सिलिकॉन कार्बाइड वेफर एपिटॅक्सी तंत्रज्ञान

सिलिकॉन कार्बाईडसाधारणपणे 2000 अंशांपेक्षा जास्त तापमान, दीर्घ प्रक्रिया चक्र आणि कमी उत्पादनासह PVT पद्धत वापरते, त्यामुळे सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट्सची किंमत खूप जास्त असते. सिलिकॉन कार्बाइडची एपिटॅक्सियल प्रक्रिया ही मूलतः सिलिकॉनसारखीच असते, तापमानाची रचना आणि उपकरणांची संरचनात्मक रचना वगळता. उपकरणाच्या तयारीच्या दृष्टीने, सामग्रीच्या विशिष्टतेमुळे, उपकरण प्रक्रिया सिलिकॉनपेक्षा वेगळी आहे कारण ती उच्च-तापमान आयन रोपण, उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि उच्च-तापमान ॲनिलिंग प्रक्रियांसह उच्च-तापमान प्रक्रिया वापरते.

ची वैशिष्ट्ये जास्तीत जास्त वाढवायची असल्याससिलिकॉन कार्बाईडसिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल लेयर वाढवणे हा सर्वात आदर्श उपाय आहे. सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल वेफर म्हणजे सिलिकॉन कार्बाइड वेफर ज्यावर विशिष्ट आवश्यकतांसह एकल क्रिस्टल पातळ फिल्म (एपिटॅक्सियल लेयर) असते आणि सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेटवर सब्सट्रेट प्रमाणेच क्रिस्टल उगवले जाते.

च्या मुख्य उपकरणांसाठी बाजारात चार प्रमुख कंपन्या आहेतसिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल साहित्य:

[१]एक्सट्रॉनजर्मनीमध्ये: तुलनेने मोठ्या उत्पादन क्षमतेद्वारे वैशिष्ट्यीकृत;

[२]LPEइटलीमध्ये, जो एकल-चिप मायक्रो कॉम्प्युटर आहे ज्याचा वाढीचा दर खूप जास्त आहे;

[३]TELआणिनुफ्लरेजपानमध्ये, ज्याची उपकरणे खूप महाग आहेत आणि दुसरे म्हणजे, दुहेरी-पोकळी, ज्याचा उत्पादन वाढविण्यावर निश्चित प्रभाव पडतो. त्यापैकी, Nuflare हे अलिकडच्या वर्षांत लाँच केलेले एक अतिशय वैशिष्ट्यपूर्ण उपकरण आहे. ते उच्च वेगाने, प्रति मिनिट 1,000 क्रांती पर्यंत फिरू शकते, जे एपिटॅक्सीच्या एकसमानतेसाठी खूप फायदेशीर आहे. त्याच वेळी, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी असते, जी अनुलंब खाली असते, त्यामुळे ते काही कणांची निर्मिती टाळू शकते आणि वेफरवर टपकण्याची शक्यता कमी करते.

टर्मिनल ऍप्लिकेशन लेयरच्या दृष्टीकोनातून, हाय-स्पीड रेल्वे, ऑटोमोटिव्ह इलेक्ट्रॉनिक्स, स्मार्ट ग्रिड, फोटोव्होल्टेइक इन्व्हर्टर, औद्योगिक इलेक्ट्रोमेकॅनिकल, डेटा सेंटर, व्हाईट गुड्स, कंझ्युमर इलेक्ट्रॉनिक्स, 5G कम्युनिकेशन, पुढील- जनरेशन डिस्प्ले आणि इतर फील्ड आणि बाजाराची क्षमता प्रचंड आहे.

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेCVD SiC कोटिंग भागSiC एपिटॅक्सियल वाढीसाठी. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com