सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी सेमिकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिंग्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्या प्लाझ्मा इच चेंबर्सच्या अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत. आमच्या फोकस रिंग्स दाट, पोशाख-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगसह उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटच्या बनलेल्या आहेत. SiC कोटिंगमध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. आमच्या फोकस रिंगच्या सेवा आयुष्यात सुधारणा करण्यासाठी आम्ही रासायनिक वाष्प डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेचा वापर करून ग्रेफाइटवर पातळ थरांत SiC लावतो.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा