सेमीकंडक्टर सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल्सच्या थर्मल फील्डमध्ये कोटिंग

सेमीकंडक्टर सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल हॉट फील्डमधील लेपित भाग सामान्यतः CVD पद्धतीने लेपित केले जातात, ज्यामध्ये पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग समाविष्ट आहे,सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगआणिटॅंटलम कार्बाइड कोटिंग, प्रत्येक भिन्न वैशिष्ट्यांसह.

सामान्य बिंदू: सब्सट्रेट उच्च-शुद्धता आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट आहेत, साधारणपणे 5ppm राख पेक्षा कमी; कोटिंग CVD पद्धत वापरली जाते; कोटिंग मुळात 100% कार्बन किंवा सिलिकॉन कार्बाइड आहे; कोटिंग केल्यानंतर पृष्ठभाग तुलनेने दाट आहे, गॅस, विशेषत: भट्टीचा सिलिकॉन वाफ किंवा सिलिकॉन ऑक्साईड वायू मुळात अवरोधित केला जाऊ शकतो; त्याचे स्वतःचे धूळ वाष्पीकरण देखील खूप कमी आहे.

फरक: कोटिंगची मानक जाडी, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग साधारणतः 40um असते; सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग साधारणपणे 100um ची केली जाते, परंतु ग्राहकांच्या विविध गरजांनुसार, एक कोटिंग आणि दोन कोटिंग्ससह 30um~150um केले जाऊ शकते; टॅंटलम कार्बाइड कोटिंग साधारणपणे 35±15um असते.

पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग, त्याची घनता सच्छिद्र नसलेल्या ग्रेफाइटच्या समतुल्य आहे, जे सुमारे 2.2 आहे. यात पृष्ठभागाच्या समांतर दिशेने कमी प्रतिरोधकता आणि उच्च औष्णिक चालकता आहे, त्यामुळे ते पृष्ठभागाच्या तापमानाची सुसंगतता ठेवू शकते आणि त्यात थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक आणि लवचिकता उच्च मॉड्यूलस देखील आहे. पृष्ठभागाच्या लंब दिशेने, थर्मल विस्ताराचा गुणांक मोठा असतो आणि थर्मल चालकता कमी असते.

सिलिकॉन कार्बाइड लेपित उत्पादनांसाठी, कोटिंगचे लवचिक मॉड्यूलस खूप जास्त असते, अंतर्गत ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या लवचिक मॉड्यूलसपेक्षा दहापट जास्त असते, त्यामुळे उत्पादनाची झीज टाळण्यासाठी, ते हळूवारपणे हाताळले जाणे आवश्यक आहे.

सर्व अशुद्धता सामग्रीचे पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग आणि सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग 5ppm पेक्षा कमी आहे, जेथे मुख्य धातू घटक सामग्री 0.1 किंवा 0.01ppm पेक्षा कमी आहे, बोरॉन घटक 0.01 किंवा 0.15ppm पेक्षा जास्त कठीण आहे.

Semicorex सानुकूलित सेवेसह सेमीकंडक्टरसाठी उच्च-गुणवत्तेचे CVD कोटिंग उत्पादन देते. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com