एलपीई एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर हे एक उच्च-कार्यक्षमता उत्पादन आहे जे विस्तारित कालावधीत सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कामगिरी प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. त्याचे अगदी थर्मल प्रोफाइल, लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न आणि दूषित होण्यापासून बचाव यामुळे वेफर चिप्सवर उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी एक आदर्श पर्याय बनतो. त्याची सानुकूलता आणि किफायतशीरता यामुळे ते बाजारपेठेत अत्यंत स्पर्धात्मक उत्पादन बनते.
एलपीई एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमचे SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर हे उच्च दर्जाचे आणि विश्वासार्ह उत्पादन आहे जे पैशासाठी उत्कृष्ट मूल्य प्रदान करते. त्याची उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक क्षमता, अगदी थर्मल प्रोफाइल आणि दूषित होण्यापासून बचाव यामुळे वेफर चिप्सवर उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी एक आदर्श पर्याय बनतो. त्याची कमी देखभाल आवश्यकता आणि सानुकूलता यामुळे ते बाजारात अत्यंत स्पर्धात्मक उत्पादन बनते.
एलपीई एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
एलपीई एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचे पॅरामीटर्स
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
औष्मिक प्रवाहकता |
(W/mK) |
300 |
एलपीई एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरची वैशिष्ट्ये
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणार्या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.