ड्राय एचिंगमधील मुख्य पॅरामीटर्स

मायक्रो-इलेक्ट्रो-मेकॅनिकल सिस्टीमच्या उत्पादन प्रक्रियेत ड्राय एचिंग हे एक मुख्य तंत्रज्ञान आहे. कोरड्या कोरीव कामाच्या कार्यप्रदर्शनाचा अर्धसंवाहक उपकरणांच्या स्ट्रक्चरल अचूकतेवर आणि ऑपरेशनल कामगिरीवर थेट प्रभाव पडतो. एचिंग प्रक्रियेवर अचूकपणे नियंत्रण ठेवण्यासाठी, खालील मुख्य मूल्यमापन मापदंडांकडे बारीक लक्ष देणे आवश्यक आहे.

1.Etch Rete

एचिंग रेट प्रति युनिट वेळेत कोरलेल्या सामग्रीच्या जाडीचा संदर्भ देते (एकके: nm/min किंवा μm/min). त्याचे मूल्य कोरीव कामाच्या कार्यक्षमतेवर थेट परिणाम करते आणि कमी कोरीव दर उत्पादन चक्र वाढवेल. हे लक्षात घेतले पाहिजे की उपकरणे पॅरामीटर्स, भौतिक गुणधर्म आणि कोरीव क्षेत्र हे सर्व नक्षीच्या दरावर परिणाम करतात.

2.निवडकता

आस्पेक्ट रेशो, नावाप्रमाणेच, खोदकाम खोली ते छिद्र रुंदीचे गुणोत्तर आहे. MEMS मधील 3D उपकरणांसाठी आस्पेक्ट रेशो स्ट्रक्चर्स ही मुख्य आवश्यकता आहे आणि तळाचा दर कमी होऊ नये म्हणून गॅस रेशो आणि पॉवर कंट्रोलद्वारे ऑप्टिमाइझ करणे आवश्यक आहे.

3.एकरूपता

इन-वेफर एकरूपता म्हणजे एकाच वेफरमध्ये वेगवेगळ्या ठिकाणी दराची सुसंगतता, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये मितीय विचलन होते. वेफर-टू-वेफर एकसमानता वेगवेगळ्या वेफर्समधील दर सुसंगततेचा संदर्भ देते, ज्यामुळे बॅच-टू-बॅच अचूकतेमध्ये चढ-उतार होऊ शकतात.

4.गंभीर परिमाण

क्रिटिकल डायमेंशन म्हणजे रेषेची रुंदी, खंदक रुंदी आणि छिद्र व्यास यांसारख्या मायक्रोस्ट्रक्चर्सच्या भौमितीय मापदंडांचा संदर्भ आहे.

5. गुणोत्तर

आस्पेक्ट रेशो, नावाप्रमाणेच, खोदकाम खोली ते छिद्र रुंदीचे गुणोत्तर आहे. MEMS मधील 3D उपकरणांसाठी आस्पेक्ट रेशो स्ट्रक्चर्स ही मुख्य आवश्यकता आहे आणि तळाचा दर कमी होऊ नये म्हणून गॅस रेशो आणि पॉवर कंट्रोलद्वारे ऑप्टिमाइझ करणे आवश्यक आहे.

2.निवडकता

ओव्हर-एचिंग, अंडरकट आणि साइड इचिंग सारख्या खोदकामामुळे मितीय अचूकता कमी होऊ शकते (उदा. इलेक्ट्रोड स्पेसिंग विचलन, कँटिलीव्हर बीमचे अरुंद होणे).

7.लोडिंग प्रभाव

लोडिंग इफेक्ट या घटनेला सूचित करते की कोरीवकाम दर नक़्तक नक्षीदार पॅटर्नचे क्षेत्रफळ आणि लाइनविड्थ यासारख्या व्हेरिएबल्ससह नॉन-रेखीय बदलते. दुस-या शब्दात, भिन्न नक्षीदार क्षेत्रे किंवा लाइनविड्थमुळे दर किंवा आकारविज्ञानामध्ये फरक होईल.

Semicorex मध्ये विशेषSiC लेपितआणिTaC लेपितसेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील एचिंग प्रक्रियेमध्ये लागू केलेले ग्रेफाइट सोल्यूशन्स, जर तुम्हाला काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन: +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com