एसआयसी सिंगल क्रिस्टल ग्रोथमध्ये टीएसी कोटिंगचे फायदे

सध्या, सिलिकॉन कार्बाईड सेमीकंडक्टरच्या तिसर्‍या पिढीवर वर्चस्व गाजवते. सिलिकॉन कार्बाईड डिव्हाइसच्या किंमतीच्या संरचनेत, सब्सट्रेट्सचा वाटा 47%आहे आणि एपिटॅक्सीने 23%योगदान दिले आहे. एकत्रितपणे, हे दोन घटक एकूण उत्पादन खर्चाच्या सुमारे 70% प्रतिनिधित्व करतात, ज्यामुळे ते सिलिकॉन कार्बाइड डिव्हाइस उत्पादन साखळीमध्ये महत्त्वपूर्ण ठरतात. परिणामी, सिलिकॉन कार्बाईड सिंगल क्रिस्टल्सचे उत्पन्न दर सुधारणे आणि त्याद्वारे सब्सट्रेट्सची किंमत कमी करणे - एसआयसी डिव्हाइस उत्पादनातील सर्वात गंभीर आव्हान आहे.

उच्च-गुणवत्तेची तयारी करणेसिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट्स, उत्पादन तापमान अचूकपणे नियंत्रित करण्यासाठी चांगल्या थर्मल फील्ड मटेरियलची आवश्यकता आहे. सध्या वापरात असलेल्या थर्मल फील्ड क्रूसिबल किटमध्ये प्रामुख्याने उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट स्ट्रक्चर असते, जे तापमान राखताना पिघळलेल्या कार्बन आणि सिलिकॉन पावडरला उष्णतेसाठी कार्यरत असते. ग्रेफाइट मटेरियल उच्च विशिष्ट सामर्थ्य आणि मॉड्यूलस, उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि चांगले गंज प्रतिरोध प्रदर्शित करीत असताना, त्यांचे लक्षणीय तोटे देखील आहेत: त्यांना उच्च-तापमान ऑक्सिजन वातावरणात ऑक्सिडेशनची शक्यता असते, अमोनियाचा चांगला सामना करू शकत नाही आणि त्याला स्क्रॅच प्रतिकार कमी आहे. या मर्यादा सिलिकॉन कार्बाईड सिंगल क्रिस्टल्सची वाढ आणि सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या उत्पादनास अडथळा आणतात, ज्यामुळे ग्रेफाइट सामग्रीच्या विकास आणि व्यावहारिक अनुप्रयोगांना प्रतिबंधित होते. परिणामी, टॅन्टलम कार्बाईड सारख्या उच्च-तापमान कोटिंग्जमध्ये कर्षण मिळत आहे.

टँटलम कार्बाईड लेपित घटकांचे फायदे

उपयोगटँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्जक्रिस्टल एज दोषांशी संबंधित समस्यांकडे लक्ष देऊ शकते आणि क्रिस्टल वाढीची गुणवत्ता वाढवू शकते. हा दृष्टिकोन "वेगाने वाढणारी, दाट आणि अधिक" या मूलभूत तांत्रिक उद्देशाने संरेखित करतो. उद्योग संशोधन असे सूचित करते की टॅन्टलम कार्बाईड लेपित ग्रेफाइट क्रूसिबल्स अधिक एकसमान हीटिंग प्राप्त करू शकतात, एसआयसी सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी उत्कृष्ट प्रक्रिया नियंत्रण प्रदान करतात आणि एसआयसी क्रिस्टल्सच्या काठावर पॉलीक्रिस्टलिन तयार होण्याची शक्यता लक्षणीय प्रमाणात कमी करतात. याव्यतिरिक्त,टँटलम कार्बाईड कोटिंगदोन मोठे फायदे ऑफर करतात:

1. एसआयसी दोष सुधारित करणे

एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्समध्ये दोष नियंत्रित करण्यासाठी सामान्यत: तीन प्रमुख रणनीती असतात. ग्रोथ पॅरामीटर्सचे अनुकूलन करणे आणि उच्च-गुणवत्तेच्या स्त्रोत सामग्री (जसे की एसआयसी सोर्स पावडर) वापरणे याशिवाय, टॅन्टलम कार्बाईड लेपित ग्रेफाइट क्रूसिबल्सवर स्विच करणे देखील चांगल्या क्रिस्टल गुणवत्तेला प्रोत्साहन देऊ शकते.

2. ग्रेफाइट क्रूसीबल्सचे जीवन सुधारणे

एसआयसी क्रिस्टल्सची किंमत जास्त राहिली आहे; या किंमतीच्या अंदाजे 30% ग्रेफाइट उपभोग्य वस्तू आहेत. ग्रेफाइट घटकांचे सेवा जीवन वाढविणे खर्च कमी करण्यासाठी गंभीर आहे. ब्रिटीश संशोधन पथकाच्या आकडेवारीवरून असे सूचित होते की टँटलम कार्बाईड कोटिंग्ज ग्रेफाइट घटकांच्या सर्व्हिस लाइफला 30-50%वाढवू शकतात. या माहितीच्या आधारे, पारंपारिक ग्रेफाइटची जागा टॅन्टलम कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइटसह बदलल्यास एसआयसी क्रिस्टल्सची किंमत 9%-15%कमी होऊ शकते.

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेटँटलम कार्बाईड लेपितक्रूसीबल्स, संवेदनाक्षम आणि इतर सानुकूलित भाग. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com