कोरड्या खोदकाम दरम्यान साइडवॉल का वाकतात

ड्राय एचिंग ही सामान्यत: भौतिक आणि रासायनिक क्रिया एकत्रित करणारी प्रक्रिया आहे, ज्यामध्ये आयन बंबार्डमेंट हे एक महत्त्वपूर्ण भौतिक कोरीव तंत्र आहे. एचिंग दरम्यान, घटना कोन आणि आयनचे ऊर्जा वितरण असमान असू शकते.

असमान फोटोरेसिस्ट जाडी, खोदकाम करताना विसंगत वापर दर, किंवा फोटोरेसिस्ट आणि सब्सट्रेट यांच्यातील चिकटपणामधील भिन्नता या सर्वांमुळे नक्षीकाम करताना साइडवॉलचे असमान संरक्षण होऊ शकते. उदाहरणार्थ, पातळ किंवा कमकुवत फोटोरेसिस्ट आसंजन असलेली क्षेत्रे अंतर्निहित सामग्री अधिक सहजपणे कोरली जाऊ शकतात, ज्यामुळे या स्थानांवर साइडवॉल वाकते.

फोटोरेसिस्ट कोरड्या खोदकामात मुखवटा म्हणून काम करते, खोदण्याची गरज नसलेल्या भागांचे संरक्षण करते. तथापि, फोटोरेसिस्टवर प्लाझ्मा बॉम्बर्डमेंट आणि एचिंग दरम्यान रासायनिक प्रतिक्रियांचा देखील परिणाम होतो आणि त्याचे गुणधर्म बदलू शकतात.

असमान फोटोरेसिस्ट जाडी, खोदकाम करताना विसंगत वापर दर, किंवा फोटोरेसिस्ट आणि सब्सट्रेट यांच्यातील चिकटपणामधील भिन्नता या सर्वांमुळे नक्षीकाम करताना साइडवॉलचे असमान संरक्षण होऊ शकते. उदाहरणार्थ, पातळ किंवा कमकुवत फोटोरेसिस्ट आसंजन असलेली क्षेत्रे अंतर्निहित सामग्री अधिक सहजपणे कोरली जाऊ शकतात, ज्यामुळे या स्थानांवर साइडवॉल वाकते.

सब्सट्रेट सामग्रीची वैशिष्ट्ये फरक

खोदल्या जाणाऱ्या सब्सट्रेट सामग्री वैशिष्ट्यांमध्ये फरक दर्शवू शकतात, जसे की भिन्न क्रिस्टल अभिमुखता आणि वेगवेगळ्या प्रदेशांमध्ये डोपिंग सांद्रता. हे फरक एचिंग दर आणि निवडकतेवर परिणाम करतात.

स्फटिकासारखे सिलिकॉनचे उदाहरण घेतल्यास, सिलिकॉन अणूंची मांडणी क्रिस्टल ओरिएंटेशनमध्ये भिन्न असते, परिणामी एचिंग गॅस आणि एचिंग रेटसह प्रतिक्रियाशीलतेमध्ये फरक होतो. कोरीव काम करताना, भौतिक गुणधर्मांमधील या फरकांमुळे साइडवॉलवर वेगवेगळ्या ठिकाणी विसंगत खोदकामाची खोली निर्माण होते, ज्यामुळे शेवटी साइडवॉल वाकते.

उपकरणे संबंधित घटक

नक्षीकाम उपकरणांची कार्यक्षमता आणि स्थिती देखील नक्षीच्या परिणामांवर लक्षणीय परिणाम करते. उदाहरणार्थ, रिॲक्शन चेंबरमध्ये असमान प्लाझ्मा वितरण आणि असमान इलेक्ट्रोड वेअरमुळे एचिंग दरम्यान वेफर पृष्ठभागावर आयन घनता आणि ऊर्जा यासारख्या पॅरामीटर्सचे असमान वितरण होऊ शकते.

शिवाय, असमान तापमान नियंत्रण आणि वायू प्रवाह दरातील किरकोळ चढ-उतार देखील नक्षीकामाच्या एकरूपतेवर परिणाम करू शकतात, ज्यामुळे साइडवॉल बेंडिंगमध्ये आणखी योगदान होते.

Semicorex उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेCVD SiC घटकनक्षीकाम साठी. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

SiC грејна нишка