इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC) ची रचना

अइलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC)एचिंग, डिपॉझिशन किंवा पॉलिशिंग यांसारख्या प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्स ठेवण्यासाठी वापरलेले उपकरण आहे. हे चकच्या पृष्ठभागावर वेफरला आकर्षित करण्यासाठी आणि सुरक्षितपणे धरून ठेवण्यासाठी इलेक्ट्रोस्टॅटिक फील्ड तयार करून कार्य करते, वेफर हाताळताना स्थिरता आणि अचूक संरेखन प्रदान करते. प्रक्रिया अचूकता आणि वेफर हाताळणी कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये ESC चा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो.

एक परंपरागत वास्तविक प्रतिमाइलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC)आकृतीमध्ये चित्रित केले आहे. मॉडेलमधील प्राथमिक फरक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकच्या पृष्ठभागावरील इन्सुलेटिंग लेयर सामग्रीमध्ये आहे. आकृतीमध्ये, गडद रंग ॲल्युमिनियम नायट्राइड दर्शवतो, तर पांढरा रंग ॲल्युमिनियम ऑक्साईड दर्शवतो. ची रचनाइलेक्ट्रोस्टॅटिक चकअनेक भागांचा समावेश आहे:

1. **इन्सुलेटिंग लेयर**: हा थर वेफरच्या संपर्कात असतो, विशेषत: ॲल्युमिनियम नायट्राइड किंवा ॲल्युमिनियम ऑक्साईड सिरॅमिकपासून बनवला जातो त्यांच्या उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्यामुळे, उच्च तापमानाचा प्रतिकार आणि चांगली थर्मल चालकता.

2. **इजेक्टर पिन आणि हे गॅस होल**: इजेक्टर पिन वेफर हस्तांतरित करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. जेव्हा वेफर एचिंग चेंबरमध्ये प्रवेश करते, तेव्हा इजेक्टर पिन त्याला आधार देण्यासाठी वर येतो आणि नंतर इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकच्या पृष्ठभागावर वेफर ठेवण्यासाठी खाली येतो. इजेक्टर पिनमध्ये सामान्यतः पोकळ रचना असते, ज्यामुळे वेफर थंड होण्यास मदत करण्यासाठी हेलियम वायूचा परिचय होऊ शकतो.

3. **बॅक ही फ्लो चॅनेल**: हा घटक उष्णतेचा अपव्यय वाढवतो आणि वेफरचे शोषण सुलभ करतो.

4. **इलेक्ट्रोस्टॅटिक इलेक्ट्रोड**: हे इलेक्ट्रोड एक विद्युत क्षेत्र निर्माण करते जे वेफरला जागी ठेवण्यासाठी आवश्यक इलेक्ट्रोस्टॅटिक बल तयार करते. सामान्यतः, इलेक्ट्रोड प्लानर असतो आणि एकतर आत एम्बेड केलेला असतो किंवा इन्सुलेट सामग्रीवर जमा केला जातो. सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या प्रवाहकीय सामग्रीमध्ये ॲल्युमिनियम, तांबे आणि टंगस्टन यांचा समावेश होतो.

5. **सर्क्युलेटिंग कूलिंग वॉटर आणि हीटिंग इलेक्ट्रोड**: हे घटक प्रामुख्याने इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकच्या संपूर्ण तापमान नियंत्रणासाठी जबाबदार असतात. वेफरसाठी स्थिर तापमान राखण्यासाठी हीटिंग इलेक्ट्रोड आणि फिरणारे कूलिंग वॉटर एकत्रितपणे काम करतात. केवळ फिरणाऱ्या थंड पाण्यावर अवलंबून राहिल्याने कोरीवकाम प्रक्रियेदरम्यान निर्माण होणारी उष्णता व्यवस्थापित करण्यास असमर्थता निर्माण होऊ शकते, संभाव्यत: प्रक्रियेच्या स्थिरतेशी तडजोड होऊ शकते.  

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेइलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC). आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com