ग्रेफाइट ससेप्टर हा MOCVD उपकरणातील एक आवश्यक भाग आहे, तो वेफर सब्सट्रेटचा वाहक आणि हीटर आहे. थर्मल स्थिरता आणि थर्मल एकरूपतेचे गुणधर्म वेफर एपिटॅक्सियल वाढीच्या गुणवत्तेत निर्णायक भूमिका बजावतात, जे थेट स्तर सामग्रीची एकसमानता आणि शुद्धता निर्धारित करते, परिणामी त्याची गुणवत्ता थेट एपिटॅक्सीच्या तय......
पुढे वाचाउच्च व्होल्टेज क्षेत्रात, विशेषत: 20,000V वरील उच्च-व्होल्टेज उपकरणांसाठी, SiC एपिटॅक्सियल तंत्रज्ञानाला अजूनही अनेक आव्हानांचा सामना करावा लागतो. एपिटॅक्सियल लेयरमध्ये उच्च एकसमानता, जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता प्राप्त करणे ही मुख्य अडचणींपैकी एक आहे. अशा उच्च-व्होल्टेज उपकरणांच्या फॅब्रिकेशनसाठी, उत्......
पुढे वाचा