एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स

अर्धसंवाहकसिलिकॉन कार्बाईडएसआयसी व्हॅक्यूम चक्स हे उच्च-टेक सिरेमिक साधने आहेत जे सुस्पष्ट सामग्री काढण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे आणि विश्वासार्हपणे ठेवण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. ते अल्ट्रा-क्लीन, उच्च-तापमान आणि रासायनिक कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी अभियंता आहेत. एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स उत्कृष्ट वेफर सोशोशन आणि संरेखन वितरीत करण्यात मदत करतात. सेमीकोरेक्स एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य, औष्णिक चालकता आणि रासायनिक टिकाऊपणा प्रदान करण्यासाठी उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकपासून तयार केले जातात.

व्हॅक्यूम चकचे मुख्य कार्य म्हणजे वेफर पृष्ठभागावर एकसमान सक्शन खेचणे जेणेकरून तपासणी, साठा, एच आणि लिथोग्राफी यासारख्या प्रक्रियेदरम्यान वेफर स्थिर ठेवला जाईल. ठराविक व्हॅक्यूम चक्समध्ये कण निर्मिती, वार्पिंग किंवा वेळोवेळी रासायनिक बिघाड सह समस्या असतात. अत्यंत सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग अटींसाठी, एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स उत्कृष्ट दीर्घकालीन टिकाऊपणा आणि स्थिरता प्रदान करेल.

सिलिकॉन कार्बाईड मटेरियलचे कठोरपणा, थर्मल स्थिरता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक यासाठी अत्यंत मूल्यवान आहे. ही सामग्री तापमानाच्या विस्तृत श्रेणीपेक्षा आयामी स्थिर राहील, ज्यामुळे थर्मल स्थिरता आणि वेफरला थर्मल न जुळविल्याशिवाय सुधारित प्रक्रियेची अचूकता मिळू शकेल. त्यांची उच्च थर्मल चालकता जलद उष्णता अपव्यय करण्यास देखील अनुमती देते, जी वेगवान थर्मल प्रारंभिक रॅम्प-अप परिस्थितीत किंवा उच्च-उर्जा प्लाझ्मा कमी करण्यासाठी उपयुक्त आहे.

एसआयसी सिरेमिकमध्ये केवळ थर्मल आणि यांत्रिक फायदे नाहीत तर प्लाझ्मा गंज आणि आक्रमक प्रक्रिया वायूंना प्रतिरोधक देखील आहे. हे वैशिष्ट्य एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स विशेषत: कोरडे एचिंग, सीव्हीडी आणि पीव्हीडी प्रक्रियेसाठी अनुकूल बनवते जेथे क्वार्ट्ज किंवा अ‍ॅल्युमिनियम नायट्राइड सामग्री वापरासह कमी होऊ शकते. एसआयसीची रासायनिक जडता दूषित होण्यास आणि साधन अपटाइम सुधारण्यास मदत करेल.

उत्कृष्ट कामगिरी प्रदान करण्यासाठी. सेमीकोरेक्स एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स बनवते आणि अद्यतन मायक्रॉनच्या चॅनेल स्ट्रक्चर्ससह अल्ट्रा-फ्लॅट पृष्ठभागांसह अत्यंत घट्ट सहिष्णुता निर्दिष्ट करते. या वैशिष्ट्यांसह, हे वेफर समर्थनासाठी वेफर समर्थन प्रदान करते वेफर समर्थनासाठी तंतोतंत सक्शन आणि सतत वेफर्सची मोडतोड होण्याची शक्यता कमी होत आहे. वेगवेगळ्या अनुप्रयोगांमध्ये विविध वेफर आकार (2 "ते 12") अनुरूप सानुकूल डिझाइन सेवा देखील उपलब्ध आहेत.

उच्च उत्पन्न, प्रक्रिया नियंत्रण आणि विश्वासार्हता हे घटक असल्याने, एसआयसी व्हॅक्यूम चक्स पुढील पिढीच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांचे नवीन आवश्यक घटक आहेत. एसआयसी व्हॅक्यूम चक्सचे अनुप्रयोग थेट वाढीसाठी, उपकरणांची विश्वसनीयता आणि प्रक्रिया नियंत्रणासाठी थेट जोडलेले आहेत.