एचिंग मध्ये शॉवरहेड्स

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) शॉवरहेड हे अर्धसंवाहक उत्पादन उपकरणातील प्रमुख घटक आहेत, जे रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) आणि अणू स्तर निक्षेप (ALD) यांसारख्या प्रगत प्रक्रियांमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात.

a चे प्राथमिक कार्यSiC शॉवरहेडअभिक्रियात्मक वायूंचे संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरण करणे, एकसमान आणि सातत्यपूर्ण जमा स्तर सुनिश्चित करणे. CVD आणि ALD प्रक्रियांमध्ये, उच्च-गुणवत्तेच्या पातळ फिल्म्स मिळविण्यासाठी अभिक्रियात्मक वायूंचे एकसमान वितरण महत्त्वपूर्ण आहे. SiC शॉवरहेड्सची अद्वितीय रचना आणि भौतिक गुणधर्म कार्यक्षम गॅस वितरण आणि एकसमान वायू प्रवाह सक्षम करतात, फिल्म गुणवत्ता आणि सेमीकंडक्टर उत्पादनातील कामगिरीसाठी कठोर आवश्यकता पूर्ण करतात.

वेफर प्रतिक्रिया प्रक्रियेदरम्यान, शॉवरहेडची पृष्ठभाग घनतेने मायक्रोपोरेसने झाकलेली असते (छिद्र व्यास 0.2-6 मिमी). तंतोतंत डिझाइन केलेल्या छिद्र रचना आणि गॅस मार्गाद्वारे, विशेष प्रक्रिया वायू गॅस वितरण प्लेटमधील हजारो लहान छिद्रांमधून जातात आणि वेफरच्या पृष्ठभागावर समान रीतीने जमा केले जातात. हे वेफरच्या विविध क्षेत्रांमध्ये अत्यंत एकसमान आणि सातत्यपूर्ण फिल्म लेयर सुनिश्चित करते. म्हणून, स्वच्छता आणि गंज प्रतिरोधकतेसाठी अत्यंत उच्च आवश्यकतांव्यतिरिक्त, गॅस वितरण प्लेट छिद्र व्यासाच्या सुसंगततेवर आणि छिद्रांच्या आतील भिंतींवर बर्र्सच्या उपस्थितीवर कठोर मागणी देखील करते. छिद्र आकाराचे प्रमाणबद्ध विचलन किंवा कोणत्याही आतील भिंतीवर बर्र्सची उपस्थिती जास्त सहिष्णुता आणि सुसंगतता, जमा केलेल्या फिल्मची असमान जाडी होऊ शकते, ज्यामुळे उपकरणाच्या प्रक्रियेच्या उत्पन्नावर थेट परिणाम होतो. प्लाझ्मा-सहाय्यित प्रक्रियांमध्ये (जसे की PECVD आणि ड्राय एचिंग), शॉवरहेड, इलेक्ट्रोडचा भाग म्हणून, RF उर्जा स्त्रोत वापरून एकसमान विद्युत क्षेत्र तयार करते, एकसमान प्लाझ्मा वितरणास प्रोत्साहन देते आणि अशा प्रकारे एचिंग किंवा डिपॉझिशन एकसमानता सुधारते.

इंटिग्रेटेड सर्किट्स, मायक्रोइलेक्ट्रोमेकॅनिकल सिस्टम (एमईएमएस), पॉवर सेमीकंडक्टर्स आणि इतर फील्ड्सच्या निर्मितीमध्ये SiC शॉवरहेड्सचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. त्यांचे कार्यप्रदर्शन फायदे विशेषत: प्रगत प्रक्रिया नोड्समध्ये स्पष्ट आहेत ज्यांना उच्च-परिशुद्धता जमा करणे आवश्यक आहे, जसे की 7nm आणि 5nm प्रक्रिया आणि त्याखालील. ते स्थिर आणि एकसमान गॅस वितरण प्रदान करतात, जमा केलेल्या लेयरची एकसमानता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांची कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुधारते.

Semicorex सानुकूलित ऑफरCVD SiCआणिसिलिकॉन शॉवरहेड्सग्राहकांच्या गरजांवर आधारित. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

SiC грејна нишка