वेफर वाहक ट्रे

सेमिकोरेक्स तुमच्या OEM सेमी फॅब्रिकेशन टूल्स आणि सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड स्तरांवर लक्ष केंद्रित करणाऱ्या वेफर हँडलिंग घटकांसाठी सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरॅमिक्स प्रदान करते. आम्ही अनेक वर्षांपासून वेफर कॅरियर ट्रेचे निर्माता आणि पुरवठादार आहोत. आमच्या वेफर कॅरिअर ट्रेचा चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि त्यामध्ये बहुतांश युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश आहे. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रियेसारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशन फेजसाठीच नाही तर सेमिकोरेक्स वेफर्सला सपोर्ट करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या अल्ट्रा-प्युअर सिरेमिक कॅरियरचा पुरवठा करते. प्रक्रियेच्या केंद्रस्थानी, MOCVD साठी वेफर वाहक ट्रे, प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन असतात, म्हणून त्यात उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिकार असतो. SiC कोटेड कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म देखील आहेत.
आमच्या वेफर कॅरियर ट्रेबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

वेफर कॅरियर ट्रेचे पॅरामीटर्स

तांत्रिक गुणधर्म
निर्देशांक	युनिट	मूल्य
साहित्याचे नाव		सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड प्रतिक्रिया	प्रेशरलेस सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड	सिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
मोठ्या प्रमाणात घनता	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
संकुचित शक्ती	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कडकपणा	बटण	2700	2800	/
ब्रेकिंग टेनसिटी	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्ताराचे गुणांक	10^-6.1/°से	5	4	4.7
विशिष्ट उष्णता	ज्युल/g 0k	0.8	0.67	/
हवेतील कमाल तापमान	℃	1200	1500	1600
लवचिक मॉड्यूलस	जीपीए	360	410	240

SSiC आणि RBSiC मधील फरक:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया वेगळी आहे. RBSiC कमी तापमानात सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये मुक्त Si घुसवणे आहे, SSiC 2100 अंशांवर नैसर्गिक संकोचनाने तयार होते.

2. SSiC मध्ये गुळगुळीत पृष्ठभाग, उच्च घनता आणि उच्च सामर्थ्य आहे, अधिक कठोर पृष्ठभागाच्या आवश्यकता असलेल्या काही सीलिंगसाठी, SSiC अधिक चांगले असेल.

3. भिन्न PH आणि तापमान अंतर्गत वापरलेली भिन्न वेळ, SSiC RBSiC पेक्षा जास्त आहे

वेफर कॅरियर ट्रेची वैशिष्ट्ये

- सेवा जीवन सुधारण्यासाठी CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज.
- उच्च-कार्यक्षमता शुद्ध कठोर कार्बनचे बनलेले थर्मल इन्सुलेशन.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- पिनहोल प्रतिरोध आणि उच्च आयुष्यासाठी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंग

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचे उपलब्ध आकार：

● सिरॅमिक रॉड / सिरॅमिक पिन / सिरॅमिक प्लंगर

● सिरॅमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव्ह

● सिरॅमिक रिंग / सिरॅमिक वॉशर / सिरॅमिक स्पेसर

● सिरॅमिक डिस्क

● सिरॅमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक

● सिरॅमिक बॉल

● सिरॅमिक पिस्टन

● सिरॅमिक नोजल

● सिरेमिक क्रूसिबल

● इतर सानुकूल सिरॅमिक भाग