सेमीकंडक्टर फर्नेस डिझाइनमध्ये प्रगत सामग्री 3 गंभीर आव्हाने कशी सोडवतात

ट्रान्झिस्टरचे आकार आणि स्केल सौर सेल कार्यक्षमतेची शर्यत थर्मल प्रोसेसिंग उपकरणे त्याच्या मर्यादेपर्यंत ढकलत आहे. सेमीकोरेक्समध्ये, आम्ही आवर्ती वेदना बिंदूकडे लक्ष देण्यासाठी आघाडीच्या सेमीकंडक्टर आणि पीव्ही उत्पादकांशी सहकार्य करण्यासाठी दोन दशके घालविली आहेत: जेव्हा प्रमाणित सामग्री अत्यंत परिस्थितीत अपयशी ठरते तेव्हा संपूर्ण उत्पादन बॅचशी तडजोड केली जाऊ शकते.

सीव्हीडी कोटिंग्ज: प्रक्रियेच्या घटकांसाठी चिलखत

केमिकल वाफ जमा (सीव्हीडी) सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) आणि टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) सारख्या कोटिंग्ज कठोर वातावरणात घटक दीर्घायुष्यात क्रांती घडवून आणत आहेत:

Sic कोटिंगफायदे:

जड वातावरणात 1,650 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमानाचा प्रतिकार करतो

एपिटॅक्सियल ग्रोथ अणुभट्ट्यांमध्ये कण दूषित होणे कमी करते

ग्रेफाइट संवेदनशीलतेचे सेवा 3-5x ने वाढवते

टीएसी कोटिंगप्रसार अडथळ्यांमध्ये:

क्रूसीबल्समध्ये पिघळलेल्या सिलिकॉन घुसखोरीला प्रतिबंधित करते (99.999% शुद्धता धारणा)

रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) दरम्यान वेफर वॉरपेज कमी करते

जेव्हा तापमान 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त आहे: सीव्हीडी कोटिंग फायदा

हे जादू नाही - हे साहित्य विज्ञान आहे. आमची मालकी सीव्हीडी प्रक्रिया अणु-स्तरीय सुस्पष्टतेसह एसआयसी आणि टीएसी कोटिंग्ज दोन्ही जमा करते, जी पृष्ठभाग तयार करते:

मानक कोटिंग्जपेक्षा सिलिकॉन वाष्प गंज 3x ला प्रतिरोध करा

जटिल भूमितीमध्ये <0.5µm जाडी भिन्नता ठेवा

थर्मल सायकलिंग अंतर्गतही कोटिंग डिलामिनेशन काढून टाका

थर्मल एकरूपतेमध्ये मूक संकट

क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसेसमध्ये, विसंगत तापमान वितरण $ 250 के सिलिकॉन इनगॉट स्क्रॅपमध्ये बदलू शकते. भौतिक नवकल्पनांद्वारे यासारख्या:

घनता-ग्रेडेड ग्रेफाइट वाटले (0.18-0.25 ग्रॅम/सेमी ³ ग्रेडियंट डिझाइन)

<2% थर्मल विस्तार एनिसोट्रोपीसह कार्बन-कार्बन कंपोझिट इन्सुलेटर

... आम्ही ग्राहकांना साध्य करण्यात मदत केली:

300 मिमी czochralski सिस्टममध्ये ✔ ± 1.5 डिग्री सेल्सियस अक्षीय तापमान एकरूपता

Crack 40% वेगवान शीतकरण दर इनगॉट क्रॅकिंगशिवाय

क्वार्ट्ज शुद्धता पूर्वीपेक्षा जास्त का महत्त्वाची आहे

जेव्हा टायर -1 मेम्स फाउंड्रीने त्यांच्या एचिंग चेंबर लाइनर्सवर कण दोष शोधले, तेव्हा आमचे बबल-फ्री फ्यूज केलेले क्वार्ट्ज सोल्यूशनः

89% (आयसीपी-एमएस विश्लेषण) कमी धातूचा दूषितपणा कमी झाला

3 ते 8 महिन्यांपर्यंत विस्तारित प्रतिबंधात्मक देखभाल मध्यांतर

<0.1ppb अल्कली मेटल सामग्रीसह 99.999% प्रारंभिक शुद्धता प्राप्त केली

वैशिष्ट्यांपलीकडे: अनुप्रयोग अभियांत्रिकी बाबी

तांत्रिक चष्मा बेसलाइन तुलना प्रदान करतात, वास्तविक-जगातील कामगिरी यावर अवलंबून असते:

• मटेरियल -प्रोसेस कपलिंग - घटक विशिष्ट केमिस्ट्रीजशी कसे संवाद साधतात (उदा. क्ले वि. एसएफ ₆ प्लाझ्मा)

• अयशस्वी मोड लायब्ररी - आमचा डेटाबेस 1,200+ घटक अयशस्वी प्रकरणांमध्ये सामग्री निवडीची माहिती देते

• सानुकूल ग्रेडिंग - भाग क्रॉस -सेक्शनमध्ये ग्रेफाइट पोर्सिटी/चालकता समायोजित करणे

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेटँटलम कार्बाईड लेपितआणिसिलिकॉन कार्बाईड लेपितसानुकूलित भाग. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com