सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण

क्रिस्टल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेसाठी वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करणे आवश्यक आहे. Semicorex हा चीनमधील सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरचा मोठ्या प्रमाणावर उत्पादक आणि पुरवठादार आहे. आमच्‍या उत्‍पादनांचा किमतीचा चांगला फायदा आहे आणि त्‍यामध्‍ये अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश होतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ किंवा MOCVD किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करणे आवश्यक आहे. Semicorex उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट बांधकाम उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत epi थर जाडी आणि प्रतिकार आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता प्रदान करते. ते अस्थिर पूर्ववर्ती वायू, प्लाझ्मा आणि उच्च तापमान यांचे मिश्रण अनुभवण्यासाठी टिकाऊ असतात.
आमचे सिलिकॉन कार्बाइड चेंबरचे झाकण सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करते. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या सिलिकॉन कार्बाइड चेंबर लिडबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

सिलिकॉन कार्बाइड चेंबर लिडचे पॅरामीटर्स

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC Î² फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	Î¼m	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J·kg-1 ·K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300â)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
औष्मिक प्रवाहकता	(W/mK)	300