सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण

सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ किंवा MOCVD, किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करणे आवश्यक आहे. Semicorex उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट बांधकाम उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत epi थर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. ते अस्थिर पूर्ववर्ती वायू, प्लाझ्मा आणि उच्च तापमान यांचे संयोजन अनुभवण्यासाठी टिकाऊ असतात.
आमचे सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करते. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून, कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड चेंबर लिडबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

सिलिकॉन कार्बाइड चेंबर लिडचे पॅरामीटर्स

सिलिकॉन कार्बाइड चेंबर लिडची वैशिष्ट्ये

● अल्ट्रा-फ्लॅट क्षमता

● मिरर पॉलिश

● अपवादात्मक हलके वजन

● उच्च कडकपणा

● कमी थर्मल विस्तार

● अत्यंत पोशाख प्रतिकार