मॉडर्न सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एनीलिंग प्रक्रिया

तंत्रज्ञान नोड्स कमी होत असताना, अति-उथळ जंक्शन्सची निर्मिती महत्त्वपूर्ण आव्हाने सादर करते. थर्मल annealing प्रक्रिया समावेशरॅपिड थर्मल ॲनिलिंग (आरटीए)आणि फ्लॅश लॅम्प ॲनिलिंग (FLA) ही अत्यावश्यक तंत्रे आहेत जी उच्च अशुद्धता सक्रियता दर राखतात आणि प्रसार कमी करून, इष्टतम उपकरण कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करतात.

1. अल्ट्रा-शॅलो जंक्शन फॉर्मेशन:

तंत्रज्ञान नोड्स जसजसे आकुंचन पावत आहेत, तसतसे अति-उथळ जंक्शन तयार करणे अधिक आव्हानात्मक आहे. जलद थर्मल एनीलिंग सारखे तंत्र (RTA) आणि फ्लॅश लॅम्प ॲनिलिंग (एफएलए) हे उच्च अशुद्धता सक्रियता दर प्राप्त करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत आणि प्रसार कमी करतात, ज्यामुळे उपकरणाची उत्कृष्ट कार्यक्षमता सुनिश्चित होते.

2. हाय-के गेट डायलेक्ट्रिक्सचे बदल:

पोस्ट-डिपॉझिशन ॲनिलिंग (PDA) हाय-के गेट डायलेक्ट्रिक्सचे विद्युत गुणधर्म लक्षणीयरीत्या वाढवते. ही प्रक्रिया गेट लीकेज करंट्स कमी करते आणि डायलेक्ट्रिक स्थिरांक वाढवते, जे प्रगत तर्कशास्त्र आणि मेमरी उपकरणांसाठी आवश्यक आहे.

3. मेटल सिलीसाइड्सची निर्मिती:

CoSi आणि NiSi सारख्या धातूच्या सिलिसाइड्सचे ऑप्टिमायझेशन संपर्क आणि मोठ्या प्रमाणात प्रतिकार सुधारण्यासाठी आवश्यक आहे. ॲनिलिंग परिस्थितीवर अचूक नियंत्रण आदर्श मिश्रधातूचे टप्पे तयार करण्यास सुलभ करते, एकूण उपकरणाची कार्यक्षमता वाढवते.

4. 3D एकत्रीकरण तंत्रज्ञान:

3D NAND आणि 3D DRAM सारख्या तंत्रज्ञानामध्ये, ॲनिलिंग प्रक्रिया अनेक स्तरांवर लागू करणे आवश्यक आहे. जलद थर्मल तंत्रे प्रत्येक लेयरला इष्टतम कार्यप्रदर्शन मिळवून देण्यासाठी महत्त्वाची भूमिका बजावतात.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एनीलिंग महत्त्वपूर्ण आहे, तापमान, वेळ आणि थर्मल बजेटच्या अचूक नियंत्रणाद्वारे जाळीचे नुकसान दुरुस्त करणे, अशुद्धता सक्रिय करणे, फिल्म सुधारणे आणि मेटल सिलिसाइड तयार करणे सक्षम करणे. जसजसे तंत्रज्ञान नोड्स संकुचित होतात, प्रगत ॲनिलिंग पद्धती जसेRTA, FLA, आणि लेझर स्पाइक ॲनिलिंग मुख्य प्रवाहात बनले आहेत. पुढे पाहता, उदयोन्मुख साहित्य आणि उपकरणांच्या मागण्या पूर्ण करण्यासाठी ॲनिलिंग प्रक्रिया नवनिर्मिती करत राहील.

Semicorex उद्योग-अग्रणी ऑफर करतेएनीलिंग उपाय, तुमची सेमीकंडक्टर उपकरणे अचूकता आणि विश्वासार्हतेसह सर्वोच्च कार्यप्रदर्शन मानकांची पूर्तता करतात याची खात्री करणे.

आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com