ग्रेफाइट ससेप्टर्सवर CVD SiC कोटिंग का लावावे?

तिसऱ्या पिढीतील सेमीकंडक्टर उद्योगात वेगाने क्षमता विस्तार होत आहे. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) आणि गॅलियम नायट्राइड (GaN) एपिटॅक्सी प्रक्रिया उच्च-तापमान ऑपरेटिंग वातावरण, अति-उच्च-शुद्धता कच्चा माल आणि सूक्ष्म चिप उपकरणांकडे विकसित होत आहेत. तरीही, पारंपारिक अनकोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स कठोर उच्च-तापमान आणि अत्यंत संक्षारक कार्य परिस्थितीच्या संपर्कात आल्याने प्रक्रिया दूषित होणे, लहान सेवा आयुष्य आणि वारंवार उपकरणे बंद करणे, उत्पादन लाइन कार्यक्षमता आणि चिप उत्पन्नास सतत प्रतिबंधित करणे यासह गंभीर वेदना बिंदू सुरू होतात. या उद्योगातील आव्हानांना सामोरे जाण्यासाठी, CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सोल्यूशन्स, अनन्य भौतिक कार्यक्षमतेसह, प्रगत MOCVD आणि MBE एपिटॅक्सी उत्पादन लाइन्ससाठी सर्वोत्तम पर्याय बनले आहेत.

प्रगत उत्पादनामध्ये अनकोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्सचे प्रमुख दोष

सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी मॅन्युफॅक्चरिंग अत्यंत कामाच्या परिस्थितीत चालते. SiC आणि GaN एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी 1000 °C ते 1600 °C पर्यंत स्थिर उच्च तापमान आवश्यक असते.ग्रेफाइट ससेप्टरsहायड्रोजन, अमोनिया आणि हायड्रोजन क्लोराईड सारख्या अत्यंत प्रतिक्रियाशील वायूंच्या संपर्कात सतत येत असतात, ज्यामुळे तीन अपरिवर्तनीय समस्या उद्भवतात:

1. कण-प्रेरित दूषितता

असुरक्षित ग्रेफाइट ससेप्टर्समध्ये मुबलक छिद्र असतात. उच्च तापमानात, ते वायूची धूप आणि पृष्ठभागाच्या स्पॅलिंगसाठी संवेदनाक्षम असतात, सूक्ष्म कण तयार करतात. एकदा हे कण एपिटॅक्सियल थरांना जोडले की ते उच्च-घनतेचे दोष निर्माण करतात आणि पॉवर उपकरणे आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक चिप्सचे उत्पन्न अत्यंत कमी करतात. वर्तमान उद्योग शुद्धता मानके 7N (99.99999%) पर्यंत वाढवली गेली आहेत; ट्रेस अशुद्धीमुळे उपकरणाची गळती होईल आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता कमी होईल.

2. ग्रेफाइट घटकांचे जलद वृद्धत्व

बेअर ग्रेफाइट ससेप्टर्समध्ये रासायनिक गंज प्रतिकार नसतो. संक्षारक वातावरणाच्या दीर्घकालीन संपर्कामुळे ऑक्सिडेटिव्ह पोशाख होतात, ज्यामुळे ससेप्टर्स, उष्णता इन्सुलेशन बॅरल्स आणि फ्लो गाईड स्लीव्हज सारख्या घटकांच्या ऱ्हासाला गती मिळते, ज्यामुळे उपभोग्य खरेदी खर्चात सतत वाढ होते. शिवाय, ग्रेफाइट ससेप्टर्सच्या वृद्धत्वाच्या दरामध्ये कोणतेही एकीकृत मानक नाही, ज्यामुळे उत्पादनाच्या वेळापत्रकात सहजपणे व्यत्यय आणून, ससेप्टर्सच्या बदलीच्या वेळेचा अचूक अंदाज लावणे अशक्य होते.

सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगची यंत्रणा आणि फायदे

ग्रेफाइट सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट यंत्रक्षमता असते, ज्यामुळे ते एपिटॅक्सी ससेप्टर्ससाठी आदर्श पर्याय बनतात. तथापि, उच्च-तापमान, अत्यंत संक्षारक एपिटॅक्सी वातावरणात त्याची लागूक्षमता मर्यादित करून, त्याच्या मूळ रासायनिक प्रतिक्रियाशीलतेतील त्रुटी दूर केल्या जाऊ शकत नाहीत. रासायनिक बाष्प जमा (CVD)सिलिकॉन कार्बाइडकोटिंग तंत्रज्ञान ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि अत्यंत प्रक्रिया वातावरण यांच्यातील इंटरफेस सुसंगतता संघर्ष मूलभूतपणे भौतिक सुधारणांद्वारे सोडवते.

सीलबंद प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये, सीव्हीडी प्रक्रिया गॅस-फेज प्रतिक्रियांचे अचूकपणे नियंत्रण करते. सिलिकॉन-कार्बन पूर्ववर्ती वायू अचूकपणे नियंत्रित तापमानात विघटित होतात, सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल्स अणु स्तरावर ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सवर जमा करून एक अखंड, पूर्णपणे दाट हर्मेटिक संरक्षणात्मक स्तर तयार करतात. कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यामध्ये अणू बंधन तयार होते, जे संक्षारक वायूंच्या प्रवेशास अवरोधित करते आणि अंतर्गत ग्रेफाइट अशुद्धतेला अडकवते, तसेच उच्च थर्मल चालकता आणि समान तापमान वितरणाची सब्सट्रेटची ताकद पूर्णपणे राखून ठेवते. संयुक्त रचना उत्कृष्ट संरक्षण आणि स्थिर थर्मल फील्ड कार्यप्रदर्शन संतुलित करते.

Semicorex CVD SiC कोटिंग सोल्यूशन्स कशामुळे वेगळे होतात?

CVD सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स हे केवळ एक साधे कोटिंग उपचार नसून संपूर्ण एकात्मिक अभियांत्रिकी कार्यप्रवाह आहेत जे सर्व टप्प्यांवर मितीय अचूकता, कोटिंग गुणवत्ता आणि उपकरणे सुसंगतता कठोरपणे नियंत्रित करतात. चीनमधील अग्रगण्य देशांतर्गत उत्पादक म्हणून, सेमीकोरेक्स स्थिर, दीर्घकाळ टिकणारे आणि किफायतशीर वितरीत करण्यासाठी समर्पित आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगग्राहकांसाठी उपाय. सेमिकोरेक्स ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सवर प्रक्रिया करण्यासाठी अचूक CNC उपकरणे वापरते, त्यांचा आकार समोच्च, मितीय सहिष्णुता, बेस फ्लॅटनेस आणि ग्रूव्ह पोझिशनिंग अचूकतेवर काटेकोरपणे नियंत्रण ठेवते, अपुऱ्या प्रक्रियेच्या अचूकतेमुळे उद्भवलेल्या दुय्यम समस्या दूर करण्यासाठी. वेगवेगळ्या ऑपरेटिंग परिस्थिती आणि वापराच्या गरजांसाठी, सेमिकोरेक्सची तांत्रिक टीम कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यातील उच्च सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी सानुकूलित कोटिंग सोल्यूशन्स प्रदान करते, वारंवार थर्मल सायकलिंगमुळे कोटिंग क्रॅकिंग आणि पीलिंग अपयश प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते. CVD SiC कोटिंग पूर्ण झाल्यावर, Semicorex पूर्ण-स्पेक्ट्रम कोटिंग दोष तपासणी करेल हे सुनिश्चित करण्यासाठी कोटिंग अखंड, दाट आणि कोणत्याही दोषांपासून मुक्त आहे, अशा प्रकारे मशीनवरील CVD सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट ट्रेच्या स्थिरतेची हमी देते.