उच्च घनता आणि थर्मल चालकता सह, एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी Semicorex SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात वापरण्यासाठी आदर्श पर्याय आहे. उच्च-शुद्धता SiC सह लेपित, हे ग्रेफाइट उत्पादन उत्कृष्ट संरक्षण आणि उष्णता वितरण प्रदान करते, सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांमध्ये विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमिकोरेक्स SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर वेफर्सवर एपिक्सियल लेयर तयार करण्यासाठी योग्य पर्याय आहे, त्याच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उष्णता वितरण गुणधर्मांमुळे. त्याची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग अत्यंत मागणी असलेल्या उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणातही उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते.
Semicorex वर, आम्ही आमच्या ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेची, किफायतशीर उत्पादने पुरवण्यावर लक्ष केंद्रित करतो. एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचा किमतीचा फायदा आहे आणि तो अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठांमध्ये निर्यात केला जातो. सातत्यपूर्ण दर्जेदार उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा वितरीत करून तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याचे आमचे ध्येय आहे.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.