना समर्थन देते.