कमी तापमान प्लाझ्मा एचिंग म्हणजे काय?

प्लाझ्मा ही पदार्थाची चौथी अवस्था आहे आणि ती औद्योगिक वापर आणि नैसर्गिक घटना या दोन्हीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. उदाहरणार्थ, प्लाझ्मा विजांमध्ये उपस्थित असतो आणि सूर्याच्या पृष्ठभागावर विपुल प्रमाणात तयार होतो, जेथे कोर तापमान 13,500 डिग्री सेल्सियस पर्यंत पोहोचते. हा उच्च-तापमान प्लाझ्मा बहुतेक औद्योगिक उत्पादन प्रक्रियेसाठी योग्य नाही.

दुसरीकडे, कमी-तापमानाचा प्लाझ्मा हा प्लाझमाचा एक कृत्रिमरित्या तयार केलेला प्रकार आहे जो रासायनिक अभिक्रियांना गती देण्यासाठी उष्णतेऐवजी ऊर्जेचा वापर करतो. त्याचे तापमान सामान्यत: खोलीच्या तापमानापासून ते शंभर अंश सेल्सिअस पर्यंत असते, ज्यामुळे ते विविध अनुप्रयोगांसाठी अत्यंत प्रभावी बनते.

कृत्रिम प्लाझ्मा तयार करण्याचे टप्पे:

1. चेंबरमधील दाब कमी करा: पोकळीतील दाब कमी करण्यासाठी व्हॅक्यूम पंप वापरून सुरुवात करा. प्लाझ्मा स्थिर करण्यासाठी आणि गॅस आयनीकरण सुलभ करण्यासाठी कमी दाब प्राप्त करणे आवश्यक आहे.

2. प्रक्रिया वायूचा परिचय द्या: पोकळीमध्ये विशिष्ट प्रक्रिया वायू इंजेक्ट करा. हे वायू प्लाझ्मामधील कणांचे प्राथमिक स्त्रोत म्हणून काम करतात.

3. प्लाझ्मा उत्तेजित करा: वायूचे आयनीकरण करण्यासाठी शक्ती लागू करा, प्रभावीपणे प्लाझ्मा तयार करा.

4. प्लाझ्मा निष्क्रिय करा आणि वातावरणाचा दाब पुनर्संचयित करा: इच्छित प्रतिक्रिया पूर्ण झाल्यावर, प्लाझ्मा बंद करा आणि चेंबरला वातावरणाचा दाब परत करा.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये कमी-तापमानाच्या प्लाझमाचे अनुप्रयोग:

कमी-तापमान प्लाझ्मा अर्धसंवाहक उत्पादनात अपरिहार्य आहे, कोरड्या कोरीव काम, भौतिक वाष्प निक्षेप (PVD), रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD), अणू स्तर निक्षेप (ALD), आयन रोपण, ॲशिंग आणि एंडपॉइंट शोधणे यामध्ये महत्त्वपूर्ण कार्ये पुरवतो. त्याची अष्टपैलुत्व आणि कार्यक्षमता हे उद्योगातील एक मूलभूत साधन बनवते.

Semicorex ऑफरप्लाझ्मा एचिंगसाठी उच्च-गुणवत्तेचे उपाय. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com